【技术实现步骤摘要】
本技术涉及气路盘吹扫装置领域，具体地，涉及一种气路盘吹扫装置。
技术介绍
1、随着技术经济的发展，半导体设备在国民经济社会中成为越来越重要的角色，而在半导体设备中核心部件为各种气路的控制系统，又称为气路盘。气路盘一般由手阀、气动阀、单向阀、压力传感器、流量控制器等器件组成，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、环保和真空行业、芯片、光伏等多种领域的科研和生产中有着重要的作用。典型应用场所包含：电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、cvd、溅射、离子注入、刻蚀、真空镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统、毛细管测量、气相色谱仪等分析仪器。
2、气路盘的生产制造工艺直接决定其品质及性能，决定其是否能够更好地为国民经济服务。而颗粒度指标作为气路盘的关键指标，控制及其严格。在气路盘出厂前，为达到颗粒度指标，需要长时间的使用高纯气体对气路盘进行吹扫，以将气路盘内的残余颗粒物去除。
3、吹扫工艺作为气路盘制造的关键步骤，需要配置完善的吹扫系统，该系统一般由减压器、压力表、纯化器、开关阀等管路接头组成。吹扫工艺需要气路盘前端压力稳定且通过有足够的流量，虽然气路盘本身含有流量控制装置，但为了保证吹扫的高效性及保证产品的可靠性，往往将流量控制器开启到最大状态，仅仅作为气体流过的通道。由于生产气路盘的环境复杂多变且自身流道由多种零部件组成，再加上非常苛刻的颗粒度指标，且每次吹扫完成需要人员更换测试设备，导致气路盘的生产效率并不高，且需要长时间吹扫，在生产过程中存在严重的气体、设备浪费，严重制约气路盘的生产效率与品质，且影响其在高
4、因此，如何提供一种能够节约吹扫气体并提高气路盘吹扫效率的气路盘吹扫装置，成为本领域亟待解决的技术问题。
技术实现思路
1、本技术旨在提供一种气路盘吹扫装置，该气路盘吹扫装置能够节约吹扫气体并提高气路盘的吹扫效率。
2、为实现上述目的，本技术提供一种气路盘吹扫装置，所述气路盘吹扫装置包括纯化管路、颗粒度测试仪、多个测试支路和多个连接管，所述纯化管路上设置有纯化器，多个所述测试支路的进气端均与所述纯化管路的出气端连接，所述测试支路上具有用于将气路盘接入所述测试支路的气路盘安装位，所述测试支路的出气端设置有流量调节阀，所述流量调节阀与所述气路盘安装位之间通过换向阀连接，多个所述连接管的进气端一一对应地与多个所述换向阀连接，多个所述连接管的出气端均与所述颗粒度测试仪连接，所述换向阀能够选择性地将所述气路盘安装位与所述流量调节阀或者所述颗粒度测试仪导通。
3、作为本技术的一种可选实施方式，所述纯化管路的进气端与所述纯化器之间还设置有第一减压器和第一压力表，且所述第一压力表位于所述第一减压器的下游。
4、作为本技术的一种可选实施方式，所述第一压力表与所述纯化器之间设置有第一过滤器。
5、作为本技术的一种可选实施方式，所述纯化器的上游一侧设置有第一断路开关阀，所述纯化器的下游一侧设置有第二断路开关阀。
6、作为本技术的一种可选实施方式，所述气路盘吹扫装置还包括短路管，所述短路管的第一端与所述纯化管路位于所述第一断路开关阀与所述纯化管路的进气端之间的位置连接，所述短路管的第二端与所述纯化管路位于所述第二断路开关阀与所述纯化管路的出气端之间的位置连接；所述短路管上设置有短路开关阀，所述短路开关阀能够选择性地导通所述短路管，以使所述短路管将所述纯化器短接。
7、作为本技术的一种可选实施方式，所述气路盘安装位包括与所述第一断路开关阀连接的第一连接接头，以及与所述第二断路开关阀连接的第二连接接头，所述第一连接接头和所述第二连接接头分别用于与所述气路盘的两端可拆卸地连接。
8、作为本技术的一种可选实施方式，所述测试支路的进气端与所述气路盘安装位之间还设置有第二减压器和第二压力表，且所述第二压力表位于所述第二减压器的下游。
9、作为本技术的一种可选实施方式，所述第二减压器与所述测试支路的进气端之间设置有第二过滤器。
10、作为本技术的一种可选实施方式，所述第二过滤器与所述测试支路的进气端之间设置有第三断路开关阀，所述第二压力表与所述气路盘安装位之间设置有第四断路开关阀。
11、作为本技术的一种可选实施方式，所述连接管上设置有单向阀，所述单向阀仅允许所述连接管中的气体由所述换向阀流向所述颗粒度测试仪。
12、作为本技术的一种可选实施方式，所述换向阀为电磁换向阀。
13、在本技术提供的气路盘吹扫装置中，设置有纯化器的纯化管路的出气端与多个测试支路的进气端连接，每个测试支路上均具有气路盘安装位，且测试支路的出气端设置有流量调节阀，从而可通过位于气路盘下游的流量调节阀单独控制流经每个气路盘的气体流量，并且，流量调节阀设置在气路盘安装位下游，从而减少气路盘前端的压力损失，保证了待吹扫的气路盘前端压力的准确性，提高了吹扫效果，缩短了所需的吹扫时长，且位于气路盘下游的流量调节阀无法逆气流流向污染上游的气路盘，从而能够在精确控制吹扫流量的同时保证气路盘的洁净度，进而缩短所需的吹扫时间，提高气路盘吹扫效率。
14、此外，在本技术中，每个测试支路均可通过换向阀选择性地将气路盘与流量调节阀或颗粒度测试仪连通，从而可以在需要对气路盘进行吹扫时将换向阀调节为与流量调节阀连通，在吹扫结束待检
15、测气路盘时将换向阀调节为与颗粒度测试仪连通，利用简单的阀结构
16、实现快速切换气路状态，避免人工装卸颗粒度测试仪时气路盘引入空
17、气带来的二次污染，进一步提高气路盘吹扫效率。
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1.一种气路盘吹扫装置，其特征在于，所述气路盘吹扫装置包括纯化管路、颗粒度测试仪、多个测试支路和多个连接管，所述纯化管路上设置有纯化器，多个所述测试支路的进气端均与所述纯化管路的出气端连接，所述测试支路上具有用于将气路盘接入所述测试支路的气路盘安装位，所述测试支路的出气端设置有流量调节阀，所述流量调节阀与所述气路盘安装位之间通过换向阀连接，多个所述连接管的进气端一一对应地与多个所述换向阀连接，多个所述连接管的出气端均与所述颗粒度测试仪连接，所述换向阀能够选择性地将所述气路盘安装位与所述流量调节阀或者所述颗粒度测试仪导通。
2.根据权利要求1所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述纯化管路的进气端与所述纯化器之间还设置有第一减压器和第一压力表，且所述第一压力表位于所述第一减压器的下游。
3.根据权利要求2所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述第一压力表与所述纯化器之间设置有第一过滤器。
4.根据权利要求1所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述纯化器的上游一侧设置有第一断路开关阀，所述纯化器的下游一侧设置有第二断路开关阀。
5.根据权利要
6.根据权利要求4所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述气路盘安装位包括与所述第一断路开关阀连接的第一连接接头，以及与所述第二断路开关阀连接的第二连接接头，所述第一连接接头和所述第二连接接头分别用于与所述气路盘的两端可拆卸地连接。
7.根据权利要求1至6中任意一项所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述测试支路的进气端与所述气路盘安装位之间还设置有第二减压器和第二压力表，且所述第二压力表位于所述第二减压器的下游。
8.根据权利要求7所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述第二减压器与所述测试支路的进气端之间设置有第二过滤器。
9.根据权利要求8所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述第二过滤器与所述测试支路的进气端之间设置有第三断路开关阀，所述第二压力表与所述气路盘安装位之间设置有第四断路开关阀。
10.根据权利要求1至6中任意一项所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述连接管上设置有单向阀，所述单向阀仅允许所述连接管中的气体由所述换向阀流向所述颗粒度测试仪。
...【技术特征摘要】
1.一种气路盘吹扫装置，其特征在于，所述气路盘吹扫装置包括纯化管路、颗粒度测试仪、多个测试支路和多个连接管，所述纯化管路上设置有纯化器，多个所述测试支路的进气端均与所述纯化管路的出气端连接，所述测试支路上具有用于将气路盘接入所述测试支路的气路盘安装位，所述测试支路的出气端设置有流量调节阀，所述流量调节阀与所述气路盘安装位之间通过换向阀连接，多个所述连接管的进气端一一对应地与多个所述换向阀连接，多个所述连接管的出气端均与所述颗粒度测试仪连接，所述换向阀能够选择性地将所述气路盘安装位与所述流量调节阀或者所述颗粒度测试仪导通。
2.根据权利要求1所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述纯化管路的进气端与所述纯化器之间还设置有第一减压器和第一压力表，且所述第一压力表位于所述第一减压器的下游。
3.根据权利要求2所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述第一压力表与所述纯化器之间设置有第一过滤器。
4.根据权利要求1所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述纯化器的上游一侧设置有第一断路开关阀，所述纯化器的下游一侧设置有第二断路开关阀。
5.根据权利要求4所述的气路盘吹扫装置，其特征在于，所述气路盘吹扫装置还包括短路管，所述短路管的第一端与所述纯化管路位于所述第一断路开关阀与所述纯化管路的进气端...
【专利技术属性】
技术研发人员：王传国，张海洋，
申请(专利权)人：北京七星华创流量计有限公司，
类型：新型
国别省市：
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