本实用新型专利技术公开了载板传输装置和真空镀膜设备，涉及太阳能电池生产技术领域。载板传输装置具体包括用于对待传输件进行传输的传输组件，对所述传输组件进行密封保温的壳体，设置在所述壳体上用于所述待传输件进出的入口和出口，设置在所述壳体上分别用于打开或关闭所述入口和出口的两个门板组件，所述壳体上还设有用于对所述载板传输装置进行维护的至少一个检修口，设置在所述壳体上与所述检修口一一对应的用于打开或关闭对应检修口的开关件。旨在实现空间的密封的前提下，便于后期的维护。维护。维护。
【技术实现步骤摘要】
载板传输装置和真空镀膜设备
[0001]本技术涉及太阳能电池生产
，特别涉及载板传输装置和真空镀膜设备。
技术介绍
[0002]等离子体增强化学气相沉积（PECVD）设备和物理气相沉积（PVD）设备中载板装载硅片在主机真空腔内完成镀膜工艺，经过主机出料腔体，流转至自动化下料装置，经过自动化下料以后，空载板通过传输装置传输至自动化上料装置，完成上料以后，载板装载硅片再次进入主机真空腔，此工序动作反复循环。
[0003]因镀膜工艺需求，主机真空腔的硅片温度要求170
‑
250℃。因产能节拍的限制、加热设备的数量、以及成本的考虑，载板在主机真空腔中的节拍时间30
‑
100S。通常载板在主机出料腔体出来时，温度有100℃左右，依次经过自动化下料、载板传输装置、自动化上料，此时载板温度会降低至40℃左右。从40℃升至170
‑
250℃的反应温度需要较高的能量。
[0004]为了解决上述技术问题，为了减缓载板的温度流失，通常会将载板传输装置设置在主机下方进行回流，并将载板传输装置设计成密封结构。但现有的密封保护结构为刚性材料制成，由于主机下方空间较小，采用刚性的密封保护结构压缩了维护空间，不利于载板传输装置维护。
技术实现思路
[0005]本技术的主要目的是提供载板传输装置和真空镀膜设备，旨在实现空间的密封的前提下，便于后期的维护。
[0006]为了实现上述目的，本技术提出一种载板传输装置，包括用于对待传输件进行传输的传输组件，对所述传输组件进行密封保温的壳体，设置在所述壳体上用于所述待传输件进出的入口和出口，设置在所述壳体上分别用于打开或关闭所述入口和出口的两个门板组件，所述壳体上还设有用于对所述载板传输装置进行维护的至少一个检修口，设置在所述壳体上与所述检修口一一对应的用于打开或关闭对应检修口的开关件。
[0007]对所述传输组件进行密封保温的壳体，传输组件用于传输待传输件，传输组件处于一个密封保温的状态，可以理解为壳体内部是处于一个密封保温的状态，也即壳体可以实现待传输件的密封保温。
[0008]在本申请的一实施例中，所述开关件为可伸缩的防护罩。
[0009]选用可伸缩的防护罩对待传输件进行密封，进而实现设备处于工作状态时起到保温的作用，同时防护罩选用柔性伸缩功能，在设备处于非工作状态时，便于对设备进行维护。
[0010]在本申请的一实施例中，所述壳体上设有导向件，所述防护罩连接于所述导向件并可沿着所述导向件的导向方向往复运动以打开或关闭所述检修口。
[0011]在本申请的一实施例中，所述防护罩为风琴罩，所述导向件为导轨，所述风琴罩滑
动连接于所述导轨并可沿着所述导轨的长度方向往复运动以打开或关闭所述检修口，所述导轨的长度方向与所述传输组件的传送方向平行或垂直。
[0012]在本申请的一实施例中，所述检修口为两个，分别位于所述壳体的顶部和底部；开关件为两个，分别用于打开或关闭不同的检修口。
[0013]在本申请的一实施例中，两个门板组件分别为第一门板组件和第二门板组件；
[0014]所述第一门板组件包括：通过第一转动件连接于所述壳体的第一门板，和一端连接于壳体、另一端连接于所述第一门板用于驱动所述第一门板打开或关闭入口的第一伸缩件；
[0015]所述第二门板组件包括：通过第二转动件连接于所述壳体的第二门板，和一端连接于壳体、另一端连接于所述第二门板用于驱动所述第二门板打开或关闭出口的第二伸缩件。
[0016]在本申请的一实施例中，所述壳体上设有向所述壳体内充入惰性气体的进气管道，所述壳体上设有用于将壳体内的惰性气体排出的出气管道。
[0017]可选地，例如惰性气体为热氮气，壳体内部通过正压的方式填充热氮气，
[0018]保证空间的密闭性同时保证一定空间温度，对待传输件进行保温。
[0019]在本申请的一实施例中，所述检修口的尺寸等于所述壳体的顶盖的尺寸。
[0020]依据待传输件的尺寸以及属性特殊性等要求，对应的传输组件结构占用空间或面积相对较大，为便于检修，将壳体的顶盖全部进行开口设计，防护罩整体罩设在开口上部，所开设的开口，即为检修口。
[0021]当壳体的顶部和底部均设置有检修口时（顶部和底部尺寸一致），将壳体的顶盖和底板全部进行开口设计，两个防护罩分别罩设在顶部的开口上和底部的开口上。
[0022]采用上述技术方案，在壳体上设置检修口，并在检修口上设置可以将检修口打开或关闭的开关件，在可以保证壳体密封的同时，方便对传输组件的后期维护。
[0023]本申请还公开了一种真空镀膜设备，包括如上任意一项所述的载板传输装置。
[0024]在本申请的一实施例中，所述待传输件为载板，还包括用于将物料放置于载板的上料装置、对载板上的物料进行镀膜的真空腔室，对载板上完成镀膜的物料进行下料的下料装置，所述载板传输装置用于将完成下料的载板转运至所述上料装置处用于下一次上料，所述载板传输装置位于所述真空腔室底部。
[0025]优选地，当所述待传输件为载板时，壳体的顶部和底部均设置有检修口（顶部和底部尺寸一致），将壳体的顶盖和/或底板全部进行开口设计，两个防护罩分别罩设在顶部的开口上和底部的开口上。
[0026]将可伸缩的防护罩设在载板上方和/或下方，避免了设置刚性的密封保护结构带来的维护不便的问题（因为受真空腔室高度限制，其下方空间较小，刚性密封保护结构压缩了维护空间，因此维护困难）。
附图说明
[0027]下面结合具体实施例和附图对本技术进行详细的说明，其中：
[0028]图1为本技术第一种实施例的结构示意图。
[0029]图2为图1长度方向的截面示意图。
[0030]图3为图1中A处的放大结构示意图。
[0031]图4为真空镀膜设备的结构示意图。
[0032]图5为图1长度方向的结构示意图。
[0033]图6为图1中开关件打开时的结构示意图。
具体实施方式
[0034]为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚，以下结合附图和实施例对本技术进行详细的说明。应当理解，以下具体实施例仅用以解释本技术，并不对本技术构成限制。
[0035]如图1至图6所示，为了实现上述目的，本技术提出一种载板传输装置100，包括用于对待传输件进行传输的传输组件30，对所述传输组件30进行密封保温的壳体90，设置在所述壳体90上用于所述待传输件进出的入口和出口，设置在所述壳体90上分别用于打开或关闭所述入口和出口的两个门板组件，所述壳体90上还设有用于对所述载板传输装置100进行维护的至少一个检修口，设置在所述壳体90上与所述检修口一一对应的用于打开或关闭对应检修口的开关件。
[0036]具体的，本技术提出一种载板传输装置100，包括传输组件30、壳体90、门板组件、检修口、以及开关件。本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种载板传输装置，其特征在于，包括用于对待传输件进行传输的传输组件，对所述传输组件进行密封保温的壳体，设置在所述壳体上用于所述待传输件进出的入口和出口，设置在所述壳体上分别用于打开或关闭所述入口和出口的两个门板组件，所述壳体上还设有用于对所述载板传输装置进行维护的至少一个检修口，设置在所述壳体上与所述检修口一一对应的用于打开或关闭对应检修口的开关件。2.如权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述开关件为可伸缩的防护罩。3.如权利要求2所述的载板传输装置，其特征在于，所述壳体上设有导向件，所述防护罩连接于所述导向件并可沿着所述导向件的导向方向往复运动以打开或关闭所述检修口。4.如权利要求3所述的载板传输装置，其特征在于，所述防护罩为风琴罩，所述导向件为导轨，所述风琴罩滑动连接于所述导轨并可沿着所述导轨的长度方向往复运动以打开或关闭所述检修口，所述导轨的长度方向与所述传输组件的传送方向平行或垂直。5.如权利要求1所述的载板传输装置，其特征在于，所述检修口为两个，分别位于所述壳体的顶部和底部；开关件为两个，分别用于打开或关闭不同的检修口。6.如权利要求1所述的载板传输装置，其特征...
【专利技术属性】
技术研发人员：左国军，候岳明，宋广华，杨虎，
申请(专利权)人：常州捷佳创精密机械有限公司，
类型：新型
国别省市：
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