光学检测系统技术方案

本发明专利技术公开了一种光学检测系统，包括光源组件、第一光处理组件和分光组件，第一光处理组件包括第一探测件和第二探测件，第一探测件和第二探测件用于接收并分析光源组件经待测物散射的第一光线，分光组件包括第一分光件，第一分光件至少包括第一调节状态和第二调节状态，其中，在第一分光件位于第一调节状态下，第一分光件用于将第一光线进行分光以形成第一路径光和第二路径光，第一探测件用于接收第一路径光，第二探测件用于接收第二路径光，在第一分光件位于第二调节状态下，第一分光件用于对第一光线进行反射，以使得第一探测件和第二探测件的其中一个接收反射后的光线。上述光学检测系统可提高对不同类型的待测物进行厚度检测的适用性。度检测的适用性。度检测的适用性。

【技术实现步骤摘要】
光学检测系统


[0001]本专利技术涉及晶圆检测
，特别涉及一种光学检测系统。

技术介绍

[0002]在相关技术中，在进行晶圆的厚度检测时，针对膜厚、薄膜缺陷的检测，主要通过采集经待测样品散射的光线，然后对比分析散射光线和入射光线的光学性质，从而得到薄膜厚度等参数。然而，现有的检测方法较为单一，在检测不同类型薄膜时，难以兼顾不同情况下的检测需求。

技术实现思路

[0003]本专利技术的实施方式提供了一种光学检测系统。
[0004]本专利技术实施方式提供一种光学检测系统，所述光学检测系统包括：
[0005]光源组件；
[0006]第一光处理组件，包括第一探测件和第二探测件，所述第一探测件和所述第二探测件用于接收，并分析所述光源组件经待测物散射的第一光线；和
[0007]分光组件，包括第一分光件，所述第一分光件至少包括第一调节状态和第二调节状态，其中，
[0008]在所述第一分光件位于所述第一调节状态下，所述第一分光件用于将所述第一光线进行分光以形成第一路径光和第二路径光，所述第一探测件用于接收所述第一路径光，所述第二探测件用于接收所述第二路径光，
[0009]在所述第一分光件位于所述第二调节状态下，所述第一分光件用于对所述第一光线进行反射，以使得所述第一探测件和所述第二探测件的其中一个接收反射后的光线。
[0010]上述光学检测系统，在通过检测第一光线以确定待测物表面反射率的变化的情况下，通过切换第一分光件至第一调节状态，可实现对第一光线的单探测器检测以提高检测速度，通过切换第一分光件至第二调节状态，可实现对第一光线的差分检测以提高检测精度，从而可提高对不同类型的待测物进行厚度检测的适用性。
[0011]在某些实施方式中，所述第一分光件包括棱镜，在所述第一分光件位于所述第一调节状态下，所述棱镜用于沿所述预设方向进行移动以调整对所述第一路径光和所述第二路径光的分光比。
[0012]在某些实施方式中，所述第一光处理组件包括信息处理件，在所述第一探测件和/或所述第二探测件对所述第一光线进行分析并生成光信号数据的情况下，所述信息处理件用于对所述生成的光信号数据进行处理。
[0013]在某些实施方式中，在所述第一分光件位于所述第一调节状态下，所述第一探测件根据接收到的所述第一路径光生成第一光信号数据，所述第二探测件根据接收到的所述第二路径光生成第二光信号数据，所述信息处理件用于对所述第一光信号数据和所述第二光信号数据进行差分处理；
[0014]在所述第一分光件位于所述第二调节状态下，所述第一探测件和所述第二探测件的其中一个根据接收到的所述反射后的光线生成第三光信号数据，所述信息处理件用于对所述第三光信号数据进行处理。
[0015]在某些实施方式中，所述光学检测系统包括操作件，所述操作件至少包括第一调节动作和第二调节动作，
[0016]所述第一分光件被配置为：
[0017]在以所述第一调节动作对所述操作件进行控制的情况下，被切换至所述第一调节状态；
[0018]在以所述第二调节动作对所述操作件进行控制的情况下，被切换至所述第二调节状态。
[0019]在某些实施方式中，所述光学检测系统包括检测部和控制器，所述检测部用于检测所述待测物的类型并生成类型数据，所述控制器用于根据所述类型数据控制所述第一分光件在所述第一调节状态和所述第二调节状态之间切换。
[0020]在某些实施方式中，所述光学检测系统包括第二光处理组件，所述第二光处理组件包括第三探测件，所述第三探测件用于接收，并分析所述光源组件经所述待测物散射的第二光线，
[0021]其中，所述光源组件包括发光源、第一处理模块和第二处理模块，所述光源组件通过所述发光源和所述第一处理模块生成所述第一光线，以及通过所述发光源和所述第二处理模块生成所述第二光线。
[0022]在某些实施方式中，所述分光组件包括第二分光件，所述第二分光件用于将所述第二光线引导至所述第二光处理组件。
[0023]在某些实施方式中，在所述第一光处理组件检测到所述第一光线、所述第二光处理组件检测到所述第二光线的情况下，所述光学检测系统用于对所述第一光处理组件和所述第二光处理组件分别得到的光信号数据进行对比分析。
[0024]本专利技术的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本专利技术的实践了解到。
附图说明
[0025]本专利技术的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0026]图1是本专利技术实施方式的光学检测系统的结构示意图；
[0027]图2是本专利技术实施方式的光学检测系统的另一结构示意图；
[0028]图3是本专利技术实施方式的待测件表面的反射率和时间的对应关系；
[0029]图4是本专利技术实施方式的光学检测系统的模块示意图；
[0030]图5是本专利技术实施方式的光学检测系统的又一结构示意图；
[0031]图6是本专利技术实施方式的光源组件的结构示意图。
[0032]主要元件符号说明：
[0033]光学检测系统100、待测件200；
[0034]光源组件110、发光源111、第一处理模块112、第二处理模块113、第一光处理组件
120、第一探测件121、第二探测件122、信息处理件123、分光组件130、第一分光件131、第二分光件132、检测部140、控制器150、第二光处理组件160、第三探测件161。
具体实施方式
[0035]下面详细描述本专利技术的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本专利技术，而不能理解为对本专利技术的限制。
[0036]在本专利技术的描述中，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个所述特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
[0037]在本专利技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接。可以是机械连接，也可以是电连接。可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。
[0038]在本专利技术的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本专利技术的不同结构。为了简化本专利技术的公开，下文中对特定例子的部件和设置进行描述。当然，它们仅仅为示例，并且目的不在于限制本专利技术。此外，本专利技术可以在不同例子中重复参考数字和/或参考字母，这种重复是为了简本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学检测系统，其特征在于，所述光学检测系统包括：光源组件；第一光处理组件，包括第一探测件和第二探测件，所述第一探测件和所述第二探测件用于接收，并分析所述光源组件经待测物散射的第一光线；和分光组件，包括第一分光件，所述第一分光件至少包括第一调节状态和第二调节状态，其中，在所述第一分光件位于所述第一调节状态下，所述第一分光件用于将所述第一光线进行分光以形成第一路径光和第二路径光，所述第一探测件用于接收所述第一路径光，所述第二探测件用于接收所述第二路径光，在所述第一分光件位于所述第二调节状态下，所述第一分光件用于对所述第一光线进行反射，以使得所述第一探测件和所述第二探测件的其中一个接收反射后的光线。2.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一分光件包括棱镜，在所述第一分光件位于所述第一调节状态下，所述棱镜用于沿所述预设方向进行移动以调整对所述第一路径光和所述第二路径光的分光比。3.根据权利要求1所述的光学检测系统，其特征在于，所述第一光处理组件包括信息处理件，在所述第一探测件和/或所述第二探测件对所述第一光线进行分析并生成光信号数据的情况下，所述信息处理件用于对所述生成的光信号数据进行处理。4.根据权利要求3所述的光学检测系统，其特征在于，在所述第一分光件位于所述第一调节状态下，所述第一探测件根据接收到的所述第一路径光生成第一光信号数据，所述第二探测件根据接收到的所述第二路径光生成第二光信号数据，所述信息处理件用于对所述第一光信号数据和所述第二光信号数据进行差分处理；在所述第一分光件位于所述第二调节状态下，所述第一探测件和所述第二探测件的其中一个...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈鲁，白园园，马砚忠，张嵩，
申请(专利权)人：深圳中科飞测科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：