晶圆切割机制造技术

本发明专利技术涉及晶圆技术领域，特指一种晶圆切割机；本发明专利技术主体呈方形，前端一侧形成进料区、另一侧形成上料区，上料区具有清洗装置，清洗装置包括清洗桶，清洗桶的上端顶盖，顶盖具有开口，清洗桶的下端安装有支架，清洗桶内具有物料座，清洗桶的下端安装有旋转电机，旋转电机驱动物料座旋转；本发明专利技术内部直接安装有清洗装置，实现旋转清洗以及旋转甩干，体积小，结构简单，制造成本低，而且节约了生产工序，提高生产效率。产效率。产效率。

【技术实现步骤摘要】
晶圆切割机


[0001]本专利技术涉及晶圆
，特指一种晶圆切割机。

技术介绍

[0002]现有的晶圆切割机，它具有切刀，用于晶圆切割，晶圆切割好之后，需要对晶圆进行清洗，将切割产生的碎屑清洗掉，现有的晶圆切割机，只能对晶圆进行切割，晶圆清洗需要使用专用的清洗设备，设备成本比较高，而且结构复杂。
[0003]现有的晶圆切割机，一般只有一组移料装置，生产效率较低。如果要对生产的晶圆进行检查，则需要先停机，然后在检修口对晶圆进行检查，安全性低。另外，切刀的更换非常麻烦。
[0004]因此，基于上述现有的晶圆切割机清洗设备的缺陷，需要对现有的晶圆切割机清洗设备进行改进。

技术实现思路

[0005]本专利技术的目的在于针对现有技术的不足提供一种晶圆切割机清洗装置，该晶圆切割机清洗装置解决了现有的晶圆清洗设备所存在的：成本高、结构复杂等缺陷。
[0006]为实现上述目的，本专利技术是通过以下技术方案实现的：晶圆切割机，主体呈方形，前端一侧形成进料区、另一侧形成上料区，上料区具有清洗装置，清洗装置包括清洗桶，清洗桶的上端顶盖，顶盖具有开口，清洗桶的下端安装有支架，清洗桶内具有物料座，清洗桶的下端安装有旋转电机，旋转电机驱动物料座旋转。
[0007]进一步的，所述的清洗桶的下端安装有顶升气缸，顶升气缸的伸缩杆与物料座的底面活动接触，用于顶升物料座。
[0008]进一步的，所述的物料座上端具有多个固定位，用于晶圆定位。
[0009]进一步的，所述的清洗桶的下端具有清洗电机，清洗桶内竖直安装有固定轴，清洗电机驱动固定轴，固定轴的上端连接有安装杆，安装杆固定有清洗头，用于对晶圆清洗。
[0010]进一步的，所述的安装杆水平设置，方便移动。
[0011]进一步的，所述的上料区具有移动门，方便观察。
[0012]进一步的，所述的主体的后端具有检修门，主体的左侧具有控制区，主体的右侧后端具有电气区，整体更方便统一管理。
[0013]本专利技术的有益效果在于：切割机内直接安装有清洗装置，实现旋转清洗以及旋转甩干，体积小，结构简单，制造成本低，而且节约了生产工序，提高生产效率。
附图说明
[0014]图1为本专利技术的结构示意图。
[0015]图2为本专利技术的清洗装置示意图。
[0016]图3为本专利技术的进料装置示意图。
[0017]图4为图3的另一角度示意图。
[0018]图5为本专利技术的移料装置示意图。
[0019]图6为图5的另一角度示意图。
[0020]图7为本专利技术的切割刀座示意图。
[0021]图8为图7的另一角度示意图。
[0022]标号及说明：
[0023]进料区1、另一侧形成上料区2、控制区3、电气区4、晶圆5、清洗桶6、物料座7、旋转电机8、顶盖9、支架10、固定位11、顶升气缸12、清洗电机 13、固定轴14、安装杆15、清洗头16；
[0024]上物料板26、下物料板27、升降板28、升降板固定座29、底板固定板210、底板211、进料升降电机212、进料丝杆213、待检滑槽214、晶圆检测器215、抽屉门216；
[0025]移动装置安装板36、第一水平丝杆37、第二水平丝杆38、第一水平座39、第二水平座310、第一移动臂311、第二移动臂312、第一吸盘313、第二吸盘 314、第一固定板315、前支撑板316、侧连接板317、中间连接板318、后支撑板319；
[0026]刀座45、切刀46、第一刀套47、第二刀套48、喷头49、导向块410、曲面 11、冷却管412、第一刀套固定座413、刀套气缸414、切刀感应器固定座415。
具体实施方式
[0027]下面结合附图对本专利技术作进一步的说明。
[0028]见图1，本专利技术应用的晶圆切割机，切割机主体呈方形，它的前端一侧形成进料区1、另一侧形成上料区2，上料区2具有移动门，主体的后端具有检修门，可以进行切刀更换，主体的左侧具有控制区3，用于切割机的操作控制，主体的右侧后端具有电气区4，切割机的主要电气装置都安装在电气区4，便于统一管理，非常方便。
[0029]见图2，本专利技术的清洗装置包括：清洗桶6，图中未示出清洗桶6的侧壁，清洗桶6的上端顶盖9，清洗桶6的下端安装有支架10，支架10安装于切割机内。
[0030]进一步的，上料区2包括两个并排设置的部分，一个是切割上料移动轨道区域，切割上料移动轨道区域内设置有切割轨道，切割轨道上具有切割台，用于移动晶圆切割，另一个即是清洗装置。
[0031]本专利技术的清洗桶6内具有物料座7，清洗桶6的下端安装有旋转电机8、顶升气缸12，旋转电机8驱动物料座7旋转，顶升气缸12的伸缩杆与物料座7的底面活动接触，顶升气缸12可以将物料座7向上顶起，晶圆从顶盖9的开口送入到物料座7，顶升气缸向下复位，使物料座7向下带动晶圆进入清洗桶6内进行清洗。
[0032]本专利技术的物料座7上端具有多个固定位11，用于对晶圆定位。
[0033]本专利技术的清洗桶6的下端具有清洗电机13，清洗电机13驱动位于清洗桶6 内的固定轴14旋转，固定轴14的上端连接有安装杆15，安装杆15固定有清洗头16，清洗电机13驱动固定轴14旋转，使安装杆15带动清洗头16产生旋转，清洗头16对晶圆5进行清洗，同时，通过旋转电机8驱动物料座7旋转，将晶圆5表面的水甩干。
[0034]本专利技术应用的切割机可以在切割完成后直接进行清洗，不需要再拿到外部清洗设备进行清洗非常方便。
[0035]见图3、图4，本专利技术的进料区1设置有进料装置，进料装置包括：上物料板26、下物料板27、侧板，上物料板26、下物料板27、两个侧板形成抽屉，抽屉的外侧具有抽屉门216，抽屉的内侧开口用于将晶圆移入抽屉内，抽屉内具有待检滑槽214，待检滑槽214用于晶圆移动。
[0036]本专利技术包括有下物料板7前端具有缺口，缺口处安装有晶圆检测器215，晶圆检测器215用于感应检测是否有晶圆5沿待检滑槽214被移入抽屉内。
[0037]本专利技术的下物料板7的底端固定有升降板28，升降板28的侧面具有升降板固定座29，升降板固定座29套设于竖直安装的进料丝杆213上，进料丝杆213 固定于竖直安装的底板固定板210上，底板固定板210的下端水平安装有底板 211，底板211上安装有进料升降电机212，进料升降电机212驱动进料丝杆213 旋转，从而控制固定座9带动升降板28升降。
[0038]本专利技术的上物料板26用于放置正常需要进料的晶圆5，在生产加工时，如果需要对某个晶圆进行检查，则通过机械手将晶圆移送到抽屉内，操作人员打开抽屉门216，将晶圆5从抽屉内取出进行检查，非常方便。
[0039]本专利技术对晶圆进料装置进行了改进，使其具有晶圆进料的功能，同时还具有输出晶圆进行检查的功能，不影响生产，而且安全性高。
[0040]见图5、图6，本专利技术的上料区2设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.晶圆切割机，其特征在于：主体呈方形，前端一侧形成进料区、另一侧形成上料区，上料区具有清洗装置，清洗装置包括清洗桶，清洗桶的上端顶盖，顶盖具有开口，清洗桶的下端安装有支架，清洗桶内具有物料座，清洗桶的下端安装有旋转电机，旋转电机驱动物料座旋转。2.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于：所述的清洗桶的下端安装有顶升气缸，顶升气缸的伸缩杆与物料座的底面活动接触。3.根据权利要求1所述的晶圆切割机，其特征在于：所述的物料座上端具有多个固定位。4...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏余红，谭将强，
申请(专利权)人：东莞科卓机器人有限公司，
类型：发明
国别省市：