流量传感器和质量流量控制器制造技术

本实用新型专利技术提供一种流量传感器，包括传感器底板、传感器芯片模块、传感器压板和信号处理模块，传感器底板中形成有芯片容纳腔，芯片容纳腔的底部形成有流道槽，且流道槽的两端通过贯穿至传感器底板的底面的两个连通孔与待测流体的管路连通；传感器芯片模块与流道槽相对设置，传感器芯片模块的检测点与流道槽相对,传感器芯片模块用于检测待测流体的温度信号并将其发送至信号处理模块；传感器压板压设在芯片容纳腔的底部，用于密封流道槽；信号处理模块设置于传感器压板上方，用于基于传感器芯片模块发送的温度信号确定流经流道槽的待测流体的流量。本实用新型专利技术提供的流量传感器检测精度高、稳定性好。本实用新型专利技术还提供一种质量流量控制器。量流量控制器。量流量控制器。

【技术实现步骤摘要】
流量传感器和质量流量控制器


[0001]本技术涉及半导体工艺设备领域，具体地，涉及一种流量传感器和一种包括该流量传感器的质量流量控制器。

技术介绍

[0002]随着自集成电路的持续高速发展，微机电系统(Micro
‑
Electro
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Mechanical System，MEMS)技术悄然兴起，该技术的原理是通过微纳米技术将感应元器件集成在微型膜片上，以实现对周围环境的快速检测及响应。微机电系统检测技术根据原理分为：热式、压差式、升力式、流体振动式、科里奥利式及仿生微流量式等多种方式。
[0003]微机电系统热式流量传感器主要应用于气体、液体的流量检测，与传统热式传感器相比，微机电系统流量传感器微型的传感模块可以减少其对流场的干扰，并使传感器具有质量惯性和热惯性小、响应速度快、低功耗、低成本等优点。然而，现有的微机电系统热式流量传感器的密封性较差，影响其测量精度和测量一致性。
[0004]因此，如何提供一种密封性较好的应用于质量流量控制器的传感器结构，成为本领域亟待解决的技术问题。

技术实现思路

[0005]本技术旨在提供一种流量传感器和一种包括该流量传感器的质量流量控制器，该流量传感器的检测精度和稳定性较高。
[0006]为实现上述目的，作为本技术的一个方面，提供一种流量传感器，用于检测流体的流量，所述流量传感器包括传感器底板、传感器芯片模块、传感器压板和信号处理模块，所述传感器底板中形成有芯片容纳腔，所述芯片容纳腔的底部形成有流道槽，且所述流道槽的两端通过贯穿至所述传感器底板的底面的两个连通孔与待测流体的管路连通；所述传感器芯片模块与所述流道槽相对设置，所述传感器芯片模块的检测点与所述流道槽相对,用于与流经所述流道槽的所述待测流体接触，所述传感器芯片模块用于检测所述待测流体的温度信号并将其发送至所述信号处理模块；所述传感器压板压设在所述芯片容纳腔的底部，用于密封所述流道槽；所述信号处理模块设置于所述传感器压板上方，用于基于所述传感器芯片模块发送的所述温度信号确定流经所述流道槽的所述待测流体的流量。
[0007]可选地，所述流道槽包括依次连通的第一连通段、检测段和第二连通段，所述第一连通段的和所述第二连通段的远离所述检测段的一端具有所述连通孔，所述传感器芯片模块与所述检测段相对设置。
[0008]可选地，所述芯片容纳腔的底部还形成有多个密封槽，多个所述密封槽与所述检测段平行设置，且填充有密封绝缘材料，所述传感器芯片模块压设在所述密封槽上，以密封所述检测段。
[0009]可选地，所述传感器压板的底面与所述芯片容纳腔的底部之间设置有粘合层，所述粘合层具有形状及位置均与所述流道槽对应的避让孔，所述粘合层用于将所述传感器压
板与所述传感器底板粘合连接，以密封所述流道槽。
[0010]可选地，所述流量传感器还包括多个第一安装螺钉，所述芯片容纳腔的底部形成有多个第一螺纹孔，所述传感器压板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述传感器压板的第一通孔，多个所述第一通孔与多个所述第一螺纹孔位置一一对应，多个所述第一安装螺钉一一对应地穿过多个所述第一通孔并旋入对应的所述第一螺纹孔中，以将所述传感器压板与所述传感器底板固定连接。
[0011]可选地，所述芯片容纳腔的底部还形成有芯片固定槽，所述芯片固定槽的底部开设有所述检测段和多个所述密封槽，所述传感器芯片模块压设在所述芯片固定槽内的多个所述密封槽上，所述传感器芯片模块的上表面与所述芯片容纳腔的底部齐平。
[0012]可选地，所述传感器芯片模块包括检测芯片、电路板和多根导电针，所述电路板上具有容纳所述检测芯片的容纳槽，所述检测点位于所述检测芯片上，所述检测芯片置于所述容纳槽中且与流经所述流道槽的所述待测流体接触，用于检测流经所述流道槽的所述待测流体的温度信号，所述导电针的一端固定于所述电路板上，另一端与所述信号处理模块电连接，所述检测芯片的多根引脚通过所述电路板与多根所述导电针一一对应电连接。
[0013]可选地，所述电路板具有走线区和焊盘区，所述容纳槽设置在所述走线区，所述电路板在所述走线区朝向所述芯片容纳腔底部的一侧具有多条走线，所述电路板在所述焊盘区朝向所述芯片容纳腔底部的一侧具有多个电极，多条所述走线的一端与所述检测芯片的多根引脚一一对应连接，多条所述走线的另一端延伸至所述焊盘区并与多个所述电极一一对应连接；
[0014]所述导电针包括水平延伸的弯折部和竖直延伸的连接部，多个所述弯折部的一端一一对应地与多个所述电极固定并电连接，所述弯折部的另一端与对应的所述连接部的底端连接，所述连接部的顶端穿出至所述检测芯片容纳腔的上方并与所述信号处理模块电连接；
[0015]所述芯片容纳腔的底部还形成有避让槽，所述避让槽与所述芯片固定槽连通，所述弯折部置于所述避让槽内，所述电路板按压固定在所述芯片固定槽中。
[0016]可选地，所述芯片容纳腔中灌封有灌封胶，所述芯片容纳腔的侧壁形成有避让缺口，所述避让缺口与所述避让槽连通，所述避让缺口用于向所述芯片容纳腔中灌封所述灌封胶。
[0017]可选地，所述流量传感器还包括多个第二安装螺钉，所述传感器底板上形成有多个第二螺纹孔，所述信号处理模块具有多个沿厚度方向贯穿所述信号处理模块的第二通孔，多个所述第二通孔与多个所述第二螺纹孔位置一一对应，多个所述第二安装螺钉一一对应地穿过多个所述第二通孔并旋入对应的所述第二螺纹孔中，以将所述信号处理模块与所述传感器底板固定连接。
[0018]作为本技术的第二个方面，提供一种质量流量控制器，所述质量流量控制器包括流体通路，所述流体通路用于与所述待测流体的管路连通，所述质量流量控制器还包括前面所述的流量传感器，所述流量传感器设置于所述流体通路上，所述流道槽的两端通过两个所述连通孔与所述流体通路连通。
[0019]在本技术提供的流量传感器和质量流量控制器中，流量传感器的传感器底板的芯片容纳腔的底部形成有流道槽，传感器压板在密封流道槽的同时，将传感器芯片模块
按压固定在芯片固定槽中，从而在保证待测流体经连通孔进出流道槽的过程中流动路径的密闭性的同时，保证了传感器芯片模块位置的稳定性，进而保证了流量传感器的检测精度和稳定性，提高了应用该流量传感器的质量流量控制器的响应速度、测量准确度、抗干扰能力及工作稳定性。
附图说明
[0020]附图是用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与下面的具体实施方式一起用于解释本技术，但并不构成对本技术的限制。在附图中：
[0021]图1是本技术实施例提供的流量传感器的结构爆炸示意图；
[0022]图2是本技术实施例提供的流量传感器的俯视示意图；
[0023]图3是本技术实施例提供的流量传感器的剖视图；
[0024]图4是本技术实施例提供的流量传感器中传感器底板的结构示意图；
[0025]图5是本技术实施例提供的流量传感器本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种流量传感器，用于检测流体的流量，其特征在于，所述流量传感器包括传感器底板、传感器芯片模块、传感器压板和信号处理模块，所述传感器底板中形成有芯片容纳腔，所述芯片容纳腔的底部形成有流道槽，且所述流道槽的两端通过贯穿至所述传感器底板的底面的两个连通孔与待测流体的管路连通；所述传感器芯片模块与所述流道槽相对设置，所述传感器芯片模块的检测点与所述流道槽相对,用于与流经所述流道槽的所述待测流体接触，所述传感器芯片模块用于检测所述待测流体的温度信号并将其发送至所述信号处理模块；所述传感器压板压设在所述芯片容纳腔的底部，用于密封所述流道槽；所述信号处理模块设置于所述传感器压板上方，用于基于所述传感器芯片模块发送的所述温度信号确定流经所述流道槽的所述待测流体的流量。2.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述流道槽包括依次连通的第一连通段、检测段和第二连通段，所述第一连通段的和所述第二连通段的远离所述检测段的一端具有所述连通孔，所述传感器芯片模块与所述检测段相对设置。3.根据权利要求2所述的流量传感器，其特征在于，所述芯片容纳腔的底部还形成有多个密封槽，多个所述密封槽与所述检测段平行设置，且填充有密封绝缘材料，所述传感器芯片模块压设在所述密封槽上，以密封所述检测段。4.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述传感器压板的底面与所述芯片容纳腔的底部之间设置有粘合层，所述粘合层具有形状及位置均与所述流道槽对应的避让孔，所述粘合层用于将所述传感器压板与所述传感器底板粘合连接，以密封所述流道槽。5.根据权利要求1所述的流量传感器，其特征在于，所述流量传感器还包括多个第一安装螺钉，所述芯片容纳腔的底部形成有多个第一螺纹孔，所述传感器压板上形成有多个沿厚度方向贯穿所述传感器压板的第一通孔，多个所述第一通孔与多个所述第一螺纹孔位置一一对应，多个所述第一安装螺钉一一对应地穿过多个所述第一通孔并旋入对应的所述第一螺纹孔中，以将所述传感器压板与所述传感器底板固定连接。6.根据权利要求3所述的流量传感器，其特征在于，所述芯片容纳腔的底部还形成有芯片固定槽，所述芯片固定槽的底部开设有所述检测段和多个所述密封槽，所述传感器芯片模块压设在所述芯片固定槽内的多个所述密封槽上，所述传感器芯片模块的上表面与所述芯片容纳腔的底部齐平。7.根据权利要求6所述的流量传...

【专利技术属性】
技术研发人员：王贲，何漫丽，王蒙，
申请(专利权)人：北京七星华创流量计有限公司，
类型：新型
国别省市：