一种硅晶棒搬运机械手制造技术

本实用新型专利技术公开了一种硅晶棒搬运机械手，包括机械臂、机械手本体及操作手柄，所述机械手本体及操作手柄分别设置于机械臂的两侧；所述机械手本体包括支撑座，所述支撑座底部设置有两个相对设置的夹持板，两个所述夹持板之间通过连杆机构连接，所述支撑座顶部设置有第一驱动气缸，所述第一驱动气缸的活塞杆一端与其中一个夹持板连接，所述第一驱动气缸通过连杆机构驱动两个夹持板相向或相背运动；所述机械手本体的支撑座与机械臂底部通过旋转轴转动连接，且所述旋转轴固定设置于支撑座的一侧，所述机械臂的一侧设置有第二驱动气缸，所述第二驱动气缸驱动机械手本体绕旋转轴转动。本实用新型专利技术的机械手能够稳定夹取及搬运圆柱形及方形硅晶棒。方形硅晶棒。方形硅晶棒。

【技术实现步骤摘要】
一种硅晶棒搬运机械手


[0001]本技术涉及机械手
，具体涉及一种硅晶棒搬运机械手。

技术介绍

[0002]硅片是制作晶体管和集成电路的原料，一般是单晶硅的切片，其在生产过程中需要先在单晶炉内将多晶硅融解拉出单晶硅晶棒，待单晶硅晶棒冷却后，将其取出，并进行后续检测、装车等操作，因此，其在生产及运输过程中，都需要对硅晶棒进行搬运转移等。但单根硅晶棒重量通常在100kg以上，且其脆性大，目前现有技术中通常通过行车吊运，但行车吊运时由于单根硅晶棒重量大难以抬起，导致吊带不容易放置于硅晶棒底部，人工劳动强度大，且工作效率低。因此，本技术提出了一种硅晶棒搬运机械手，通过自动化设备对硅晶棒进行搬运。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术提供了一种硅晶棒搬运机械手，能够稳定夹取及搬运圆柱形及矩形硅晶棒。
[0004]本技术为了实现上述目的，采用的技术解决方案是：
[0005]一种硅晶棒搬运机械手，包括机械臂、机械手本体及操作手柄，所述机械手本体及操作手柄分别设置于机械臂的两侧，且所述机械手本体设置于机械臂底部；
[0006]所述机械手本体包括支撑座，所述支撑座底部设置有两个相对设置的夹持板，两个所述夹持板之间通过连杆机构连接，所述支撑座顶部设置有第一驱动气缸，所述第一驱动气缸的活塞杆一端与其中一个夹持板连接，所述第一驱动气缸通过连杆机构驱动两个夹持板相向或相背运动；
[0007]所述机械手本体的支撑座与机械臂底部通过旋转轴转动连接，且所述旋转轴固定设置于支撑座的一侧，所述机械臂的一侧设置有第二驱动气缸，所述第二驱动气缸的活塞杆一端通过连接臂与旋转轴连接。
[0008]进一步地，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆及中间连杆，所述连杆机构的第一连杆及第二连杆的一端分别与两个夹持板铰接，所述第一连杆及第二连杆的另一端分别与中间连杆的两端铰接，所述中间连杆的中部与支撑座一侧中部铰接。
[0009]进一步地，所述连杆机构设置2组，2组连杆机构分别位于支撑座的两侧。
[0010]进一步地，与第一驱动气缸的活塞杆一端连接的夹持板顶部设置有连接座，所述连接座的上部高于支撑座顶部，所述第一驱动气缸的活塞杆一端与夹持板顶部的连接座连接。
[0011]进一步地，所述支撑座的底部固定设置有两条滑轨，每个夹持板上设置有与滑轨相配合的滑块。
[0012]进一步地，所述机械臂底部固定设置有套筒，所述旋转轴套入套筒内部，所述旋转轴远离支撑座的一端伸出套筒外并与连接臂的一端固定连接，所述连接臂的另一端与第二
驱动气缸的活塞杆铰接，所述第二驱动气缸的缸体一端与机械臂铰接。
[0013]进一步地，每个所述夹持板的内侧均对称设置有两个夹持垫片，两个所述夹持垫片相互靠近的一端呈楔形，另一端呈矩形。
[0014]进一步的，所述夹持垫片采用聚氨酯材料制成。
[0015]本技术的有益效果为：
[0016](1)本技术所提供的一种硅晶棒搬运机械手，通过第一驱动气缸及连杆机构实现两个夹持板同步相向或相背运动，实现对硅晶棒的夹取及松开，从而实现硅晶棒搬运；
[0017](2)本技术所提供的一种硅晶棒搬运机械手，通过第二驱动气缸及连接臂实现机械手本体的翻转，实现对硅晶棒的翻转，进而实现硅晶板水平放置或竖向放置；
[0018](3)本技术所提供的一种硅晶棒搬运机械手，在每个夹持板的内侧均对称设置有两个夹持垫片，夹持垫片采用聚氨酯材料制成，通过设置夹持垫片不仅可以防止夹持板划伤硅晶棒表面，且还可以提供一定的摩擦力使夹持更加稳定；另外，本技术所设置的夹持垫片的一端呈矩形，另一端呈楔形，适用于夹持矩形硅晶棒及圆形硅晶棒，适用范围广。
附图说明
[0019]为了清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1是本技术的整体结构示意图；
[0021]图2是图1的主视图；
[0022]图3是机械手本体的结构示意图；
[0023]图4是图1中A处结构放大图；
[0024]图5是图2中B处结构放大图；
[0025]图6是机械手夹持圆形硅晶棒的使用状态图；
[0026]图7是机械手夹持矩形硅晶棒的使用状态图。
[0027]图中标注：1.机械臂；11.套筒；2.机械手本体；21.支撑座；22.夹持板；221.夹持垫片；23.连杆机构；231.第一连杆；232.第二连杆；233.中间连杆；24.第一驱动气缸；25.连接座；26.滑轨；27.滑块；28.旋转轴；3.操作手柄；31.握柄；32.控制按钮；4.翻转机构；41.第二驱动气缸；42.连接臂；5.L型支架；6.第一矩形抱块；7.第二矩形抱块；8.圆形抱块。
具体实施方式
[0028]本技术提供了一种硅晶棒搬运机械手，为使本技术的目的、技术方案及效果更加清楚、明确，以下对本技术进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。
[0029]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“顶”、“底”、“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以
特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0030]下面结合附图对本技术进行详细说明：
[0031]参照图1，本实施例提供了一种硅晶棒搬运机械手，包括机械臂1、机械手本体2及操作手柄3，所述机械手本体2及操作手柄3分别设置于机械臂1的两侧，且所述机械手本体2设置于机械臂1底部。
[0032]其中，上述机械臂1的顶部与移动机构连接，上述移动机构是指能够实现机械手升降及横移的装置，具体可采用移动式平衡吊或其他吊装设备，移动机构利用现有技术能够实现，本实施例不再赘述。
[0033]参照图2及图3，上述机械手本体2用于夹持硅晶棒，所述机械手本体2包括支撑座21，所述支撑座21底部左右两侧设置有两个相对设置的夹持板22，两个所述夹持板22之间通过2组连杆机构23连接，2组连杆机构23分别位于支撑座21的前后两侧；具体地，所述连杆机构23包括第一连杆231、第二连杆232及中间连杆233，两组所述连杆机构23的第一连杆231及第二连杆232的一端分别与两个夹持板22的两端铰接，所述第一连杆231及第二连杆232的另一端分别与中间连杆233的两端铰接，所述中间连杆233的中部与通过连接轴与支撑座21一侧中部连接，且中间连杆233的中部与连接轴的一端铰接。
[0034]本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅晶棒搬运机械手，其特征在于，包括机械臂、机械手本体及操作手柄，所述机械手本体及操作手柄分别设置于机械臂的两侧，且所述机械手本体设置于机械臂底部；所述机械手本体包括支撑座，所述支撑座底部设置有两个相对设置的夹持板，两个所述夹持板之间通过连杆机构连接，所述支撑座顶部设置有第一驱动气缸，所述第一驱动气缸的活塞杆一端与其中一个夹持板连接，所述第一驱动气缸通过连杆机构驱动两个夹持板相向或相背运动；所述机械手本体的支撑座与机械臂底部通过旋转轴转动连接，且所述旋转轴固定设置于支撑座的一侧，所述机械臂的一侧设置有第二驱动气缸，所述第二驱动气缸的活塞杆一端通过连接臂与旋转轴连接。2.根据权利要求1所述的一种硅晶棒搬运机械手，其特征在于，所述连杆机构包括第一连杆、第二连杆及中间连杆，所述连杆机构的第一连杆及第二连杆的一端分别与两个夹持板铰接，所述第一连杆及第二连杆的另一端分别与中间连杆的两端铰接，所述中间连杆的中部与支撑座一侧中部铰接。3.根据权利要求2所述的一种硅晶棒搬运机械手，其特征在于，所述连...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵胜，安丰妹，任大勇，高颖辉，
申请(专利权)人：青岛金海自动化装备有限公司，
类型：新型
国别省市：