一种晶圆划片机专用刀架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆划片机专用刀架，包括刀架底座和划片刀，所述刀架底座的左侧固定连接有用于与划片机主体连接的连接座，所述连接座的内部开设有安装腔，所述安装腔的内部设置有伸缩电机，所述刀架底座的内部开设有伸缩腔，所述伸缩腔的内部插接有延伸出刀架底座的刀架杆，所述刀架杆的左侧内部开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有伸缩螺纹轴，所述刀架杆的内部设置有限位机构。该晶圆划片机专用刀架，结构新颖，构思巧妙，能够简化划片刀的更换过程，达到便于更换划片刀的效果，进而避免时间上的浪费，提高了晶圆的划切效率。效率。效率。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆划片机专用刀架


[0001]本技术涉及晶圆加工设备
，具体为一种晶圆划片机专用刀架。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0003]现阶段，利用划片机对晶圆进行划切时，需要交替更换划片刀来实现对晶圆的开槽和切断作业，由于划片刀的更换过程繁琐复杂，因此会造成时间上的浪费，影响晶圆的划切效率。

技术实现思路

[0004]针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种晶圆划片机专用刀架，该晶圆划片机专用刀架，结构新颖，构思巧妙，能够简化划片刀的更换过程，达到便于更换划片刀的效果，进而避免时间上的浪费，提高晶圆的划切效率。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆划片机专用刀架，包括刀架底座和划片刀，所述刀架底座的左侧固定连接有用于与划片机主体连接的连接座，所述连接座的内部开设有安装腔，所述安装腔的内部设置有伸缩电机，所述刀架底座的内部开设有伸缩腔，所述伸缩腔的内部插接有延伸出刀架底座的刀架杆，所述刀架杆的左侧内部开设有螺纹孔，所述螺纹孔的内部螺纹连接有伸缩螺纹轴，所述刀架杆的内部设置有限位机构。
[0006]优选的，所述刀架杆与刀架底座之间滑动连接。
[0007]优选的，所述伸缩螺纹轴的左侧延伸至安装腔的内部且与伸缩电机固定连接。
[0008]优选的，所述划片刀设置在刀架杆的外侧。
[0009]优选的，所述限位机构包括开设在刀架杆内部的齿轮腔以及固定连接在刀架杆右侧的限位电机，所述限位电机的左侧固定连接有延伸至齿轮腔内部的转轴，所述转轴的左侧固定连接有主动轮，所述主动轮的上下两侧分别啮合有从动轮，所述从动轮的相背侧分别固定连接有限位螺纹轴，所述限位螺纹轴的外侧螺纹连接有螺纹限位管。
[0010]优选的，所述刀架杆的上下两侧分别开设有与齿轮腔连通且与螺纹限位管适配的通孔。
[0011]优选的，所述螺纹限位管设置在通孔的内部且与通孔内壁滑动连接。
[0012]优选的，所述限位电机的外侧设置有保护壳。
[0013]本技术的有益效果为：
[0014]1、需要组装划片刀时，首先将划片刀套入刀架杆的外侧，并置于螺纹限位管的左侧，然后启动限位电机，通过限位电机带动转轴转动，转轴带动主动轮转动，主动轮与从动轮啮合并带动从动轮转动，从动轮带动限位螺纹轴转动，限位螺纹轴转动时带动两侧螺纹
限位管相背运动并伸出通孔，进而使螺纹限位管可以卡在划片刀的右侧，最后启动伸缩电机，通过伸缩电机带动伸缩螺纹轴转动，伸缩螺纹轴转动时通过与螺纹孔的配合作用带动刀架杆左移，刀架杆在螺纹限位管的配合作用下带动划片刀左移，使划片刀卡在刀架底座与螺纹限位管之间，进而完成对划片刀的固定，方便对晶圆进行划切作业，需要更换划片刀时，只需控制限位电机带动转轴进行反方向转动，即可带动两侧螺纹限位管相向运动缩入通孔的内部，划片刀失去螺纹限位管的限位后即可顺利从刀架杆的外侧脱离，从而达到便于更换划片刀的效果，能够节约时间，提高晶圆的划切效率。
附图说明
[0015]附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0016]图1是本技术整体结构示意图；
[0017]图2是本技术刀架杆结构组件示意图；
[0018]图3是本技术通孔结构组件示意图。
[0019]图中标号：1、刀架底座；2、连接座；3、安装腔；4、伸缩电机；5、伸缩腔；6、刀架杆；7、螺纹孔；8、伸缩螺纹轴；9、齿轮腔；10、限位电机；11、保护壳；12、转轴；13、主动轮；14、从动轮；15、限位螺纹轴；16、螺纹限位管；17、通孔；18、划片刀。
具体实施方式
[0020]下面将结合附图对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述。在本技术的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相正对地重要性。
[0021]实施例一
[0022]如图1
‑
3所示的一种晶圆划片机专用刀架，包括刀架底座1和划片刀18，刀架底座1的左侧固定连接有用于与划片机主体连接的连接座2，连接座2的内部开设有安装腔3，安装腔3的内部设置有伸缩电机4，刀架底座1的内部开设有伸缩腔5，伸缩腔5的内部插接有延伸出刀架底座1的刀架杆6，划片刀18设置在刀架杆6的外侧，刀架杆6与刀架底座1之间滑动连接，使刀架杆6可以左右滑动的同时避免转动，刀架杆6的左侧内部开设有螺纹孔7，螺纹孔7的内部螺纹连接有伸缩螺纹轴8，伸缩螺纹轴8的左侧延伸至安装腔3的内部且与伸缩电机4固定连接，通过伸缩电机4带动伸缩螺纹轴8转动，刀架杆6的内部设置有限位机构，限位机构包括开设在刀架杆6内部的齿轮腔9以及固定连接在刀架杆6右侧的限位电机10，限位电机10的左侧固定连接有延伸至齿轮腔9内部的转轴12，转轴12的左侧固定连接有主动轮13，主动轮13的上下两侧分别啮合有从动轮14，从动轮14的相背侧分别固定连接有限位螺纹轴15，限位螺纹轴15的外侧螺纹连接有螺纹限位管16，刀架杆6的上下两侧分别开设有与齿轮腔9连通且与螺纹限位管16适配的通孔17，螺纹限位管16设置在通孔17的内部且与通孔17内壁滑动连接。
[0023]需要组装划片刀18时，首先将划片刀18套入刀架杆6的外侧，并置于螺纹限位管16的左侧，然后启动限位电机10，通过限位电机10带动转轴12转动，转轴12带动主动轮13转动，主动轮13与从动轮14啮合并带动从动轮14转动，从动轮14带动限位螺纹轴15转动，限位螺纹轴15转动时带动两侧螺纹限位管16相背运动并伸出通孔17，进而使螺纹限位管16可以卡在划片刀18的右侧，最后启动伸缩电机4，通过伸缩电机4带动伸缩螺纹轴8转动，伸缩螺纹轴8转动时通过与螺纹孔7的配合作用带动刀架杆6左移，刀架杆6在螺纹限位管16的配合作用下带动划片刀18左移，使划片刀18卡在刀架底座1与螺纹限位管16之间，进而完成对划片刀18的固定，方便对晶圆进行划切作业，需要更换划片刀18时，只需控制限位电机10带动转轴12进行反方向转动，即可带动两侧螺纹限位管16相向运动缩入通孔17的内部，划片刀18失去螺纹限位管16的限位后即可顺利从刀架杆6的外侧脱离，从而达到便于更换划片刀18的效果，能够节约时间，提高晶圆的划切效率。
[0024]实施例二
[本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆划片机专用刀架，包括刀架底座(1)和划片刀(18)，其特征在于：所述刀架底座(1)的左侧固定连接有用于与划片机主体连接的连接座(2)，所述连接座(2)的内部开设有安装腔(3)，所述安装腔(3)的内部设置有伸缩电机(4)，所述刀架底座(1)的内部开设有伸缩腔(5)，所述伸缩腔(5)的内部插接有延伸出刀架底座(1)的刀架杆(6)，所述刀架杆(6)的左侧内部开设有螺纹孔(7)，所述螺纹孔(7)的内部螺纹连接有伸缩螺纹轴(8)，所述刀架杆(6)的内部设置有限位机构。2.根据权利要求1所述的一种晶圆划片机专用刀架，其特征在于：所述刀架杆(6)与刀架底座(1)之间滑动连接。3.根据权利要求1所述的一种晶圆划片机专用刀架，其特征在于：所述伸缩螺纹轴(8)的左侧延伸至安装腔(3)的内部且与伸缩电机(4)固定连接。4.根据权利要求1所述的一种晶圆划片机专用刀架，其特征在于：所述划片刀(18)设置在刀架杆(6)的外侧。5.根据权利要求1所述的一种晶圆划片机专用刀...

【专利技术属性】
技术研发人员：魏余红，黄燕荣，
申请(专利权)人：东莞科卓机器人有限公司，
类型：新型
国别省市：