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本实用新型公开了一种应用于薄膜沉积腔体的调压阀门，包括阀体，所述阀体内滑动设有阀芯，所述阀芯设置成球形结构，且所述阀芯中部开设有通孔，所述阀芯一侧设有控制组件，所述阀体外壁固定有加热套，所述阀芯内固定嵌设有电热丝，所述控制组件包括圆筒，所述...
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