校准方法、扫描电镜、控制装置和存储介质制造方法及图纸

本申请公开了一种校准方法、扫描电镜、控制装置和存储介质。本申请实施方式提供的种扫描电镜参数的校准方法包括：采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像；读取所述图像的信噪比；记录在所述信噪比为最高值对应的聚焦电流值；获取当前实际工作距离；基于所述实际工作距离，将工作距离与所述聚焦电流值拟合关联得到第一关系；基于所述第一关系校准所述扫描电镜。如此，利用本申请实施方式提供的校准方法可对扫描电镜的工作距离参数进行精确校准，使得扫描电镜能够达到自动聚焦功能，从而可实现对样品尺寸的精确测量和最优成像，且该校准方法具有通用性，可适用于所有的扫描电镜。扫描电镜。扫描电镜。

【技术实现步骤摘要】
校准方法、扫描电镜、控制装置和存储介质


[0001]本申请涉及扫描电镜
，尤其涉及一种校准方法、扫描电镜、控制装置和存储介质。

技术介绍

[0002]在相关技术中，扫描电镜关键参数校准方法通常在机器出厂前调试完成，主要基于机械距离，与高精度样品台的工作状况息息相关，没有一个通用的校准方法，每台设备的校准流程都有区别。扫描电镜长时间使用后，扫描电镜的参数会有一些变动，影响测试精度，需要进行补充校准。

技术实现思路

[0003]本申请实施方式提供了一种校准方法、扫描电镜、控制装置和存储介质。
[0004]本申请实施方式提供的种扫描电镜参数的校准方法包括：
[0005]采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像；
[0006]读取所述图像的信噪比；
[0007]记录在所述信噪比为最高值对应的聚焦电流值；
[0008]获取当前实际工作距离；
[0009]基于所述实际工作距离，将工作距离与所述聚焦电流值拟合关联得到第一关系；
[0010]基于所述第一关系校准所述扫描电镜。
[0011]如此，利用本申请实施方式提供的校准方法可对扫描电镜的工作距离参数进行精确校准，使得扫描电镜能够达到自动聚焦功能，从而可实现对样品尺寸的精确测量和最优成像，且该校准方法具有通用性，可适用于所有的扫描电镜。
[0012]在某些实施方式中，所述采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像包括：
[0013]调节得到不同聚焦电流；
[0014]在每个所述聚焦电流下获取至少一个所述标准样品的图像。
[0015]在某些实施方式中，在所述采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像之前，所述校准方法还包括：
[0016]选定位移台的Z轴高度；
[0017]在预定加速电压下，以预定放大倍数对所述标准样品进行消像散和聚焦。
[0018]在某些实施方式中，在所述采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像之前，所述校准方法还包括：
[0019]根据位移台的Z轴行程，测量样品台最高点到电镜极靴的距离Z
min
，并测量样品台最低点到电镜极靴的距离Z
max
；
[0020]测量标准样品的高度H；
[0021]所述当前实际工作距离根据以下公式计算：
[0022]WD＝|Z
‑
Z
min
|
‑
H；
[0023]其中，WD为所述当前工作距离。
[0024]在某些实施方式中，所述基于所述实际工作距离，将工作距离与所述聚焦电流值拟合关联得到第一关系，包括：
[0025]调节所述位移台的Z轴高度以得到不同的Z轴高度；
[0026]在不同Z轴高度值下，计算得到对应所述实际工作距离并获取对应的所述聚焦电流值；
[0027]对不同的所述实际工作距离与对应的所述聚焦电流值进行非线性拟合，以得到所述第一关系。
[0028]在某些实施方式中，所述校准方法还包括：
[0029]测量所述标准样品的实际长度；
[0030]将所述实际长度与所述标准样品的特征长度的比值作为缩放系数；
[0031]将工作距离与所述缩放系数拟合关联得到第二关系；
[0032]基于所述第二关系校准所述扫描电镜。
[0033]在某些实施方式中，所述将工作距离与所述缩放系数拟合关联得到第二关系，包括：
[0034]调节所述位移台的Z轴高度以得到不同的Z轴高度；
[0035]在不同Z轴高度值下，计算得到对应所述实际工作距离和对应的缩放系数；
[0036]对不同的所述实际工作距离与对应的所述缩放系数进行非线性拟合，以得到所述第二关系。
[0037]本申请实施方式提供的扫描电镜包括：物镜、样品台、位移台、存储器和控制器。所述样品台用于承载待测样品，所述样品台与所述物镜间隔设置：所述位移台与所述样品台连接；所述存储器用于存储计算机程序；所述控制器用于执行所述计算机程序以实现以上任一实施方式所述的校准方法。
[0038]本申请实施方式提供的控制装置包括采集模块、读取模块、记录模块、获取模块、拟合模块和校准模块。所述采集模块用于采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像。所述读取模块用于读取所述图像的信噪比。所述记录模块用于记录在所述信噪比为最高值对应的聚焦电流值。所述获取模块用于获取当前实际工作距离。所述拟合模块用于基于所述实际工作距离，将工作距离与所述聚焦电流值拟合关联得到第一关系。所述校准模块用于基于所述第一关系校准所述扫描电镜。
[0039]本申请实施方式提供的计算机可读存储介质上存储有计算机程序，该程序被处理器执行时，实现以上任一实施方式所述的校准方法。
[0040]本申请的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本申请的实践了解到。
附图说明
[0041]本申请的上述和/或附加的方面和优点从结合下面附图对实施方式的描述中将变得明显和容易理解，其中：
[0042]图1是本申请实施方式的校准方法的流程示意图；
[0043]图2是本申请实施方式的扫描电镜的结构示意简图；
[0044]图3是本申请实施方式的控制装置的模块示意图；
[0045]图4是本申请实施方式的校准方法的流程示意图；
[0046]图5是本申请实施方式的校准方法的另一流程示意图；
[0047]图6是本申请实施方式的校准方法的又一流程示意图；
[0048]图7是本申请实施方式的校准方法的再一流程示意图；
[0049]图8是本申请实施方式校准方法的不同加速电压下工作距离与聚焦电流值的拟合结果示意图；
[0050]图9是本申请实施方式的校准方法的再一流程示意图；
[0051]图10是本申请实施方式的校准方法的再一流程示意图；
[0052]图11是本申请实施方式的校准方法的缩放系数差与工作距离的关系示例图；
[0053]图12是本申请实施方式的校准方法的一实施例的测量数据图；
[0054]图13是本申请实施方式的校准方法的另一实施例的测量数据图。
[0055]主要元件符号说明：
[0056]扫描电镜10、物镜11、样品台12、位移台13、存储器14、控制器15、样品室16、电子枪17、电镜极靴18、控制装置20、采集模块21、读取模块22、记录模块23、获取模块24、拟合模块25、校准模块26。
具体实施方式
[0057]下面详细描述本申请的实施方式，所述实施方式的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施方式是示例性的，仅用于解释本申请，而不能理解为对本申请的限制。
[0058]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种扫描电镜参数的校准方法，其特征在于，包括：采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像；读取所述图像的信噪比；记录在所述信噪比为最高值对应的聚焦电流值；获取当前实际工作距离；基于所述实际工作距离，将工作距离与所述聚焦电流值拟合关联得到第一关系；基于所述第一关系校准所述扫描电镜。2.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像包括：调节得到不同聚焦电流；在每个所述聚焦电流下获取至少一个所述标准样品的图像。3.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，在所述采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像之前，所述校准方法还包括：选定位移台的Z轴高度；在预定加速电压下，以预定放大倍数对所述标准样品进行消像散和聚焦。4.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，在所述采集位于样品台上的标准样品在不同聚焦电流下的图像之前，所述校准方法还包括：根据位移台的Z轴行程，测量样品台最高点到电镜极靴的距离Z
min
，并测量样品台最低点到电镜极靴的距离Z
max
；测量标准样品的高度H；所述当前实际工作距离根据以下公式计算：WD＝|Z
‑
Z
min
|
‑
H；其中，WD为所述当前工作距离。5.根据权利要求1所述的校准方法，其特征在于，所述基于所述实际工作距离，将工作距离与所述聚焦电流值拟合关联得到第一关系，包括：调节位移台的Z轴高度以得到不同的Z轴高度；在不同Z轴高度值下，计算得到对应所述实际工作距离并获取对应的所述聚焦电流值；对不同的...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈帆，
申请(专利权)人：无锡量子感知研究所，
类型：发明
国别省市：