一种在线式石墨舟形变检测系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种在线式石墨舟形变检测系统，该检测系统包括：石墨舟输送模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间，用于输送石墨舟；激光测量模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间的任意位置，用于实时对运动中的石墨舟进行测量，并将测量数据上传于分析处理模块；分析处理模块，对测量数据进行计算分析，并得出石墨舟是否形变的检测结果；控制模块，与所述激光测量模块通信连接，用于触发所述激光测量模块的启动。本实用新型专利技术可对运行中的石墨舟进行不间断测量，对其出现的各种形变的检出率高，省去了定期停工对石墨舟进行人工检测的工作，节省了劳力和成本，提高了石墨舟的使用效率，提高了产能。

【技术实现步骤摘要】
一种在线式石墨舟形变检测系统
本技术涉及石墨舟形变检测
，尤其涉及一种在线式石墨舟形变检测系统。
技术介绍
随着光伏发电成本的不断降低，太阳能发电将具有更加广阔的市场空间。而石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率。石墨舟自动上下片机将未镀膜的硅片通过机器人吸盘放在石墨舟页的卡点上，每个舟片上可放固定数量的硅片。放置完全部的硅片后，石墨舟通过皮带线带动进入PECVD镀膜机。石墨舟上的硅片在PECVD镀膜机内部进行高温条件下的特定化学反应，实现硅片表面的镀膜工序。完成硅片镀膜后的石墨舟从PECVD里退出，然后再通过皮带线运输到自动上下片机，自动上下片机台的机器人把镀膜完成的成品硅片从石墨舟里卸取出来。卸取完成品硅片后，机器人再次将未镀膜的原始硅片放入石墨舟中，依次重复上述的过程。在生产过程中，石墨舟经常被皮带线上的金属托盘托举，在皮带线上来回往返进入自动上下片机和PECVD之间。一个石墨舟由数量众多的石墨舟页组成，石墨卡点安装于石墨舟页上，石墨卡点用于托住石墨舟页间的硅片。相邻的石墨本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，包括：/n石墨舟输送模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间，用于输送石墨舟；/n激光测量模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间的任意位置，用于实时对运动中的石墨舟进行测量，并将测量数据上传于分析处理模块；/n分析处理模块，对测量数据进行计算分析，并得出石墨舟是否形变的检测结果；/n控制模块，与所述激光测量模块通信连接，用于触发所述激光测量模块的启动。/n

【技术特征摘要】
1.一种在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，包括：
石墨舟输送模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间，用于输送石墨舟；
激光测量模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间的任意位置，用于实时对运动中的石墨舟进行测量，并将测量数据上传于分析处理模块；
分析处理模块，对测量数据进行计算分析，并得出石墨舟是否形变的检测结果；
控制模块，与所述激光测量模块通信连接，用于触发所述激光测量模块的启动。


2.根据权利要求1所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述石墨舟输送模块包括：托盘、传送皮带和驱动装置，石墨舟装载于所述托盘上，所述托盘连接于所述传送皮带上，驱动装置驱动所述传送皮带运转。


3.根据权利要求2所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述石墨舟输送模块还包括分别设于所述传送皮带两侧的两滑轨，所述托盘的两侧设有滑块，所述滑块可沿所述滑轨滑动。


4.根据权利要求2所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述托盘的前后端均设有凸起的卡位，所述石墨舟前后端均设有底座，所述底座对应所述卡位设有两定位部，所述石墨舟装载于所述托盘上时，所述卡位卡设于两定位部间。


5.根据权利要求2所述的在线式石墨舟形变检测系统，其特征在于，所述激光测量模块包括：...

【专利技术属性】
技术研发人员：张彪，陆林冬，李金荣，郭帅军，
申请(专利权)人：深圳市艾特自动化有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44