下载电极件及压力传感器的技术资料

文档序号:41496121

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本技术提供一种电极件及压力传感器,该电极件用于在压力传感器的腔体中与腔体中的动膜构成电容,电极件在背离动膜的第一表面上形成有缺口结构,缺口结构在第一表面上的正投影与第一表面上的垫圈在第一表面上的正投影部分重叠。本技术提供的电极件及压力传感器...
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