磁场探头制造技术

本申请涉及一种磁场探头。包括依次层叠设置的第一接地层、第一信号层、第二信号层、第二接地层；第一信号层包括第一磁场线圈，第一磁场线圈围成第一磁场感应区域，第二信号层包括第一磁场导线，第一磁场导线沿第二方向延伸，第一磁场导线的第一端通过第一连接通孔与第一接地层和/或第二接地层连接；第一金属通孔，分别与第一磁场线圈沿第二方向的第一侧边和第一磁场导线的第二端连接，用于与第一磁场线圈的第一侧边和第一磁场导线共同围成第二磁场感应区域。从而本申请中的磁场探头放在空间中无需转动调整，即可同时探测两个正交方向的磁场，从而得到的磁场探测数据更加准确，探测也更加方便。也更加方便。也更加方便。

【技术实现步骤摘要】
磁场探头


[0001]本申请涉及磁场探测
，特别是涉及一种磁场探头。

技术介绍

[0002]随着集成电路技术的高速发展，芯片的集成度越来越高，而随着芯片集成度的提高，芯片中单位面积内的元器件的数量越来越多。从而导致芯片周围的电磁环境越来越复杂。并且芯片内部的各器件之间也会出现电磁干扰。而为了检测芯片的电磁可靠性，需要捕获芯片辐射出的磁场信号进行可靠性分析。因此，如何检测芯片辐射出的磁场信号，是目前需要解决的问题。
[0003]传统技术中采用磁场探头来探测空间中的磁场，然而，传统技术中的磁场探头同一时刻只能测试一个方向的磁场，因此，在使用时，需要将磁场探头旋转才能测得另外的方向的磁场，从而导致探测时间长且误差大。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对上述技术问题，提供一种能够同时测量空间中的两个方向的磁场的磁场探头。
[0005]一种磁场探头，包括依次层叠设置的第一接地层、第一信号层、第二信号层、第二接地层；所述第一信号层包括第一磁场线圈，所述第一磁场线圈围成第一磁场感应区域，所述第一磁场感应区域用于感应外界沿第一方向的磁场产生的第一电信号；所述第二信号层包括第一磁场导线，所述第一磁场导线沿第二方向延伸，所述第一磁场导线的第一端通过第一连接通孔与所述第一接地层和/或所述第二接地层连接；所述探头还包括：第一金属通孔，分别与所述第一磁场线圈沿第二方向的第一侧边和所述第一磁场导线的第二端连接，用于与所述第一磁场线圈的第一侧边和所述第一磁场导线共同围成第二磁场感应区域，所述第二磁场感应区域用于感应外界沿第三方向的磁场产生的第二电信号，其中，所述第一方向、所述第二方向、所述第三方向两两垂直；所述第一接地层和所述第二接地层均开设有开口区域，所述第一磁场感应区域在所述第一接地层和所述第二接地层上的正投影均在所述开口区域的范围内。
[0006]在其中一个实施例中，所述第二信号层还包括第二磁场导线，所述第二磁场导线沿第二方向延伸，所述第二磁场导线的第一端通过第二连接通孔与所述第一接地层和/或所述第二接地层连接，其中，所述第一磁场导线和所述第二磁场导线沿所述探头的中轴线对称设置；所述探头还包括：第二金属通孔，分别与所述第一磁场线圈沿第二方向的第二侧边和所述第二磁场导线的第二端连接，用于与所述第一磁场线圈的第二侧边和所述第二磁场导线共同围成第三磁场感应区域，所述第三磁场感应区域用于感应外界沿第三方向的磁场产生的第三电信号，其中，所述第一磁场线圈的第一侧边和第二侧边相对。
[0007]在其中一个实施例中，所述第二信号层还包括第三磁场导线，所述第三磁场导线的第一端与所述第一磁场导线的第二端连接，所述第三磁场导线的第二端与所述第二磁场
导线的第二端连接，用于与所述第一磁场导线和所述第二磁场导线共同围成第四磁场感应区域，所述第四磁场感应区域用于感应外界沿第一方向的磁场产生的第四电信号。
[0008]在其中一个实施例中，所述第一信号层还包括第一带状线、第二带状线，所述探头还包括第一转换通孔、第一同轴连接器、第二转换通孔、第二同轴连接器；所述第一转换通孔用于连通所述第一信号层和所述第一接地层或所述第二接地层，所述第一带状线的第一端与所述第一电磁场线圈的第一侧边连接，所述第一带状线的第二端通过所述第一转换通孔与所述第一同轴连接器的第一端连接；所述第二转换通孔用于连通所述第一信号层和所述第一接地层或所述第二接地层，所述第二带状线的第一端与所述第一电磁场线圈的第二侧边连接，所述第二带状线的第二端通过所述第二转换通孔与所述第二同轴连接器的第一端连接。
[0009]在其中一个实施例中，所述探头还包括：测量设备，分别与所述第一同轴连接器的第二端、所述第二同轴连接器的第二端连接，用于根据所述第一电信号、所述第二电信号、所述第三电信号、所述第四电信号，确定沿第一方向的外界磁场的强度以及沿第三方向的外界磁场的强度。
[0010]在其中一个实施例中，所述第一转换通孔包括第一信号通孔，以及若干个以预设距离环绕所述第一信号通孔的第一环绕接地通孔，所述第一带状线的第二端通过所述第一信号通孔的导电孔壁连接所述第一同轴连接器的第一端；所述第二转换通孔包括第二信号通孔，以及若干个以所述预设距离环绕所述第二信号通孔的第二环绕接地通孔，所述第二带状线的第二端通过所述第二信号通孔的导电孔壁连接所述第二同轴连接器的第一端。
[0011]在其中一个实施例中，所述第一带状线、所述第一转换通孔、所述第一同轴连接器的总传输特性阻抗为50欧姆；所述第二带状线、所述第二转换通孔、所述第二同轴连接器的总传输特性阻抗为50欧姆。
[0012]在其中一个实施例中，所述第二磁场感应区域与所述第三磁场感应区域的形状面积相同，且中轴线共线。
[0013]在其中一个实施例中，所述第一磁场感应区域与所述第四磁场感应区域的形状面积相同，且中轴线共线。
[0014]在其中一个实施例中，所述探头还包括：多个同轴通孔，各所述同轴通孔贯穿各所述接地层和所述信号层，用于固定所述第一接地层、所述第一信号层、所述第二信号层、所述第二接地层。
[0015]上述磁场探头，通过设置依次层叠设置的第一接地层、第一信号层、第二信号层、第二接地层，得到了磁场探头的基本结构，其中第一信号层包括第一磁场线圈，第一磁场线圈围成第一磁场感应区域，能够探测空间中沿第一方向的磁场。第二信号层包括第一磁场导线，探头还包括第一金属通孔，第一金属通孔、第一磁场线圈的第一侧边和第一磁场导线共同围成第二磁场感应区域，能够探测空间中沿第三方向的磁场，第一方向和第三方向是相互垂直的，并且在第一接地层和第二接地层上均开设有开口区域，从而使得第一接地层和第二接地层在屏蔽外界干扰信号的同时，也不会遮挡第一磁场感应区域。从而本申请中的磁场探头放在空间中无需转动调整，即可同时探测两个正交方向的磁场，从而得到的磁场探测数据更加准确，探测也更加方便。
附图说明
[0016]为了更清楚地说明本申请实施例或传统技术中的技术方案，下面将对实施例或传统技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0017]图1为一个实施例中磁场探头的结构示意图；
[0018]图2为一个实施例中磁场探头的信号层的局部放大俯视图；
[0019]图3为一个实施例中磁场探头的信号层的局部放大侧视图；
[0020]图4为另一个实施例中磁场探头的信号层的局部放大俯视图；
[0021]图5为另一个实施例中磁场探头的结构示意图；
[0022]图6为又一个实施例中磁场探头的信号层的局部放大俯视图；
[0023]图7为一个实施例中转换通孔的结构示意图；
[0024]图8为一个实施例中测量设备与探头连接的结构示意图；
[0025]图9为一个实施例中磁场探测线圈的等效结构示意图；
[0026]图10本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种磁场探头，其特征在于，包括依次层叠设置的第一接地层、第一信号层、第二信号层、第二接地层；所述第一信号层包括第一磁场线圈，所述第一磁场线圈围成第一磁场感应区域，所述第一磁场感应区域用于感应外界沿第一方向的磁场产生的第一电信号；所述第二信号层包括第一磁场导线，所述第一磁场导线沿第二方向延伸，所述第一磁场导线的第一端通过第一连接通孔与所述第一接地层和/或所述第二接地层连接；所述探头还包括：第一金属通孔，分别与所述第一磁场线圈沿第二方向的第一侧边和所述第一磁场导线的第二端连接，用于与所述第一磁场线圈的第一侧边和所述第一磁场导线共同围成第二磁场感应区域，所述第二磁场感应区域用于感应外界沿第三方向的磁场产生的第二电信号，其中，所述第一方向、所述第二方向、所述第三方向两两垂直；所述第一接地层和所述第二接地层均开设有开口区域，所述第一磁场感应区域在所述第一接地层和所述第二接地层上的正投影均在所述开口区域的范围内。2.根据权利要求1所述的探头，其特征在于，所述第二信号层还包括第二磁场导线，所述第二磁场导线沿第二方向延伸，所述第二磁场导线的第一端通过第二连接通孔与所述第一接地层和/或所述第二接地层连接，其中，所述第一磁场导线和所述第二磁场导线沿所述探头的中轴线对称设置；所述探头还包括：第二金属通孔，分别与所述第一磁场线圈沿第二方向的第二侧边和所述第二磁场导线的第二端连接，用于与所述第一磁场线圈的第二侧边和所述第二磁场导线共同围成第三磁场感应区域，所述第三磁场感应区域用于感应外界沿第三方向的磁场产生的第三电信号，其中，所述第一磁场线圈的第一侧边和第二侧边相对。3.根据权利要求2所述的探头，其特征在于，所述第二信号层还包括第三磁场导线，所述第三磁场导线的第一端与所述第一磁场导线的第二端连接，所述第三磁场导线的第二端与所述第二磁场导线的第二端连接，用于与所述第一磁场导线和所述第二磁场导线共同围成第四磁场感应区域，所述第四磁场感应区域用于感应外界沿第一方向的磁场产生的第四电信号。4.根据权利要求2或3所述的探头，其特征在于，还包括：所述第一信号层还包括第一带状线、第二带状线，所述探头还包括第一转换...

【专利技术属性】
技术研发人员：王磊，方文啸，黄权，李键坷，邵伟恒，路国光，黄云，恩云飞，
申请(专利权)人：中国电子产品可靠性与环境试验研究所工业和信息化部电子第五研究所中国赛宝实验室，
类型：发明
国别省市：