一种硅片片篮承载装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种硅片片篮承载装置，包括承托底座、第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部与第二支撑部均设于承托底座的一侧面，第一支撑部与第二支撑部沿着承托底座的第一方向依次设置，且第一支撑部与第二支撑部相对设置，对片篮底部和片篮卡槽底部进行支撑。本实用新型专利技术的有益效果是片篮倾斜设置，放置于片篮内的硅片保持倾斜状态，以减少硅片在片篮中边缘的碰撞或摩擦造成的不良，减少了硅片在运输或人工倒片过程中因为边缘碰撞或摩擦导致的不良，提高硅片的产出良率。提高硅片的产出良率。提高硅片的产出良率。

【技术实现步骤摘要】
一种硅片片篮承载装置


[0001]本技术属于半导体材料
，尤其是涉及一种硅片片篮承载装置。

技术介绍

[0002]随着集成电路产业的发展，硅片的尺寸不断增大，硅片产品的成本越来越高，这对硅片的产出良率要求也越来越高。目前使用的装载12英寸硅片片蓝Open Cassette在运输过程中或人工倒片时存在硅片之间边缘部分轻微碰撞或接触摩擦，进而影响硅片边缘品质，降低产品良率。

技术实现思路

[0003]鉴于上述问题，本技术提供一种硅片片篮承载装置，以解决现有技术存在的以上或者其他前者问题。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用的技术方案是：一种硅片片篮承载装置，包括承托底座、第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部与第二支撑部均设于承托底座的一侧面，第一支撑部与第二支撑部沿着承托底座的第一方向依次设置，且第一支撑部与第二支撑部相对设置，对片篮底部和硅片卡槽底部进行支撑。
[0005]进一步的，第一支撑部包括至少一个支撑件，多个支撑件沿着承托底座的第二方向依次设置，第一方向与第二方向相交设置。
[0006]进一步的，支撑件的数量为两个，两个支撑件设于第二支撑部的两侧。
[0007]进一步的，支撑件的面向第二支撑部的一侧面倾斜设置。
[0008]进一步的，第二支撑部的面向支撑件的一侧面至少部分倾斜设置。
[0009]进一步的，支撑件的面向第二支撑部的倾斜侧面与第二支撑部的面向支撑件的一侧面的倾斜部分之间的夹角大于等于90
°
小于180/>°
。
[0010]进一步的，支撑件的面向第二支撑部的倾斜侧面与第二支撑部的面向支撑件的一侧面的倾斜部分垂直设置。
[0011]进一步的，第二支撑部还包括与承托底座相垂直部分，与承托底座相垂直部分的一端与第二支撑部的倾斜部分相连接，另一端与承托底座相连接。
[0012]进一步的，支撑件与第二支撑部均设置有中空结构。
[0013]进一步的，中空结构的轴线沿着第二方向设置。
[0014]由于采用上述技术方案，该硅片片篮承载装置结构简单，制备方便，具有第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部与第二支撑部均具有倾斜设置的侧边，且第一支撑部与第二支撑部相对设置，第一支撑部的倾斜侧面与第二支撑部的倾斜侧面面对面设置，第一支撑部与片篮底部接触，对片篮进行阻挡、支撑，第二支撑部与硅片卡槽底部接触，对片篮进行支撑，以使得片篮倾斜设置，放置于片篮内的硅片保持倾斜状态，以减少硅片在片篮中边缘的碰撞或摩擦造成的不良，减少了硅片在运输或人工倒片过程中因为边缘碰撞或摩擦导致的不良，提高硅片的产出良率。
附图说明
[0015]图1是本技术的一实施例的硅片片篮承载装置的结构示意图；
[0016]图2是本技术的一实施例的片篮放置于承载装置上时的状态示意图。
[0017]图中：
[0018]1、承托底座
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2、第一支撑部
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3、第二支撑部
[0019]4、中空结构
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20、支撑件
具体实施方式
[0020]下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步的说明。
[0021]图1示出了本技术一实施例的结构示意图，本实施例涉及一种硅片片篮承载装置，用于对硅片片篮进行承载，硅片片篮在该承载装置上呈倾斜状态，使得放置于片篮内的硅片呈倾斜状态，使得相邻两个硅片之间具有间隙，不接触，避免在运输过程中或人工倒片过程中硅片之间的边缘部分的轻微碰撞或接触摩擦，避免对硅片边缘品质的影响。
[0022]一种硅片片篮承载装置，如图1和2所示，包括承托底座1、第一支撑部2和第二支撑部3，第一支撑部2与第二支撑部3均设于承托底座1的一侧面，第一支撑部2与第二支撑部3沿着承托底座1的第一方向依次设置，且第一支撑部2与第二支撑部3相对设置，第一支撑部2对片篮底部进行支撑，第二支撑部3对硅片卡槽底部进行支撑，以使得片篮倾斜设置在承载装置上，承托底座1的设置，便于第一支撑部2和第二支撑部3的安装，第一支撑部2与第二支撑部3固定安装在承托底座1的一侧面上，第一支撑部2对片篮进行阻挡，第二支撑部3对片篮进行支撑，以使得片篮在承托装置上呈倾斜状态，进而使得位于片篮内的硅片呈倾斜状态，相邻两片硅片的边缘不接触，使得硅片在运输过程中或人工倒片过程中硅片之间的边缘不会发生碰撞或摩擦，保证硅片边缘的品质。
[0023]在本实施例中，以片篮上载在设备上的状态(片篮竖直放置)对片篮分别与第一支撑部2和第二支撑部3的相接触的部位进行设定，设定：第一支撑部2与片篮的相接触的位置为片篮底部，第二支撑部3与片篮的相接触的位置为硅片卡槽底部。
[0024]具体地，上述的承托底座1起到骨架的作用，便于第一支撑部2与第二支撑部3的安装，该承托底座1为板状结构，该承托底座1的形状可以是长方形，也可以是圆形，或者是椭圆形，或者是其他形状，根据实际需求进行选择，这里不做具体要求，在本实施例中，该承托底座1的形状优选为长方形，以便于第一支撑部2与第二支撑部3安装在承托底座1上，且第一支撑部2与第二支撑部3之间具有一定的距离，便于片篮倾斜放置在第一支撑部2与第二支撑部3之间，且片篮分别与第一支撑部2与第二支撑部3接触，第一支撑部2对片篮进行阻挡，第二支撑部3对片篮进行支撑，以保持片篮的倾斜状态。该承托底座1具有一定的长度、宽度和厚度，该长度、宽度和厚度根据实际需求进行选择，这里不做具体要求。
[0025]第一方向与第二方向相交设置，优选的，在本实施例中，第一方向与第二方向垂直设置，即，在本实施例中，承托底座1的长度方向为第一方向，承托底座1的宽度方向为第二方向。
[0026]所以，在本实施例中，第一支撑部2与第二支撑部3沿着承托底座1的长度方向依次设置，第一支撑部2与第二支撑部3分别固定设置在承托底座1的在长度方向上的两端处，第一支撑部2与片篮底部接触，第二支撑部3与硅片卡槽底部接触，以使得第一支撑部2对片篮
底部进行阻挡，第二支撑部3对硅片卡槽底部进行支撑，以使得片篮保持倾斜状态设置。
[0027]上述的第一支撑部2包括至少一个支撑件20，多个支撑件20沿着承托底座1的第二方向依次设置，在本实施例中，多个支撑件20沿着承托底座1的宽度方向依次设置，多个支撑件20可以是等间距设置，也可以是非等间距设置，根据实际需求进行选择设置，这里不做具体要求。多个支撑件20在设置时，多个支撑件20位于同一直线上，以便于多个支撑件20均能够与片篮底部接触，对片篮进行阻挡。
[0028]支撑件20的数量根据承托底座1的宽度及片篮的宽度进行选择，这里不做具体要求，在本实施例中，优选的，支撑件20的数量为两个，两个支撑件20沿着承托底座1的宽度方向设置，分别位于承托底座1的两个侧边处，两个支撑件20设于第二支撑部3的两侧，两个支撑件20与第二支撑部3构成一个类本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅片片篮承载装置，其特征在于：包括承托底座、第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部与所述第二支撑部均设于所述承托底座的一侧面，所述第一支撑部与所述第二支撑部沿着所述承托底座的第一方向依次设置，且所述第一支撑部与所述第二支撑部相对设置，对片篮底部和硅片卡槽底部进行支撑。2.根据权利要求1所述的硅片片篮承载装置，其特征在于：所述第一支撑部包括至少一个支撑件，多个所述支撑件沿着所述承托底座的第二方向依次设置，所述第一方向与所述第二方向相交设置。3.根据权利要求2所述的硅片片篮承载装置，其特征在于：所述支撑件的数量为两个，两个所述支撑件设于所述第二支撑部的两侧。4.根据权利要求2或3所述的硅片片篮承载装置，其特征在于：所述支撑件的面向所述第二支撑部的一侧面倾斜设置。5.根据权利要求4所述的硅片片篮承载装置，其特征在于：所述第二支撑部的面向所述支撑件的一侧面至少部分倾斜设置。6.根据权利要求5所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：谢艳，刘园，袁祥龙，刘姣龙，杨春雪，刘秒，孙晨光，王彦君，
申请(专利权)人：天津中环领先材料技术有限公司，
类型：新型
国别省市：