【技术实现步骤摘要】
本技术涉及半导体制造领域，具体地，涉及一种电极件及压力传感器。
技术介绍
1、目前，压力传感器(例如真空规)包括由上而下依次连接的上支座、动膜和下支座，动膜与下支座之间形成有下部空间，动模与上支座之间形成有上部空间，其中，在上部空间中设置有电极件，该电极件与动膜相对设置，构成平板电容。并且，在电极件与顶盖之间设置有弹簧，该弹簧处于被压缩状态，用于向电极件施加压力，用于固定电极件。上述压力需要大于下部空间的压力，但也不能过大，否则会导致电极件因受到过大的局部正应力或切应力而裂开，导致产品失效，为了控制该压力，可以通过在弹簧与电极件之间设置垫圈，并通过调节垫圈的厚度，来调节弹簧的压缩变形程度，从而可以调节压力的大小。
2、上述调节压力的过程是一个需要反复更换不同厚度的垫圈的过程，例如，可以先放一个1mm厚的垫圈，在安装其它零部件后，下压顶盖到指定位置后如果发现固定电极件的压力过小，则更换2mm厚度的垫圈，再次进行尝试，一直重复这个过程直到找到合适厚度的垫圈。
3、操作人员在更换垫圈时，会用镊子先去拾取放在电极件上的垫...
【技术保护点】
1.一种电极件，用于在压力传感器的腔体中与所述腔体中的动膜构成电容，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的电极件，其特征在于，所述缺口结构包括至少一个凹部，所述凹部远离所述第一表面中心的最外侧边缘在所述第一表面上的正投影的至少一部分落入所述垫圈在所述第一表面上的正投影中，所述凹部靠近所述第一表面中心的最内侧边缘在所述第一表面上的正投影的至少一部分位于所述垫圈在所述第一表面上的正投影的内周边缘之外。
3.根据权利要求2所述的电极件，其特征在于，所述凹部包括环形凹部，所述环形凹部围绕所述第一表面的中心环绕设置。
4.根据权利要求2所述的...
【技术特征摘要】
1.一种电极件，用于在压力传感器的腔体中与所述腔体中的动膜构成电容，其特征在于，
2.根据权利要求1所述的电极件，其特征在于，所述缺口结构包括至少一个凹部，所述凹部远离所述第一表面中心的最外侧边缘在所述第一表面上的正投影的至少一部分落入所述垫圈在所述第一表面上的正投影中，所述凹部靠近所述第一表面中心的最内侧边缘在所述第一表面上的正投影的至少一部分位于所述垫圈在所述第一表面上的正投影的内周边缘之外。
3.根据权利要求2所述的电极件，其特征在于，所述凹部包括环形凹部，所述环形凹部围绕所述第一表面的中心环绕设置。
4.根据权利要求2所述的电极件，其特征在于，所述凹部包括盲孔；或者，包括一端延伸至所述第一表面的边缘的通槽。
5.根据权利要求4所述的电极件，其特征在于，所述通槽在所述第一表面的圆周方向上的开口尺寸在所述通槽的深度方向上由所述通槽的顶部自底部递减。
6.根据权利要求4或5所述的电极件，其特征在于，所述通槽的深度自远离所述第一表面的边缘的一端向位于所述第一表面的边缘的另一端递增。
7.根据权利要求1所述的电极件，其特征在于，所述缺口结构包括至少一个在所述第一表面的边缘处形成的相对于所述第一表面朝背离所述第一表面的方向凹进的缺口表面。
8.根据权利要求7所述的电极件，其特征在于，所述缺口表面包括阶梯面、斜面和曲面中的至少一个。
9.根据权利要求7或8所述的电极件，其特征在于，所述缺口表面为沿所述第一表面的圆周方向环绕的环形面，所述环形面的内径大于所述垫圈的内径，且小于所述垫圈的外径。
10.根据权利要求7或8所述的电极件，其特征在于，所述缺口表面靠近所述第一表面中心的最内侧边缘在所述第一表面上的正投影的至少一部分位于所述垫圈的内周边缘与外周边缘在所述第一表面上的正投影之间。
11.一种电极件，用于在压力传感器的腔体中与所述腔体中的动膜构成电容，其特征在于，所述电极件在背离所述动膜的第一表面上形成有缺口结构，所述缺口结构包括至少一个凹部，所述凹部靠近所述第一表面中心的最内侧边缘与所述第一表面的中心在所述第一表面的径向上具有预设距离，所述预设距离被设置为能够使所述缺口结构靠近所述第一表面中心的最内侧边缘的至少一部分能够暴露于所述腔体中。
12.根据权利要求11所述的电极件，其特征在于，所述预设距离与所述第一表面的半径的比值大于等于0.5，且小于等于0.9；或者
13.根据权利要求12所述的电极件，其特征在于，所述凹部包括环形凹部，所述环形凹部围绕所述第一表面的中心环绕设置。
14.根据权利要求12所述的电极件，其特征在于，所述凹部包括盲...
【专利技术属性】
技术研发人员：张锋，宋君飞，牟昌华，赵迪，胡蕾，栗晓，杨庆利，阮向娟，
申请(专利权)人：北京七星华创流量计有限公司，
类型：新型
国别省市：
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