【技术实现步骤摘要】
载板传输装置和真空镀膜设备
[0001]本技术涉及太阳能电池生产
，特别涉及载板传输装置和真空镀膜设备。
技术介绍
[0002]等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备和物理气相沉积（PVD）设备中载板装载硅片在主机真空腔内完成镀膜工艺，经过主机出料腔体，流转至自动化下料装置，经过自动化下料以后，空载板通过传输装置传输至自动化上料装置，完成上料以后，载板装载硅片再次进入主机真空腔，此工序动作反复循环。
[0003]因镀膜工艺需求，主机真空腔的硅片温度要求170
‑
250℃。因产能节拍的限制、加热设备的数量、以及成本的考虑，载板在主机真空腔中的节拍时间30
‑
100S。通常载板在主机出料腔体出来时，温度有100℃左右，依次经过自动化下料、载板传输装置、自动化上料，此时载板温度会降低至40℃左右。从40℃升至170
‑
250℃的反应温度需要较高的能量。
[0004]为了解决上述技术问题，为了减缓载板的温度流失，通常会将载板传输装置设置在主机下方进行回流...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种载板传输装置，其特征在于，包括用于对待传输件进行传输的传输组件，对所述传输组件进行密封保温的壳体，设置在所述壳体上用于所述待传输件进出的入口和出口，设置在所述壳体上分别用于打开或关闭所述入口和出口的两个门板组件，所述壳体上还设有用于对所述载板传输装置进行维护的至少一个检修口，设置在所述壳体上与所述检修口一一对应的用于打开或关闭对应检修口的开关件。2.如权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述开关件为可伸缩的防护罩。3.如权利要求2所述的载板传输装置，其特征在于，所述壳体上设有导向件，所述防护罩连接于所述导向件并可沿着所述导向件的导向方向往复运动以打开或关闭所述检修口。4.如权利要求3所述的载板传输装置，其特征在于，所述防护罩为风琴罩，所述导向件为导轨，所述风琴罩滑动连接于所述导轨并可沿着所述导轨的长度方向往复运动以打开或关闭所述检修口，所述导轨的长度方向与所述传输组件的传送方向平行或垂直。5.如权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述检修口为两个，分别位于所述壳体的顶部和底部；开关件为两个，分别用于打开或关闭不同的检修口。6.如权利要求1所述的载板传输装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，候岳明，宋广华，杨虎，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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