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本实用新型提供一种硅片片篮承载装置，包括承托底座、第一支撑部和第二支撑部，第一支撑部与第二支撑部均设于承托底座的一侧面，第一支撑部与第二支撑部沿着承托底座的第一方向依次设置，且第一支撑部与第二支撑部相对设置，对片篮底部和片篮卡槽底部进行支撑...
该专利属于天津中环领先材料技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津中环领先材料技术有限公司授权不得商用。

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