一种晶圆测试数据的同步方法及系统技术方案

技术编号:35521642 阅读:16 留言:0更新日期:2022-11-09 14:41
本申请涉及一种晶圆测试数据的同步方法及系统,其方法包括:通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据和测试设备位置;判断第N步工序的测试设备位置与第N+1步工序的测试设备位置是否相同;如果相同,则通过第N步工序的本地服务器将第N步工序的测试结果数据作为第N+1步工序的测试基础数据;如果不同,则将第N步工序的测试结果数据发送至第N+1步工序的本地服务器,作为第N+1步工序的测试基础数据。本申请具有提高数据传输的时效性,降低人工操作过程中出现失误情况发生的可能性,从而尽可能保证测试数据的准确性的效果。的效果。的效果。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆测试数据的同步方法及系统


[0001]本申请涉及数据处理的
,尤其是涉及一种晶圆测试数据的同步方法及系统。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片,其原始材料是硅。晶圆生产过程中需要进行数据的测试,而在这个生产测试的过程中,就需要用到晶圆测试生产设备,同时晶圆测试生产设备受网络影响较大,为了保证设备的稳定性,设备测试的数据通常是只能存储到本地网络。
[0003]晶圆生产过程中,会经过多步工序,而在不同的工序测试中可能会在不同的场地进行测试,而每进行下一步测试均需要上一步的测试数据,这时就需要相关的操作人员将本地存储的数据导出,发送至相关的测试场地。
[0004]针对上述的相关内容,专利技术人认为,通过上述的方式进行操作会导致数据传输的时效性不足,且人工操作容易出现失误,导致后续测试数据的不准确。

技术实现思路

[0005]为了提高数据传输的时效性,降低人工操作过程中出现失误情况发生的可能性,从而尽可能保证测试数据的准确性,本申请提供一种晶圆测试数据的同步方法及系统。
[0006]第一方面,本申请提供一种晶圆测试数据的同步方法,采用如下的技术方案:一种晶圆测试数据的同步方法,包括:通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据和测试设备位置;判断第N步工序的测试设备位置与第N+1步工序的测试设备位置是否相同;如果相同,则通过所述第N步工序的本地服务器将第N步工序的测试结果数据作为第N+1步工序的测试基础数据;如果不同,则将所述第N步工序的测试结果数据发送至第N+1步工序的本地服务器,作为第N+1步工序的测试基础数据。
[0007]通过采用上述技术方案,判断测试设备位置是否相同,确定是否需要将第N步工序的测试结果数据自动发送至第N+1步工序的本地服务器,作为第N+1步工序的测试基础数据。不需要人工进行数据的导出,从而能够提高数据传输的时效性,降低人工操作过程中出现失误情况发生的可能性,从而尽可能保证测试数据的准确性。
[0008]作为优选,所述将所述第N步工序的测试结果数据发送至第N+1步工序的本地服务器,作为第N+1步工序的测试基础数据,包括:获取第N+1步工序的测试基础数据;判断所述第N+1步工序的测试基础数据与所述第N步工序的测试结果数据是否相同;
若不同,则获取所述第N+1步工序的测试基础数据与所述第N步工序的测试结果数据的差异数据;将所述差异数据发送至所述第N+1步工序的本地服务器,以更新所述第N+1步工序的测试基础数据。
[0009]通过采用上述技术方案,当第N+1步工序的测试基础数据与第N步工序的测试结果数据不同时,获取差异数据以更新第N+1步工序的测试基础数据,不需要对所有数据进行修改,处理过程较为简单。
[0010]作为优选,所述获取第N步工序的测试结果数据,包括:通过第N步工序的本地服务器获取第N次的测试结果数据和第N+1次的测试结果数据;通过第N步工序的本地服务器判断所述第N+1次的测试结果数据与所述第N次的测试结果数据是否相同;若不同,则通过第N步工序的本地服务器获取所述第N+1次的测试结果数据与所述第N次的测试结果数据的调整数据;基于所述调整数据调整所述第N步工序的测试结果数据,以获得新的第N步工序的测试结果数据。
[0011]通过采用上述技术方案,只通过第N步工序的本地服务器获取所述第N+1次的测试结果数据与所述第N次的测试结果数据的调整数据,并根据调整数据调整第N步工序的测试结果数据,同样不需要对所有数据进行替换,数据处理压力较小。
[0012]作为优选,在所述获取第N步工序的测试结果数据之后,还包括:基于第N步工序的测试结果数据生成M级版本号;基于所述M级版本号和所述新的第N步工序的测试结果数据生成M+1级版本号,并保留所述第N步工序的测试结果数据和所述M级版本号。
[0013]通过采用上述技术方案,获得N+1级版本号和新的测试结果数据的同时,保留M级版本号和原来的测试结果数据,方便后续进行查询。
[0014]作为优选,在所述通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据和测试设备位置之前,还包括:获取通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据的前一次获取时间;获取当前时间;基于所述当前时间和所述获取时间获取间隔时长;判断所述间隔时长是否大于或等于预设时长;若所述间隔时长大于或等于所述预设时长,则获取数据获取指令;基于所述数据获取指令通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据;若所述间隔时长小于所述预设时长,则不获取数据获取指令。
[0015]通过采用上述技术方案,根据间隔时长与预设时长的大小关系确定是否基于数据获取指令通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据,不需要时刻进行数据的获取,能够降低数据处理的压力。
[0016]作为优选,还包括:通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试设备参数;判断所有所述第N步工序的测试设备参数是否相同;若不同,则基于所述测试设备参数获取所述测试设备参数不同的测试设备位置。
[0017]通过采用上述技术方案,判断所有第N步工序的测试设备参数是否相同,不同时记录相应的测试设备位置,方便对测试设备进行检查。
[0018]作为优选,在所述基于所述测试设备参数获取所述测试设备参数不同的测试设备位置之后,还包括:获取相同工序的不同的所述测试设备参数的调整记录;基于所述调整记录判断所述测试设备参数不同的所述测试设备的测试设备参数调整是否规范;若不规范,则基于所述测试设备位置生成报警信息。
[0019]通过采用上述技术方案,当测试设备参数调整不规范时,生成报警信息,方便对相关人员进行提醒。
[0020]作为优选,还包括:若所述测试设备参数调整规范,则获取调整的测试设备的测试结果数据,作为调整测试数据;将所述调整测试数据覆盖其他的下一步工序的不同的所述测试设备所在的本地服务器的测试基础数据。
[0021]通过采用上述技术方案,当测试设备参数调整规范时,将调整测试数据覆盖其他的下一步工序的不同的测试设备所在的本地服务器的测试基础数据,方便对后续的工序提供准确的测试数据。
[0022]第二方面,本申请提供一种晶圆测试数据的同步系统,采用如下的技术方案:一种晶圆测试数据的同步系统,包括:管理服务器、本地服务器和测试设备;所述测试设备,用于生成晶圆测试的第N步工序的测试结果数据和测试设备位置;所述本地服务器,用于获取所述测试结果数据和所述测试设备位置;所述管理服务器,用于接收所述本地服务器发送的所述测试结果数据和所述测试设备位置;所述管理服务器,还用于判断第N步工序的测试设备位置与第N+1步工序的测试设备位置是否相同;如果相同,则通过所述第N步工序的本地服务器将第N步工序的测试结果数据作为第N+1步工序的测试基础数据;如果不同,则将所述第N步工序的测试结果数据发送至第N+1步工序的本地服务器,本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆测试数据的同步方法,其特征在于,包括:通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据和测试设备位置;判断第N步工序的测试设备位置与第N+1步工序的测试设备位置是否相同;如果相同,则通过所述第N步工序的本地服务器将第N步工序的测试结果数据作为第N+1步工序的测试基础数据;如果不同,则将所述第N步工序的测试结果数据发送至第N+1步工序的本地服务器,作为第N+1步工序的测试基础数据。2.根据权利要求1所述的同步方法,其特征在于,所述将所述第N步工序的测试结果数据发送至第N+1步工序的本地服务器,作为第N+1步工序的测试基础数据,包括:获取第N+1步工序的测试基础数据;判断所述第N+1步工序的测试基础数据与所述第N步工序的测试结果数据是否相同;若不同,则获取所述第N+1步工序的测试基础数据与所述第N步工序的测试结果数据的差异数据;将所述差异数据发送至所述第N+1步工序的本地服务器,以更新所述第N+1步工序的测试基础数据。3.根据权利要求1所述的同步方法,其特征在于,所述获取第N步工序的测试结果数据,包括:通过第N步工序的本地服务器获取第N次的测试结果数据和第N+1次的测试结果数据;通过第N步工序的本地服务器判断所述第N+1次的测试结果数据与所述第N次的测试结果数据是否相同;若不同,则通过第N步工序的本地服务器获取所述第N+1次的测试结果数据与所述第N次的测试结果数据的调整数据;基于所述调整数据调整所述第N步工序的测试结果数据,以获得新的第N步工序的测试结果数据。4.根据权利要求3所述的同步方法,其特征在于,在所述获取第N步工序的测试结果数据之后,还包括:基于第N步工序的测试结果数据生成M级版本号;基于所述M级版本号和所述新的第N步工序的测试结果数据生成M+1级版本号,并保留所述第N步工序的测试结果数据和所述N级版本号。5.根据权利要求1所述的同步方法,其特征在于,在所述通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结果数据和测试设备位置之前,还包括:获取通过晶圆测试的第N步工序的本地服务器获取第N步工序的测试结...

【专利技术属性】
技术研发人员:廖钰
申请(专利权)人:深圳市华力宇电子科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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