真空干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空干燥装置。本实用新型专利技术的真空干燥装置包括箱体、承载机构以及导流机构；箱体具有能够预设真空度以及预设温度的真空干燥腔，承载机构活动设置于真空干燥腔内以用于承载待干燥物件，导流机构包括层叠设置的第一导流件与第二导流件，第一导流件上设置有若干个第一导流孔，第二导流件上设置有若干个第二导流孔，第一导流孔与第一导流孔在承载机构上的正投影不完全重叠。本实用新型专利技术的真空干燥装置可实现精细控制溶剂挥发方向，实现待干燥物件上不同区域以及待干燥物件的像素坑内不同区域的溶剂挥发程度均匀分布。素坑内不同区域的溶剂挥发程度均匀分布。素坑内不同区域的溶剂挥发程度均匀分布。

【技术实现步骤摘要】
真空干燥装置


[0001]本技术涉及显示
，特别是涉及一种真空干燥装置。

技术介绍

[0002]显示器件例如OLED器件制作工艺中，某些功能材料如空穴注入层(HIL)、空穴传输层(HTL)以及发光层材料(EML)等功能性材料可采用喷墨打印工艺。显示器件效率的影响因素中，各功能层材料的成膜均匀性是很重要的考察点。按照显示器件制作工艺中对墨水材料成膜的均匀性的影响，主要为三个工艺步骤：一是喷墨打印工艺，其墨滴体积、滴落角度控制的精确性对像素坑内墨水材料的成膜的均匀性有重要影响；二是减压干燥工艺，在墨水中的溶剂成分挥发速率以及腔体内的气压控制等对墨水材料成膜的均匀性也有重要影响。三是烘烤工艺，针对玻璃基板加热的均匀性对墨水材料的均匀成膜有重要影响。
[0003]目前，针对大尺寸的基板会存在问题：基板上先进行喷墨打印的区域和最后进行喷墨打印的区域因为间隔时间过长，导致墨水材料的干燥程度差异太大，导致进行后续的减压干燥工艺后，会出现成膜膜质不均匀；另外一方面，在像素坑内的墨水边缘与中心部因为蒸发速率不同，往往会出现像素坑内四周堆积或者中心部堆积等不均匀的成膜现象。

技术实现思路

[0004]基于此，有必要针对传统技术中存在具体到各个像素内的微观成膜不均，以及各个像素内的整面基底不同区域的成膜不均匀的问题，提供一种真空干燥装置。
[0005]一种真空干燥装置，包括：
[0006]箱体，所述箱体具有能够预设真空度以及预设温度的真空干燥腔；
[0007]承载机构，所述承载机构活动设置于所述真空干燥腔内以用于承载待干燥物件；以及
[0008]导流机构，所述导流机构设置在所述真空干燥腔内，且与所述承载机构相对设置，所述导流机构包括层叠设置的第一导流件与第二导流件，所述第一导流件上设置有若干个第一导流孔，所述第二导流件上设置有若干个第二导流孔，所述第一导流孔与所述第一导流孔在所述承载机构上的正投影不完全重叠。
[0009]在其中一些实施例中，所述第一导流件的数量为多个，所述第二导流件的数量为多个，所述第一导流件与所述第二导流件交替间隔分布，且所述第一导流件与所述第二导流件之间的水平位置可调和/或所述第一导流件与所述第二导流件之间的垂直间距可调。
[0010]在其中一些实施例中，所述第一导流孔在所述第一导流件上呈矩阵分布；
[0011]所述第二导流孔在所述第二导流件上呈矩阵分布；所述第一导流件上的任一所述第一导流孔与所述第二导流件上的任一所述第二导流孔在所述承载机构上的正投影不完全重叠；
[0012]所述第一导流孔与所述第二导流孔均相对于所述箱体沿竖直方向延伸。
[0013]在其中一些实施例中，所述第一导流孔的孔径与所述第二导流孔的孔径相同，所
述第一导流孔的孔径与所述第二导流孔的孔径为1mm
‑
50mm。
[0014]在其中一些实施例中，所述真空干燥装置还包括支撑机构，所述支撑机构设置在所述真空干燥腔内，所述支撑机构用于承载所述第一导流件与所述第二导流件。
[0015]在其中一些实施例中，所述支撑机构包括：
[0016]第一支撑件，所述第一支撑件连接于所述真空干燥腔的内壁，所述第一导流件活动连接于所述第一支撑件；
[0017]第二支撑件，所述第二支撑件连接于所述真空干燥腔的内壁，所述第二导流件活动连接于所述第二支撑件。
[0018]在其中一些实施例中，所述真空干燥装置还包括移动机构，所述移动机构连接于各个所述第一导流件或者各个所述第二导流件，所述移动机构连接用于驱动各个所述第一导流件同步移动或者各个所述第二导流件同步移动，以调节相邻的所述第一导流孔与所述第二导流孔之间的水平位置和/或垂直间距。
[0019]在其中一些实施例中，所述移动机构驱动各个所述第一导流件同步移动的距离或者各个所述第二导流件同步移动的距离为1/4S
‑
1/2S，其中S为相邻的所述第一导流孔与所述第二导流孔之间的最大水平间距。
[0020]在其中一些实施例中，所述真空干燥装置还包括冷凝板，所述冷凝板设置于所述真空干燥腔内且位于所述导流机构的上方。
[0021]在其中一些实施例中，所述真空干燥装置还包括升降机构，所述升降机构连接于所述承载机构以用于驱动所述承载机构升降运动。
[0022]在其中一些实施例中，所述承载机构的用于承载待干燥物件的承载台面与所述冷凝板之间的距离为21～60mm。
[0023]上述的真空干燥装置，通过设置了层叠结构且间隔的第一导流件与第二导流件，并且第一导流件上的第一导流孔与第二导流件上的第二导流孔呈错位分布，可实现精细控制溶剂挥发方向，实现待干燥物件上不同区域以及待干燥物件的像素坑内不同区域的溶剂挥发程度均匀分布。上述的真空干燥装置，在干燥工艺中规避了待干燥物件如玻璃基板上不同区域以及像素内像素边缘与像素中心部的干燥氛围不同的问题，提高了玻璃基板上整面区域的膜厚均匀性。在显示器件的干燥工艺中，可以有效避免喷墨打印工艺中因墨水溶剂在玻璃基板四周与中心位置干燥情况不同的问题以及像素边缘与像素中心位置干燥情况不同的问题，保证了显示器件制作中的干燥工艺稳定性，进而确保了经过干燥工艺后，墨水材料在玻璃基板整面性上的膜厚均匀性。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本申请实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单的介绍。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对本领域技术人员来说，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0025]为了更完整地理解本申请及其有益效果，下面将结合附图来进行说明。其中，在下面的描述中相同的附图标号表示相同部分。
[0026]图1为本技术一实施例所述的真空干燥装置整体结构侧面示意图；
[0027]图2为本技术一实施例所述的真空干燥装置的导流机构侧面示意图；
[0028]图3为本技术一实施例所述的真空干燥装置的导流机构俯视示意图；
[0029]图4为本技术一实施例所述的真空干燥装置的导流机构与移动机构配合示意图。
[0030]附图标记说明
[0031]10、真空干燥装置；100、箱体；101、真空干燥腔；200、承载机构；300、导流机构；301、第一导流件；3011、第一导流孔；302、第二导流件；3021、第二导流孔；401、第一支撑件；402、第二支撑件；500、冷凝板；600、升降机构；20、待干燥物件。
具体实施方式
[0032]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种真空干燥装置，其特征在于，包括：箱体，所述箱体具有能够预设真空度以及预设温度的真空干燥腔；承载机构，所述承载机构活动设置于所述真空干燥腔内以用于承载待干燥物件；以及导流机构，所述导流机构设置在所述真空干燥腔内，且与所述承载机构相对设置，所述导流机构包括层叠设置的第一导流件与第二导流件，所述第一导流件上设置有若干个第一导流孔，所述第二导流件上设置有若干个第二导流孔，所述第一导流孔与所述第一导流孔在所述承载机构上的正投影不完全重叠。2.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一导流件的数量为多个，所述第二导流件的数量为多个，所述第一导流件与所述第二导流件交替间隔分布，且所述第一导流件与所述第二导流件之间的水平位置可调和/或所述第一导流件与所述第二导流件之间的垂直间距可调。3.根据权利要求1所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一导流孔在所述第一导流件上呈矩阵分布；所述第二导流孔在所述第二导流件上呈矩阵分布；所述第一导流件上的任一所述第一导流孔与所述第二导流件上的任一所述第二导流孔在所述承载机构上的正投影不完全重叠；所述第一导流孔与所述第二导流孔均相对于所述箱体沿竖直方向延伸。4.根据权利要求1
‑
3任意一项所述的真空干燥装置，其特征在于，所述第一导流孔的孔径与所述第二导流孔的孔径相同，所述第一导流孔的孔径与所述第二导流孔的孔径为1mm
‑
50mm。5.根据权利要求1
‑
3任意一项所述的真空干燥装置，其特征在于，所述真空干燥装置还包括：支撑机构，所述支撑机构设置在所述真空干燥腔内，所述支撑机构用于承载所述第一导流件...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳开郎，孙贤文，付东，
申请(专利权)人：广东聚华印刷显示技术有限公司，
类型：新型
国别省市：