一种声表面波谐振器及滤波器制造技术

本实用新型专利技术实施例公开了一种声表面波谐振器及滤波器。声表面波谐振器包括压电层；位于压电层上的电极层；电极层包括换能器结构和悬浮叉指，换能器结构包括若干叉指换能器，叉指换能器沿第一方向等间隔分布；悬浮叉指位于相邻两个叉指换能器之间，和/或，悬浮叉指位于叉指换能器的内部。本实用新型专利技术的技术方案可以实现滤波器带宽的增加，从而提高滤波器的性能。能。能。

【技术实现步骤摘要】
一种声表面波谐振器及滤波器


[0001]本技术实施例涉及半导体封装
，尤其涉及一种声表面波谐振器及滤波器。

技术介绍

[0002]声表面波滤波器主要原理是利用石英晶体、压电陶瓷等压电材料的压电特性，利用输入叉指换能器与输出叉指换能器将电波的输入信号转换成机械能，经过处理后，再把机械能转成电的信号，以达到过滤不必要的信号及杂讯。随着通信技术发展，产品终端对各类器件的性能提出了严格的要求，滤波器是通信系统的关键器件，对滤波器的各项要求也越来越高；特别是随着第五代移动通信技术(5
th
‑
Generation，5G)到来，滤波器行业面临重大挑战和机遇。现有滤波器存在带宽过低，性能较差的问题。因此，设计出性能更优的声表面波滤波器有着重要的意义。

技术实现思路

[0003]本技术提供一种声表面波谐振器及滤波器，以实现滤波器带宽的增加，从而提高滤波器的性能。
[0004]根据本技术的一方面，提供了一种声表面波谐振器，声表面波谐振器包括：
[0005]压电层；
[0006]位于所述压电层上的电极层；
[0007]所述电极层包括换能器结构和悬浮叉指，所述换能器结构包括若干叉指换能器，所述叉指换能器沿第一方向等间隔分布；
[0008]所述悬浮叉指位于相邻两个所述叉指换能器之间，和/或，所述悬浮叉指位于所述叉指换能器的内部。
[0009]可选地，所述叉指换能器包括渐变区域和非渐变区域，所述渐变区域和所述非渐变区域均沿第一方向延伸且所述非渐变区域位于相邻所述渐变区域之间；
[0010]所述渐变区域和所述非渐变区域均包括沿第一方向交替排列的第一长指、第一假指、第二长指和第二假指；所述第一长指、所述第二假指沿第二方向延伸，所述第二长指和所述第一假指沿所述第二方向延伸；
[0011]所述渐变区域中的所述第一长指、所述第一假指、所述第二长指和所述第二假指沿所述第一方向的宽度小于所述非渐变区域中的所述第一长指、所述第一假指、所述第二长指和所述第二假指沿所述第一方向的宽度；
[0012]所述第一长指和所述第二假指相对设置，所述第一长指和所述第二假指之间具有第一间隙，所述第二长指和所述第一假指相对设置，所述第二长指和所述第一假指之间具有第二间隙；其中，所述第二方向与所述第一方向相互垂直；
[0013]所述叉指换能器还包括：第一汇流条和第二汇流条；所述第一汇流条和所述第二汇流条均沿第一方向延伸且相对设置；所述第一长指、所述第二假指、所述第二长指和所述
第一假指均位于第一汇流条和第二汇流条之间；所述第一长指和所述第一假指沿第一方向交替排列且均与所述第一汇流条连接；所述第二长指和所述第二假指沿第一方向交替排列且均与所述第二汇流条连接。
[0014]可选地，所述悬浮叉指位于所述渐变区域和所述非渐变区域之间，所述悬浮叉指沿所述第二方向的两侧分布第三假指和第四假指，所述第三假指连接第一汇流条，所述第四假指连接第二汇流条；所述悬浮叉指与所述第三假指之间具有第三间隙，所述悬浮叉指和第四假指之间具有第四间隙。
[0015]可选地，所述悬浮叉指位于相邻两个所述叉指换能器之间，所述悬浮叉指沿所述第二方向的两侧分布第三假指和第四假指，所述悬浮叉指与所述第三假指之间具有第三间隙，所述悬浮叉指和第四假指之间具有第四间隙；所述第三假指与第一所述汇流条的顶端对齐，所述第四假指与第二所述汇流条的顶端对齐。
[0016]可选地，所述叉指换能器还包括反射栅结构，所述反射栅结构包括第一反射栅单元和第二反射栅单元，所述第一反射栅单元和所述第二反射栅单元沿第一方向分别对称设置于所述换能器结构的两侧，所述第一反射栅单元和所述第二反射栅单元均包括多条反射栅，所述多条反射栅的宽度相等，所述多条反射栅的长度相等，所述多条反射栅沿所述第一方向等间隔分布；
[0017]所述反射栅结构还包括第三汇流条和第四汇流条，所述多条反射栅的第一端与所述第三汇流条连接，所述多条反射栅的第二端与所述第四汇流条连接。
[0018]可选地，所述悬浮叉指沿所述第一方向的宽度小于所述非渐变区域中的所述第一长指沿所述第一方向的的宽度；所述第一长指沿所述第一方向的宽度等于所述第二长指沿所述第一方向的宽度。
[0019]可选地，所述换能器结构中叉指换能器的个数为大于等于3的奇数。
[0020]可选地，所述悬浮叉指位于所述叉指换能器的内部的数量为1
‑
5个。
[0021]可选地，还包括温度补偿层和衬底，所述温度补偿层位于所述电极层远离所述压电层的一侧，所述衬底位于所述压电层远离所述电极层的一侧。
[0022]根据本技术的另一方面，提供了一种滤波器，该滤波器包括至少两个本技术任意实施例所述的声表面波谐振器。
[0023]本实施例的技术方案，通过在相邻叉指换能器之间设置悬浮叉指和/或在叉指换能器内部设置悬浮叉指，可以减小叉指换能器间的周期性突变，增加了带内右侧带宽，提高了带内右侧的陡峭度，解决了现有滤波器存在带宽过低，性能较差的问题，增加了滤波器的带宽，提高了右通带的抑制陡峭度，从而提高滤波器的性能。
[0024]应当理解，本部分所描述的内容并非旨在标识本技术的实施例的关键或重要特征，也不用于限制本技术的范围。本技术的其它特征将通过以下的说明书而变得容易理解。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本技术实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图
获得其他的附图。
[0026]图1是根据本技术实施例提供的一种声表面波谐振器的结构示意图；
[0027]图2是根据本技术实施例提供的一种声表面波谐振器的俯视图；
[0028]图3是根据本技术实施例提供的又一种声表面波谐振器的俯视图；
[0029]图4是根据本技术实施例提供的又一种声表面波谐振器的俯视图；
[0030]图5是根据本技术实施例提供的一种导纳对比图；
[0031]图6是根据本技术实施例提供的又一种声表面波谐振器的俯视图；
[0032]图7是根据本技术实施例提供的又一种导纳对比图；
[0033]图8是根据本技术实施例提供的又一种声表面波谐振器的俯视图；
[0034]图9是根据本技术实施例提供的又一种导纳对比图；
[0035]图10是根据本技术实施例提供的又一种声表面波谐振器的俯视图；
[0036]图11是本专利技术实施例提供的又一种声表面波谐振器的结构示意图。
具体实施方式
[0037]为了使本
的人员更好地理解本技术方案，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种声表面波谐振器，其特征在于，包括：压电层；位于所述压电层上的电极层；所述电极层包括换能器结构和悬浮叉指，所述换能器结构包括若干叉指换能器，所述叉指换能器沿第一方向等间隔分布；所述悬浮叉指位于相邻两个所述叉指换能器之间，和/或，所述悬浮叉指位于所述叉指换能器的内部。2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述叉指换能器包括渐变区域和非渐变区域，所述渐变区域和所述非渐变区域均沿第一方向延伸且所述非渐变区域位于相邻所述渐变区域之间；所述渐变区域和所述非渐变区域均包括沿第一方向交替排列的第一长指、第一假指、第二长指和第二假指；所述第一长指、所述第二假指沿第二方向延伸，所述第二长指和所述第一假指沿所述第二方向延伸；所述渐变区域中的所述第一长指、所述第一假指、所述第二长指和所述第二假指沿所述第一方向的宽度小于所述非渐变区域中的所述第一长指、所述第一假指、所述第二长指和所述第二假指沿所述第一方向的宽度；所述第一长指和所述第二假指相对设置，所述第一长指和所述第二假指之间具有第一间隙，所述第二长指和所述第一假指相对设置，所述第二长指和所述第一假指之间具有第二间隙；其中，所述第二方向与所述第一方向相互垂直；所述叉指换能器还包括：第一汇流条和第二汇流条；所述第一汇流条和所述第二汇流条均沿第一方向延伸且相对设置；所述第一长指、所述第二假指、所述第二长指和所述第一假指均位于第一汇流条和第二汇流条之间；所述第一长指和所述第一假指沿第一方向交替排列且均与所述第一汇流条连接；所述第二长指和所述第二假指沿第一方向交替排列且均与所述第二汇流条连接。3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器，其特征在于，所述悬浮叉指位于所述渐变区域和所述非渐变区域之间，所述悬浮叉指沿所述第二方向的两侧分布第三假指和第四假指，所述第三假指连接第一汇流条，所述第四假指连接第二汇流条；所述悬浮叉指与所述第三假指之间具有第三间隙，...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋佳佳，刘晓军，姚若妍，马阳阳，
申请(专利权)人：天通瑞宏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：