一种在线式石墨舟偏移的补偿装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种在线式石墨舟偏移的补偿装置，包括：激光测量模块，用于发出激光，实时采集舟槽的实际位置；控制模块，与所述激光测量模块电性连接，控制所述激光测量模块启动，接收舟槽的实际位置的采集数据，并得出舟槽的偏移数据；补偿模块，与所述控制模块电性连接，用于接收所述控制模块发送的偏移数据，控制装卸片机器人根据偏移数据运行至准确位置进行装卸片操作。本实用新型专利技术的在线式石墨舟偏移的补偿装置有效解决了现有技术中无法对石墨舟舟槽的偏移进行实时监控，而造成石墨舟偏移后，装卸片机器人无法准确将硅片进行装卸的情况发生，大大降低了碎片率，节约了生产成本。

【技术实现步骤摘要】
一种在线式石墨舟偏移的补偿装置
本技术涉及石墨舟的偏移检测及补偿
，尤其涉及一种在线式石墨舟偏移的补偿装置。
技术介绍
随着光伏发电成本的不断降低，太阳能发电将具有更加广阔的市场空间。而石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率。石墨舟自动上下片机将未镀膜的硅片通过机器人吸盘放在石墨舟片的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片。放置完全部的硅片后，石墨舟通过皮带线带动进入PECVD镀膜机。石墨舟上的硅片在PECVD镀膜机内部进行高温条件下的特定化学反应，实现硅片表面的镀膜工序。完成硅片镀膜后的石墨舟从PECVD里退出，然后再通过皮带线运输到自动上下片机，自动上下片机台的装卸片机器人把镀膜完成的成品硅片从石墨舟里卸取出来。卸取完成品硅片后，装卸片机器人再次将未镀膜的原始硅片放入石墨舟中，依次重复上述的过程。由于生产过程中机台震动、PECVD机器人搬运石墨舟、反复高低温、高压放电等因素的影响，都会造成石墨舟陶瓷套和陶瓷杆松动、陶瓷杆断裂等情况，进而导致石墨舟出现左右大小不一致、上下错位、舟本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在线式石墨舟偏移的补偿装置，其特征在于，包括：/n激光测量模块，用于发出激光，实时采集石墨舟舟槽的实际位置信息；/n控制模块，与所述激光测量模块电性连接，用于控制所述激光测量模块启动，接收舟槽的实际位置的采集数据，并得出舟槽的偏移数据；/n补偿模块，与所述控制模块电性连接，用于接收所述控制模块发送的偏移数据，控制装卸片机器人根据偏移数据运行至准确位置进行装卸片操作。/n

【技术特征摘要】
1.一种在线式石墨舟偏移的补偿装置，其特征在于，包括：
激光测量模块，用于发出激光，实时采集石墨舟舟槽的实际位置信息；
控制模块，与所述激光测量模块电性连接，用于控制所述激光测量模块启动，接收舟槽的实际位置的采集数据，并得出舟槽的偏移数据；
补偿模块，与所述控制模块电性连接，用于接收所述控制模块发送的偏移数据，控制装卸片机器人根据偏移数据运行至准确位置进行装卸片操作。


2.根据权利要求1所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置，其特征在于，所述激光测量模块包括：多个安装支架和设于每一安装支架上的若干激光位移传感器，多个安装支架均设于石墨舟输送轨道的同一侧；每一安装支架对应石墨舟的一个舟槽设置。


3.根据权利要求2所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置，其特征在于，每一安装支架上设有两个激光位移传感器，两激光位移传感器分别对应石墨舟的上部和下部进行测量。


4.根据权利要求2所述的在线式石墨舟偏移的补偿装置，其特征在于，所述激光测量模块还包括一固定座，所述固定座固定于石墨舟输送轨道的一侧，并对应石墨舟的长度设置，多个安装支架可活动...

【专利技术属性】
技术研发人员：黎俊龙，林小华，吴卓庚，吴志龙，
申请(专利权)人：深圳市艾特自动化有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44