一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门制造技术

本实用新型专利技术公开了一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，包括阀体，所述阀体内滑动设有阀芯，所述阀芯设置成球形结构，且所述阀芯中部开设有通孔，所述阀芯一侧设有控制组件，所述阀体外壁固定有加热套，所述阀芯内固定嵌设有电热丝，所述控制组件包括圆筒，所述阀体一侧外壁固定嵌设有圆筒，所述圆筒内滑动设有阀杆。本阀门能够利用加热套和电热丝对阀体的内部进行加热，使得阀体内的温度分部较为均匀，使得气体到阀门时就不会凝固，仍然保持气体状态并排出，并且能够便于在将阀门打开或者闭合时能够对阀芯进行固定，从而能够防止阀芯发生转动导致阀门打开不彻底或者闭合不严。转动导致阀门打开不彻底或者闭合不严。转动导致阀门打开不彻底或者闭合不严。

【技术实现步骤摘要】
一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门


[0001]本技术涉及阀门技术
，具体来说，涉及一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门。

技术介绍

[0002]在半导体设备中，直通阀作为一种阀门经常用于薄膜设备中，例如LAM ALTUS系列、AMAT ENDURA等等，在半导体设备中主要用来控制燃烧室压力，使腔体稳定在需要的压力下，便于DEP进行。在真空腔体中，当需要稳定在一定压力中，既可以通过流入气体的量来使压力身高，到一定压力时就需要打开直通阀角度来抽走多余的气体，这样压力就保持在一定数值，直通阀角度范围是0
‑
90
°
，0
°
即为关闭状态，90
°
即为完全打开状态，0
‑
90
°
的范围即可以根据压力表反馈的压力来调整相应的角度。
[0003]直通阀主要包括下面几个方面：阀体、控制组件、阀芯、阀杆等组件构成。
[0004]由于在腔体中经常性连续工作，环境状态差，产生的多余物质会通过直通阀抽出腔体,这样就会使直通阀的阀芯以及直通阀的边缘处产生凝固，凝固的固体也会导致P.T SOURCE使工艺产生问题，另外长时间积累会导致阀芯和阀杆转动异常，0
‑
90
°
不能准确的设定，使腔体内压力异常。
[0005]为解决直通阀产生凝固的固体的问题，现在通行办法是在直通阀的外面包裹一层加热带，这样气体在通过直通阀的时候不容易产生固体，即利用气体的凝固点原理，但是该方法效果不是很好，尤其在阀芯与阀体的连接处以及阀芯内部还是容易产生固体。
[0006]针对相关技术中的问题，目前尚未提出有效的解决方案。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门包括阀体，所述阀体内滑动设有阀芯，所述阀芯设置成球形结构，且所述阀芯中部开设有通孔，所述阀芯一侧设有控制组件，所述阀体外壁固定有加热套，所述阀芯内固定嵌设有电热丝，所述控制组件包括圆筒，所述阀体一侧外壁固定嵌设有圆筒，所述圆筒内滑动设有阀杆，所述阀杆一端与所述阀芯固定连接，所述阀杆另一端开设有矩形滑槽，所述矩形滑槽内滑动设有滑柱，所述滑柱与所述矩形滑槽之间设有限位组件，所述滑柱与所述矩形滑槽底端之间固定有弹簧，所述滑柱远离所述矩形滑槽的一端固定有旋盖，所述旋盖下端的一侧内壁固定有滑块，所述圆筒上端外壁固定套设有环体，所述环体下端外壁开设有与所述滑块相匹配的环形滑槽，所述环形滑槽上端开设有数量为两个的限位槽，且所述限位槽之间的夹角为90
°
。
[0009]进一步的，所述阀体两端的内壁均加工有内螺纹，所述阀体上下两端内壁均固定有与所述阀芯相匹配的限位环。
[0010]进一步的，所述电热丝设置成螺旋状，且所述电热丝外壁设置有电绝缘涂层，所述电热丝两端连接有电源线，所述阀杆、所述滑柱和所述旋盖中部均开设有与所述电源线相匹配的线孔。
[0011]进一步的，所述限位组件包括第一限位框和第二限位框，所述滑柱伸入所述矩形滑槽内的一端外壁固定套设有第一限位框，所述矩形滑槽上端内壁固定有第二限位框。
[0012]进一步的，所述旋盖下端外壁固定套设有固定环，所述旋盖外壁加工有防滑纹。
[0013]与现有技术相比，本技术具有以下有益效果：
[0014]1、本技术通过设置加热套、电热丝和控制组件，能够利用加热套和电热丝对阀体的内部进行加热，使得阀体内的温度分部较为均匀，使得气体到阀门时就不会凝固，仍然保持气体状态并排出，并且能够便于在将阀门打开或者闭合时能够对阀芯进行固定，从而能够防止阀芯发生转动导致阀门打开不彻底或者闭合不严；
[0015]2、本技术通过设置螺旋状的电热丝、电绝缘涂层、电源线和线孔，能够使得电热丝对阀体的内部的加热更加均匀，并且电绝缘涂层能够防止电热丝将电传导给阀芯和阀体；
[0016]3、本技术通过设置第一限位框和第二限位框，能够对矩形滑槽内的滑柱进行限位，使得滑柱不会从矩形滑槽内脱离。
附图说明
[0017]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0018]图1为本技术提出的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门的结构示意图；
[0019]图2为本技术提出的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门与腔体的连接示意图；
[0020]图3为本技术提出的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门的剖视图；
[0021]图4为本技术提出的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门中阀杆和旋盖的剖视图；
[0022]图5为本技术提出的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门中阀杆、旋盖和电热丝的结构示意图；
[0023]图6为本技术提出的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门中环体的结构示意图。
[0024]附图标记：
[0025]1、阀体；2、阀芯；3、加热套；4、电热丝；5、圆筒；6、阀杆；7、矩形滑槽；8、滑柱；9、弹簧；10、旋盖；11、滑块；12、环体；13、环形滑槽；14、限位槽；15、限位环；16、内螺纹；17、电源线；18、第一限位框；19、第二限位框；20、固定环；21、腔体；22、排气管。
具体实施方式
[0026]下面，结合附图以及具体实施方式，对技术做出进一步的描述：
[0027]实施例：
[0028]请参阅图1
‑
6，根据本技术实施例的一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，包括阀体1，所述阀体1内滑动设有阀芯2，所述阀芯2设置成球形结构，且所述阀芯2中部开设有通孔，所述阀芯2一侧设有控制组件，所述阀体1外壁固定有加热套3，所述阀芯2内固定嵌设有电热丝4，所述控制组件包括圆筒5，所述阀体1一侧外壁固定嵌设有圆筒5，所述圆筒5内滑动设有阀杆6，所述阀杆6一端与所述阀芯2固定连接，所述阀杆6另一端开设有矩形滑槽7，所述矩形滑槽7内滑动设有滑柱8，所述滑柱8与所述矩形滑槽7之间设有限位组件，所述滑柱8与所述矩形滑槽7底端之间固定有弹簧9，所述滑柱8远离所述矩形滑槽7的一端固定有旋盖10，所述旋盖10下端的一侧内壁固定有滑块11，所述圆筒5上端外壁固定套设有环体12，所述环体12下端外壁开设有与所述滑块11相匹配的环形滑槽13，所述环形滑槽13上端开设有数量为两个的限位槽14，且所述限位槽14之间的夹角为90
°
，能够利用加热套3和电热丝4对阀体1的内部进行加热，使得阀体1内的温度分部较为均匀，使得气体到阀门时就不会凝固，仍然保持气体状态并排本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，包括阀体(1)，所述阀体(1)内滑动设有阀芯(2)，所述阀芯(2)设置成球形结构，且所述阀芯(2)中部开设有通孔，所述阀芯(2)一侧设有控制组件，其特征在于，所述阀体(1)外壁固定有加热套(3)，所述阀芯(2)内固定嵌设有电热丝(4)，所述控制组件包括圆筒(5)，所述阀体(1)一侧外壁固定嵌设有圆筒(5)，所述圆筒(5)内滑动设有阀杆(6)，所述阀杆(6)一端与所述阀芯(2)固定连接，所述阀杆(6)另一端开设有矩形滑槽(7)，所述矩形滑槽(7)内滑动设有滑柱(8)，所述滑柱(8)与所述矩形滑槽(7)之间设有限位组件，所述滑柱(8)与所述矩形滑槽(7)底端之间固定有弹簧(9)，所述滑柱(8)远离所述矩形滑槽(7)的一端固定有旋盖(10)，所述旋盖(10)下端的一侧内壁固定有滑块(11)，所述圆筒(5)上端外壁固定套设有环体(12)，所述环体(12)下端外壁开设有与所述滑块(11)相匹配的环形滑槽(13)，所述环形滑槽(13)上端开设有数量为两个的限位槽(14)，且所述限位槽(14)之间...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐俊，童洲，
申请(专利权)人：盛吉盛宁波半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：