一种工作台和激光打标设备制造技术

本发明专利技术公开一种工作台和激光打标设备，涉及激光加工设备技术领域，以解决激光打标设备的台面上存在杂质时影响加工质量的问题。所述工作台包括支架、翻转机构和承载台，翻转机构设置于支架，承载台包括用于承载工件的承载面，承载台设置于翻转机构上，翻转机构用于可控的驱动承载台翻转，使得承载面在朝上姿态和朝下姿态之间翻转切换，所述激光打标设备包括上述方案所述的工作台。上述方案所述的工作台。上述方案所述的工作台。

【技术实现步骤摘要】
一种工作台和激光打标设备


[0001]本专利技术涉及激光加工设备
，尤其涉及一种工作台和激光打标设备。

技术介绍

[0002]在晶体硅太阳能电池的制造工艺中，SE(选择性发射极)激光掺杂工艺是一种制备高质量太阳能电池的关键性工艺。通常利用激光打标设备实施SE激光掺杂工艺，掺杂时，先将带有PSG(磷硅玻璃层)的硅片放置于激光打标设备的工作台上，然后通过拍照设备获取硅片的表面图像，并根据表面图像确定掺杂区域，最后利用激光脉冲熔融掺杂区域的硅片表层，使PSG层中的磷原子推进至硅片中并快速取代原有的硅原子实现扩散掺杂。
[0003]采用上述激光打标设备实施SE激光掺杂工艺时，可以在硅片上形成高质量的掺杂层；但是，激光脉冲掺杂硅片表层的过程中，硅片表层会在激光脉冲的作用下产生碎片等杂质，杂质留在工作台上后，下一块硅片掺杂时会放置于工作台的杂质上，导致硅片部分位置抬升，在拍照获取硅片的表面图像时，硅片上抬升部分的图形会发生变形，导致掺杂区域的确定出现偏差，同时激光掺杂时，掺杂位置也会出现偏差，从而导致激光掺杂形成的掺杂层质量较差，进而导致形成的太阳能电池质量较差。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种工作台和激光打标设备，以去除工作台上的杂质。
[0005]为了实现上述目的，第一方面，本专利技术提供一种工作台，包括：
[0006]支架；
[0007]翻转机构，翻转机构设置于支架；
[0008]承载台，包括用于承载工件的承载面，承载台设置于翻转机构上，翻转机构用于可控的驱动承载台翻转，使得承载面在朝上姿态和朝下姿态之间翻转切换。
[0009]采用上述技术方案的情况下，工作台包括支架、翻转机构和承载台，翻转机构设置于支架，承载台设置于翻转机构，翻转机构用于驱动承载台翻转，使得承载面在朝上姿态和朝下姿态之间翻转切换；采用这种结构，在硅片放置于承载台之前，可以先利用翻转机构控制承载台翻转，使承载面由朝上姿态转换为朝下姿态，此时，承载面上的杂质在惯性和重力的作用下会倾倒出去，使得杂质脱离承载台；在下一块硅片放置于承载台上之前，可以利用翻转机构控制承载台翻转，使承载下一块硅片的承载面由朝上姿态转换为朝下姿态，此时，下一块硅片可以平整地放置在承载面上，在拍照获取硅片的表面图像和激光掺杂时承载面形变较小，减小了偏差，提高激光掺杂的精度，使得激光掺杂形成的掺杂层质量较好，从而提高形成的太阳能电池的质量。另外，承载台上的杂质去除后，可以使下一块硅片能够更加稳定地放置于承载面上。
[0010]在一些可能的实现方式中，承载台为环形传送带，翻转机构包括与环形传送带传动连接的驱动组件，驱动组件驱动环形传送带做环绕运动。如此设置，优化承载台的结构，驱动组件可以驱动环形传送带运动实现翻转。
[0011]在一些可能的实现方式中，驱动组件包括至少两个转动轴，至少两个转动轴位于环形传送带内侧且将环形传送带张紧，至少两个转动轴转动时带动环形传送带做环绕运动。如此设置，通过两个转动轴带动环形传送带运动，简化驱动组件的结构，使得环形传送带安装更加方便。
[0012]在一些可能的实现方式中，承载台为板状结构，翻转机构包括驱动装置和转动杆，驱动装置安装在支架上，转动杆与驱动装置相连，承载台安装在转动杆上，驱动装置驱动转动杆转动，转动杆转动时带动承载台翻转。如此设置，优化承载台的结构，转动杆转动时可以带动承载台运动实现翻转。
[0013]在一些可能的实现方式中，还包括吸附装置，吸附装置安装在支架上且位于承载台下方，用于吸紧承载台上的工件。如此设置，能够使工件更加稳定地放置于承载台上。
[0014]在一些可能的实现方式中，承载台的承载面上设置有多个与吸附装置相对应的通气孔。如此设置，便于吸附装置通过通气孔吸附承载面上的工件。
[0015]在一些可能的实现方式中，承载面为田字结构，多个通气孔均匀分布在田字结构上。如此设置，既保证承载面能够承载工件，又能够优化通气孔的结构，使得吸附装置能够稳定吸附工件。
[0016]在一些可能的实现方式中，还包括旋转装置，承载台安装在旋转装置上，旋转装置驱动承载台转动至不同工位。如此设置，旋转装置可以带动承载台转动至不同工位进行不同工艺。
[0017]在一些可能的实现方式中，承载台设置多个，多个承载台均与旋转装置相连，且多个承载台沿旋转装置的旋转方向均匀分布。如此设置，可以利用多个承载台分别承载多个工件，提高工件激光打标的效率。
[0018]第二方面，本专利技术还提供一种激光打标设备，包括上述方案任一项提供的工作台。
[0019]采用上述技术方案的情况下，由于激光打标设备包括了本申请中的工作台，因此能够去除承载面上的杂质，提高太阳能电池的成品质量。
[0020]在一些可能的实现方式中，还包括上料输送装置、下料输送装置和工件转运装置，工件转运装置用于将上料输送装置上的工件转运至工作台上，且用于将工作台上的工件转运至下料输送装置上。如此设置，通过工件转运装置转运工件，能够提高工件激光打标的效率。
[0021]在一些可能的实现方式中，工件转运装置包括互成角度的第一转臂和第二转臂，第一转臂上设置有第一取料组件，第二转臂上设置有第二取料组件；第一取料组件位于上料输送装置上时，第二取料组件位于工作台上；第一取料组件位于工作台上时，第二取料组件位于下料输送装置上。如此设置，工件转运装置转动一次的过程中，既可以将工件从上料输送装置上转运至工作台上，又可以从将工作台的工件转运至下料输送装置上。
附图说明
[0022]此处所说明的附图用来提供对本专利技术的进一步理解，构成本专利技术的一部分，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。在附图中：
[0023]图1为本专利技术中激光打标设备的示意图；
[0024]图2为本专利技术中承载台的示意图；
[0025]图3为本专利技术中工作台的侧视图；
[0026]图4为本专利技术中承载台的俯视图；
[0027]图5为本专利技术中带有驱动装置和转动杆的工作台的示意图。
[0028]附图标记：
[0029]1‑
支架，2
‑
承载台，3
‑
转动轴，4
‑
硅片，5
‑
吸附装置，6
‑
通气孔，7
‑
上料输送装置，8
‑
下料输送装置，9
‑
工件转运装置，10
‑
驱动装置，11
‑
转动杆。
具体实施方式
[0030]为了使本专利技术所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0031]需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种工作台，其特征在于，包括：支架；翻转机构，所述翻转机构设置于所述支架；承载台，包括用于承载工件的承载面，所述承载台设置于所述翻转机构上，所述翻转机构用于可控的驱动所述承载台翻转，使得所述承载面在朝上姿态和朝下姿态之间翻转切换。2.根据权利要求1所述的工作台，其特征在于，所述承载台为环形传送带，所述翻转机构包括与所述环形传送带传动连接的驱动组件，所述驱动组件驱动所述环形传送带做环绕运动。3.根据权利要求2所述的工作台，其特征在于，所述驱动组件包括至少两个转动轴，所述转动轴位于所述环形传送带内侧且将所述环形传送带张紧，所述转动轴转动时带动所述环形传送带做环绕运动。4.根据权利要求1所述的工作台，其特征在于，所述承载台为板状结构，所述翻转机构包括驱动装置和转动杆，所述驱动装置安装在所述支架上，所述转动杆与所述驱动装置相连，所述承载台安装在所述转动杆上，所述驱动装置驱动所述转动杆转动，所述转动杆转动时带动所述承载台翻转。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的工作台，其特征在于，还包括吸附装置，所述吸附装置安装在所述支架上且位于所述承载台下方，用于吸紧所述承载台上的工件。6.根据权利要求5所述的工作台，其特征在于，所述承载台的承载面上设置有多个与所述吸附装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：樊建江，赵赞良，王武林，史晨燕，韩晓辉，聂大小，王安红，陈宇晖，
申请(专利权)人：宁夏隆基乐叶科技有限公司，
类型：发明
国别省市：