硅棒压紧装置制造方法及图纸

技术编号:35263277 阅读:15 留言:0更新日期:2022-10-19 10:23
本申请实施例提供一种硅棒压紧装置,包括:框架;驱动机构,设置于所述框架上;压紧机构,与所述驱动机构的输出端相连;所述压紧机构在所述驱动机构的驱动力作用下朝向硅棒的方向移动并压紧在硅棒表面;所述压紧机构包括:与框架配合的导向杆,沿第一方向延伸;所述第一方向为压紧机构移动的方向;压板,与所述导向杆相连,所述压板可压覆于硅棒表面;所述压板可相对于所述导向杆摆动预设角度。本申请实施例提供的硅棒压紧装置能够自适应硅棒表面并对硅棒施加均匀的压紧力。面并对硅棒施加均匀的压紧力。面并对硅棒施加均匀的压紧力。

【技术实现步骤摘要】
硅棒压紧装置


[0001]本申请涉及硅材料生产技术,尤其涉及一种硅棒压紧装置。

技术介绍

[0002]切片机是一种将硬脆材料棒切割成薄片的设备,在通过切片机进行切片之前,需要先将硬脆材料棒粘接在晶托上。硬脆材料可以为蓝宝石、单晶硅、多晶硅等,以单晶硅为例,如图1至图3所示,在晶托11上涂覆树脂胶12,将树脂板13粘贴在晶托11表面。然后在树脂板13表面涂覆硅棒胶14,将硅棒 15粘贴于树脂板13上。在硅棒15与树脂板13粘贴的过程中,需要对二者施加一定的压力,以使硅棒胶平铺在粘合面上,并排出硅棒胶中的气泡,使粘贴牢固。
[0003]传统方案中,采用压装工具从上向下压硅棒15上,对硅棒15施加压紧力。但当硅棒放置不平时,压紧工装与硅棒15的表面贴合不紧密,施加压力不均匀,使得粘接力不足,进而导致硅棒在切片过程中容易掉落,不但会损伤硅棒,还会影响生产进度。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术缺陷之一,本申请实施例中提供了一种硅棒压紧装置。
[0005]根据本申请实施例的第一个方面,提供了一种硅棒压紧装置,包括:
[0006]框架;
[0007]驱动机构,设置于所述框架上;
[0008]压紧机构,与所述驱动机构的输出端相连;所述压紧机构在所述驱动机构的驱动力作用下朝向硅棒的方向移动并压紧在硅棒表面;
[0009]所述压紧机构包括:
[0010]与框架配合的导向杆,沿第一方向延伸;所述第一方向为压紧机构移动的方向;
[0011]压板,与所述导向杆相连,所述压板可压覆于硅棒表面;所述压板可相对于所述导向杆摆动预设角度。
[0012]如上所述的硅棒压紧装置,所述压紧机构还包括:
[0013]缓冲板,所述缓冲板位于导向杆与压板之间;缓冲板的一侧与导向杆铰接,另一侧与压板相连。
[0014]如上所述的硅棒压紧装置,所述缓冲板的一侧设有两个相对设置的铰接座,铰接座设有铰接孔;
[0015]所述导向杆的端部设有铰接凸块,铰接凸块插入两个铰接座之间并通过铰接轴连接至铰接孔。
[0016]如上所述的硅棒压紧装置,还包括:
[0017]弹性件,连接在缓冲板的另一侧与压板之间。
[0018]如上所述的硅棒压紧装置,所述弹性件为直线弹簧,沿第一方向延伸,其一端与缓冲板相连,另一端与压板相连。
[0019]如上所述的硅棒压紧装置,两组弹性件以缓冲板沿长度方向的中心线为对称轴、呈轴对称分布;一组中的各弹性件沿缓冲板的长度方向依次间隔布设。
[0020]如上所述的硅棒压紧装置,所述缓冲板的中部设有连接板,连接板与所述驱动机构相连;
[0021]所述导向杆的数量为两个,沿缓冲板的长度方向布设且分别设置于连接板的两侧。
[0022]如上所述的硅棒压紧装置,所述压板包括多个压块,多个压块沿压板的长度方向依次布设且连接在一起;每个压块与缓冲板之间均连接有弹性件。
[0023]如上所述的硅棒压紧装置,所述驱动机构为伺服电缸。
[0024]如上所述的硅棒压紧装置,所述框架包括:顶部架体及支腿;所述支腿沿竖向延伸,顶部架体连接于支腿顶端;各支腿间隔布设,围成用于容纳硅棒的空间;所述驱动机构连接于顶部架体。
[0025]本申请实施例所提供的技术方案,在框架上设置有驱动机构和压紧机构,驱动机构与压紧机构相连用于驱动压紧机构朝向硅棒移动并压紧在硅棒表面。其中,压紧机构包括导向杆和压板,驱动机构推动压板朝向硅棒移动,至与硅棒表面接触;导向杆沿第一方向延伸与框架配合,以在压板移动过程中进行导向,并且压板可相对于导向杆摆动预设角度以紧密压覆于硅棒表面均匀对硅棒施加压紧力,能够使硅棒、树脂板、晶托之间的胶层均匀摊开,并排出胶层中的空气,以达到紧密粘接的效果。
附图说明
[0026]此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解,构成本申请的一部分,本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请,并不构成对本申请的不当限定。在附图中:
[0027]图1为本申请实施例提供的在晶托上涂覆树脂胶的结构示意图;
[0028]图2为本申请实施例提供的在树脂板上涂覆硅棒胶的结构示意图;
[0029]图3为本申请实施例提供的将硅棒粘贴于树脂板上的结构示意图;
[0030]图4为本申请实施例提供的硅棒压紧装置与硅棒压紧的结构示意图;
[0031]图5为本申请实施例提供的硅棒压紧装置的结构示意图;
[0032]图6为本申请实施例提供的硅棒压紧装置中压紧机构的结构示意图;
[0033]图7为本申请实施例提供的硅棒压紧装置中压紧机构的侧视图;
[0034]图8为本申请实施例提供的硅棒压紧装置中压紧机构的压板与弹性件的结构示意图。
[0035]附图标记:
[0036]11

晶托;12

树脂胶;13

树脂板;14

硅棒胶;15

硅棒;
[0037]2‑
框架;
[0038]3‑
驱动机构;
[0039]4‑
压紧机构;41

导向杆;42

压板;421

压块;43

缓冲板;44

铰接座; 45

弹性件;46

连接板;47

连接柱。
具体实施方式
[0040]为了使本申请实施例中的技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图对本申请的示例性实施例进行进一步详细的说明,显然,所描述的实施例仅是本申请的一部分实施例,而不是所有实施例的穷举。需要说明的是,在不冲突的情况下,本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0041]本实施例提供一种硅棒压紧装置,用于对硅棒施加压紧力,使其与晶托及树脂板牢固粘贴在一起。
[0042]图4为本申请实施例提供的硅棒压紧装置与硅棒压紧的结构示意图,图5 为本申请实施例提供的硅棒压紧装置的结构示意图,图6为本申请实施例提供的硅棒压紧装置中压紧机构的结构示意图,图7为本申请实施例提供的硅棒压紧装置中压紧机构的侧视图。
[0043]如图4至图7所示,本实施例提供的硅棒压紧装置包括:框架2、驱动机构3和压紧机构4。其中,框架2作为主体结构,用于支撑和安装各部件。驱动机构3设置于框架2上,其输出端与压紧机构4相连,用于驱动压紧机构4 朝向硅棒15的方向移动并压紧在硅棒表面,对硅棒施加压紧力与晶托和树脂板压紧牢固粘贴。
[0044]压紧机构4包括:导向杆41和压板42。其中,导向杆41沿第一方向延伸,第一方向为压紧机构4移动的方向。导向杆41与框架2配合连接,通过框架2对导向杆41的移动进行导向,以使导向杆41只能沿第一方向移动。
[0045]压板42与导向杆41相连,压板42可压本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅棒压紧装置,其特征在于,包括:框架;驱动机构,设置于所述框架上;压紧机构,与所述驱动机构的输出端相连;所述压紧机构在所述驱动机构的驱动力作用下朝向硅棒的方向移动并压紧在硅棒表面;所述压紧机构包括:与框架配合的导向杆,沿第一方向延伸;所述第一方向为压紧机构移动的方向;压板,与所述导向杆相连,所述压板可压覆于硅棒表面;所述压板可相对于所述导向杆摆动预设角度。2.根据权利要求1所述的硅棒压紧装置,其特征在于,所述压紧机构还包括:缓冲板,所述缓冲板位于导向杆与压板之间;缓冲板的一侧与导向杆铰接,另一侧与压板相连。3.根据权利要求2所述的硅棒压紧装置,其特征在于,所述缓冲板的一侧设有两个相对设置的铰接座,铰接座设有铰接孔;所述导向杆的端部设有铰接凸块,铰接凸块插入两个铰接座之间并通过铰接轴连接至铰接孔。4.根据权利要求2所述的硅棒压紧装置,其特征在于,还包括:弹性件,连接在缓冲板的另一侧与压板之间。5.根据权利要求4所述的硅棒压紧装置,其特...

【专利技术属性】
技术研发人员:朱佰庆吴广忠李贵阳张洪军陈大浩
申请(专利权)人:青岛高测科技股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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