本发明专利技术公开了一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备，属于化学气相沉积技术领域。一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备，包括：反应炉、转换器、微波发生器；本发明专利技术通过设置的中心转动轴、转动扇叶，配合驱动齿轮、从动齿轮，便于对滑动连接半环进行驱动，进而使得滑动连接半环转动，进而以提高出气管对金刚石籽晶表面的喷射效果，进而提高金刚石籽晶表面气相沉积的效果，同时设置了可转动的夹持装置，能够使得金刚石籽晶转动，便于对金刚石籽晶的多个面进行喷射，提高气相沉积效果；且在对反应炉接通等离子气体管道及对反应炉内通入等离子气体时，均可以提高夹持装置的夹持稳定性，进而提高对金刚石的气相沉积效果。相沉积效果。相沉积效果。
【技术实现步骤摘要】
一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备
[0001]本专利技术涉及化学气相沉积
，尤其涉及一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备。
技术介绍
[0002]金刚石，是一种由碳元素组成的矿物，是石墨的同素异形体，化学式为C，也是常见的钻石的原身。金刚石是自然界中天然存在的最坚硬的物质；石墨可以在高温、高压下形成人造金刚石，而随着技术的发展，可通过采用微波等离子形式进行气相沉积生产金刚石，而微波等离子气相沉积金刚石的设备则是合成金刚石极为重要的设备。
[0003]如申请号为202110677872.1的专利技术专利，公开了一种微波等离子气相沉积金刚石的设备，包括反应炉，所述反应炉内设置有反应腔，且反应炉的顶部设置有与反应腔相连通的转换器，所述转换器上连接有微波发生器，所述反应腔内设置有沉积基片台，且反应腔内壁设置有折射板，所述反应腔内壁与沉积基片台相对应位置设置有环形管，所述环形管上设置有气孔，所述反应炉的外侧设置有输气管，所述输气管通过连接装置与环形管相连通，所述连接装置包括安装在反应炉外表面的固定架以及安装在输气管上的连接架；该专利技术中，通过设置的连接装置，既能保证输气管路能够便捷稳定的对接安装到反应炉上，同时也可以进行便捷的拆卸工作，使用非常的灵活便捷，方便进行检修维护工作；
[0004]上述装置能够实现对金刚石的气相沉积，但是该申请中的环形管为固定设置，导致环形管上的出气口朝向固定，无法均匀的混合在金刚石的表面，且沉积基片台为固定设置，只能对金刚石的一面进行气相沉积，气相沉积效果不佳。
技术实现思路
[0005]本专利技术的目的是为了解决上述
技术介绍
中提出的问题，而提出的一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备。
[0006]为了实现上述目的，本专利技术采用了如下技术方案：
[0007]一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备，包括：反应炉、转换器、微波发生器，所述转换器连接在所述反应炉的上端，所述微波发生器与所述转换器相连；夹持装置，设置在所述反应炉内，用于夹持所述金刚石；固定连接在所述反应炉内壁上的接气管；其中，所述接气管上固定连接有环形管；输气管，与所述接气管可拆卸密封相连；固定连接在所述接气管上的固定连接半环；其中，所述反应炉上固定连接有上托板，所述上托板上转动连接有滑动连接半环，所述滑动连接半环与固定连接半环转动相连；固定连接在所述滑动连接半环上的从动齿轮、出气管；转动连接在所述环形管上的中心转动轴；其中，所述中心转动轴上固定连接有转动扇叶、驱动齿轮，所述转动扇叶位于环形管内，所述驱动齿轮位于转动扇叶的上端，所述驱动齿轮与从动齿轮相啮合。
[0008]为了便于对金刚石进行夹持，优选地，所述夹持装置包括：对称转动连接在所述反应炉上的驱动转轴；其中，所述反应炉上固定连接有驱动电机，所述驱动转轴固定连接在所
述驱动电机的输出端，所述驱动转轴内设有滑动槽；滑动夹持杆，滑动连接在所述滑动槽内；夹持弹簧，两端分别固定连接在驱动转轴、滑动夹持杆上。
[0009]为了提高对金刚石的固定效果，优选地，所述滑动夹持杆上固定连接有夹持橡胶凸起。
[0010]为了便于对滑动夹持杆进行固定，优选地，所述中心转动轴内设有滑动腔，所述滑动腔内滑动连接有滑动板，所述上托板上固定连接有与滑动腔相通的滑动连接管；所述中心转动轴上固定连接有用于驱动滑动板下移的驱动组件；所述反应炉上固定连接有下托板，所述下托板上固定连接有盖合架，所述盖合架套接在驱动转轴上，所述驱动转轴上设有压紧环槽，所述驱动转轴上固定连接有多组与压紧环槽相通的压紧槽，所述压紧槽内滑动连接有压紧块，所述压紧块与滑动夹持杆相贴，所述滑动连接管贯穿盖合架与压紧环槽相通。
[0011]为了便于对滑动板进行驱动，优选地，所述驱动组件包括：固定连接在所述中心转动轴上的转动环；其中，所述转动环内设有离心槽，所述离心槽内滑动连接有离心块；滑动拉绳，两端分别固定连接在离心块、滑动板上；滑动弹簧，两端分别固定连接在中心转动轴、滑动板上。
[0012]为了便于对压紧块进行复位，优选地，所述压紧块上套接有压紧弹簧，所述压紧弹簧的两端分别固定连接在压紧块、压紧环槽上。
[0013]为了便于对固定连接半环、滑动连接半环进行密封，优选地，所述上托板上设有密封驱动槽，所述密封驱动槽与离心槽相通，所述固定连接半环与滑动连接半环之间设有密封橡胶管，所述密封橡胶管与密封驱动槽通过密封连接管相通，所述密封连接管设置在所述上托板、固定连接半环上。
[0014]为了便于对输气管与接气管的密封连接，优选地，所述输气管上固定连接有输气盘，所述输气盘上固定连接有插接板，所述插接板内连接有插接气囊，所述输气盘上固定连接有插接橡胶管，所述插接橡胶管与插接气囊通过插接管相通；所述接气管上固定连接有接气盘，所述接气盘内设有与插接板相匹配的插接槽，所述插接槽内设有与插接气囊相匹配的插接压板；滑动连接在所述插接槽内的插接滑板，所述插接滑板的一端固定连接有挤压弹簧，所述挤压弹簧的另一端固定连接在接气盘上。
[0015]为了提高夹持橡胶凸起的固定效果，优选地，所述插接槽内设有挤压气囊，所述挤压气囊上连通有挤压连接管；所述驱动转轴上设有充气环槽，所述滑动夹持杆上固定连接有与夹持橡胶凸起相通的充气管，所处充气管的另一端与充气环槽相通，所述挤压连接管贯穿盖合架与充气环槽相通。
[0016]优选地，所述反应炉的下端固定连接有抽气管。
[0017]与现有技术相比，本专利技术提供了一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备，具备以下有益效果：
[0018]该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本专利技术通过设置的中心转动轴、转动扇叶，配合驱动齿轮、从动齿轮，便于对滑动连接半环进行驱动，进而使得滑动连接半环转动，进而以提高出气管对金刚石籽晶表面的喷射效果，进而提高金刚石籽晶表面气相沉积的效果，同时设置了可转动的夹持装置，能够使得金刚石籽晶转动，便于对金刚石籽晶的多个面进行喷射，提高气相沉积效果；且在对反应炉接通等离子气体
管道及对反应炉内通入等离子气体时，均可以提高夹持装置的夹持稳定性，进而提高对金刚石的气相沉积效果。
附图说明
[0019]图1为本专利技术提出的一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备的结构示意图；
[0020]图2为本专利技术提出的一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备的剖面结构示意图；
[0021]图3为本专利技术提出的一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备的图2中A部分的结构示意图；
[0022]图4为本专利技术提出的一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备的图2中B部分的结构示意图；
[0023]图5为本专利技术提出的一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备的图4中C部分的结构示意图；
[0024]图6为本专利技术提出的一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备的滑动连接半环的结构示意图本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备，其特征在于，包括：反应炉(1)、转换器(101)、微波发生器(102)，所述转换器(101)连接在所述反应炉(1)的上端，所述微波发生器(102)与所述转换器(101)相连；夹持装置，设置在所述反应炉(1)内，用于夹持所述金刚石；固定连接在所述反应炉(1)内壁上的接气管(3)；其中，所述接气管(3)上固定连接有环形管(301)；输气管(2)，与所述接气管(3)可拆卸密封相连；固定连接在所述接气管(3)上的固定连接半环(302)；其中，所述反应炉(1)上固定连接有上托板(104)，所述上托板(104)上转动连接有滑动连接半环(5)，所述滑动连接半环(5)与固定连接半环(302)转动相连；固定连接在所述滑动连接半环(5)上的从动齿轮(502)、出气管(501)；转动连接在所述环形管(301)上的中心转动轴(4)；其中，所述中心转动轴(4)上固定连接有转动扇叶(4001)、驱动齿轮(4002)，所述转动扇叶(4001)位于环形管(301)内，所述驱动齿轮(4002)位于转动扇叶(4001)的上端，所述驱动齿轮(4002)与从动齿轮(502)相啮合。2.根据权利要求1所述的用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备，其特征在于，所述夹持装置包括：对称转动连接在所述反应炉(1)上的驱动转轴(6)；其中，所述反应炉(1)上固定连接有驱动电机，所述驱动转轴(6)固定连接在所述驱动电机的输出端，所述驱动转轴(6)内设有滑动槽(601)；滑动夹持杆(9)，滑动连接在所述滑动槽(601)内；夹持弹簧(602)，两端分别固定连接在驱动转轴(6)、滑动夹持杆(9)上。3.根据权利要求2所述的用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备，其特征在于，所述滑动夹持杆(9)上固定连接有夹持橡胶凸起(901)。4.根据权利要求3所述的用于金刚石生产的环保等离子体化学气相沉积设备，其特征在于，所述中心转动轴(4)内设有滑动腔(401)，所述滑动腔(401)内滑动连接有滑动板(402)，所述上托板(104)上固定连接有与滑动腔(401)相通的滑动连接管(404)；所述中心转动轴(4)上固定连接有用于驱动滑动板(402)下移的驱动组件；所述反应炉(1)上固定连接有下托板(105)，所述下托板(105)上固定连接有盖合架(10)，所述盖合架(10)套接在驱动转轴(6)上，所述驱动转轴(6)上设有压紧环槽(8)，所述驱动转轴(6)上固定连接有多组与压紧环槽(8)相通的压紧槽(801)，所述压紧槽(801)内滑动连接有压紧块(802)，所述压紧块(802)与滑动夹持杆(9)相贴，所述滑动连接管(404)贯穿盖合架(10)与压紧环槽(8)相通。5....
【专利技术属性】
技术研发人员：李明，朱雨，
申请(专利权)人：徐州景澜新材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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