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本实用新型公开一种在线式石墨舟形变检测系统，该检测系统包括：石墨舟输送模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间，用于输送石墨舟；激光测量模块，安装于PECVD机台和自动上下片机台间的任意位置，用于实时对运动中的石墨舟进行测量，并将测量数...
该专利属于深圳市艾特自动化有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市艾特自动化有限公司授权不得商用。

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