【技术实现步骤摘要】
本申请涉及加工设备,更具体地,涉及一种承载设备。
技术介绍
1、近年来喷墨打印技术在电子功能器件制造领域得到快速的发展,特别是在平板显示领域引起了极大的关注,例如在oled和qled显示器制造中,喷墨打印技术具有材料利用率高、无需使用精细金属掩膜板(fmm)、可大面积制备等传统真空镀膜技术所不具备的优势,被认为是解决高成本和实现大面积的有效途径。
2、在打印过程中,基板在承载设备上通过负压吸附进行固定,打印完成之后,对基板撤去负压进行解吸附,随后通过机械手将基板搬运至后续工艺腔室中;撤去负压的瞬间,基板可能由于气压变化的原因而产生一定的位移,此时直接将基板搬运至后续工艺腔室中,就可能由于基板的偏移而导致无法进入,或者进入后产生破片。因此有必要提供一种承载设备,能够消除基板因气压变化而产生的位移,确保后续工艺的顺利进行。
技术实现思路
1、基于此,本申请实施例在于提供一种承载设备。
2、为了解决上述技术问题,本申请实施例提供一种承载设备,采用了如下所述的技术方案:
3、一种承载设备,包括:
4、承载平台,具有用于固定加工件的承载面;
5、顶升装置,设于所述承载面上,用于顶升所述加工件;
6、校正装置,包括至少一组相对设置的限位器,所述限位器设于所述承载平台的侧边,所述限位器用于抵接所述加工件的侧边。
7、进一步地,所述限位器包括转动件和动力件;所述转动件转动设于所述承载平台远离所述顶升装置一端的侧边,
8、进一步地,所述限位器还包括限位块,所述限位块设于所述转动件远离所述动力件的一端,所述限位块用于与所述加工件的侧边抵接。
9、进一步地,所述限位块的高度低于所述承载平台的高度。
10、进一步地,所述限位器还包括弹性件,所述弹性件的两端分别连接所述承载平台和所述转动件相邻的侧面。
11、进一步地,所述限位器还包括压力传感器,所述压力传感器设于所述承载平台的侧面,所述弹性件远离所述转动件的一端与所述压力传感器抵接,所述压力传感器用于接收所述弹性件的压力。
12、进一步地,所述转动件包括转动轴和转动杆;所述转动轴转动设于所述承载平台远离所述顶升装置一端的侧边,所述转动件的中部与所述转动轴连接,所述转动轴的一端与所述动力件连接,所述转动件的另一端用于与所述加工件的侧边抵接。
13、进一步地,所述顶升装置包括多个间隔设于所述承载面上的升降件,所述升降件用于调节所述加工件的高度。
14、进一步地,所述承载面上开设有多个吸附孔,用于吸附所述加工件。
15、进一步地,所述承载平台相对的侧边分别独立地设有至少一组所述限位器。
16、与现有技术相比,本申请实施例主要有以下有益效果:通过相对设置的限位器,将发生位移的加工件进行位置校正,避免出现加工件无法搬运进入后续的工艺腔室中以及破片的情况,确保后续工艺的顺利进行。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种承载设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的承载设备,其特征在于,所述限位器包括转动件和动力件;所述转动件转动设于所述承载平台远离所述顶升装置一端的侧边,所述动力件设于所述承载平台远离所述顶升装置的一端,所述动力件的动力输出端与所述转动件抵接,所述动力件用于驱动所述转动件绕所述承载平台的侧边转动,所述转动件远离所述动力件的一端用于与所述加工件的侧边抵接。
3.根据权利要求2所述的承载设备,其特征在于,所述限位器还包括限位块,所述限位块设于所述转动件远离所述动力件的一端,所述限位块用于与所述加工件的侧边抵接。
4.根据权利要求3所述的承载设备,其特征在于,所述限位块的高度低于所述承载平台的高度。
5.根据权利要求2所述的承载设备,其特征在于,所述限位器还包括弹性件,所述弹性件的两端分别连接所述承载平台和所述转动件相邻的侧面。
6.根据权利要求5所述的承载设备,其特征在于,所述限位器还包括压力传感器,所述压力传感器设于所述承载平台的侧面,所述弹性件远离所述转动件的一端与所述压力传感器抵接,所述压力传感器用于
7.根据权利要求2所述的承载设备,其特征在于,所述转动件包括转动轴和转动杆;所述转动轴转动设于所述承载平台远离所述顶升装置一端的侧边,所述转动件的中部与所述转动轴连接,所述转动轴的一端与所述动力件连接,所述转动件的另一端用于与所述加工件的侧边抵接。
8.根据权利要求1至7任一项所述的承载设备,其特征在于,所述顶升装置包括多个间隔设于所述承载面上的升降件,所述升降件用于调节所述加工件的高度。
9.根据权利要求1至7任一项所述的承载设备,其特征在于,所述承载面上开设有多个吸附孔,用于吸附所述加工件。
10.根据权利要求1至7任一项所述的承载设备,其特征在于,所述承载平台相对的侧边分别独立地设有至少一组所述限位器。
...【技术特征摘要】
1.一种承载设备,其特征在于,包括:
2.根据权利要求1所述的承载设备,其特征在于,所述限位器包括转动件和动力件;所述转动件转动设于所述承载平台远离所述顶升装置一端的侧边,所述动力件设于所述承载平台远离所述顶升装置的一端,所述动力件的动力输出端与所述转动件抵接,所述动力件用于驱动所述转动件绕所述承载平台的侧边转动,所述转动件远离所述动力件的一端用于与所述加工件的侧边抵接。
3.根据权利要求2所述的承载设备,其特征在于,所述限位器还包括限位块,所述限位块设于所述转动件远离所述动力件的一端,所述限位块用于与所述加工件的侧边抵接。
4.根据权利要求3所述的承载设备,其特征在于,所述限位块的高度低于所述承载平台的高度。
5.根据权利要求2所述的承载设备,其特征在于,所述限位器还包括弹性件,所述弹性件的两端分别连接所述承载平台和所述转动件相邻的侧面。
6.根据权利要求5所述的承载设...
【专利技术属性】
技术研发人员:黄航,
申请(专利权)人:广东聚华印刷显示技术有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。