研磨机及研磨液流量控制方法、装置、存储介质、设备制造方法及图纸

本公开涉及半导体和集成电路领域，提供一种研磨机及研磨液流量控制方法、装置、存储介质、设备。该研磨机包括研磨机本体和添液装置，研磨机本体具有第一电机，研磨机本体通过第一电机转动研磨待加工器件；添液装置与研磨机本体连接，用于向研磨机本体输送研磨液，添液装置包括泵和第一控制器，泵用于将研磨液输送至研磨机本体；第一控制器用于获取第一电机的当前转速和研磨机本体中的当前水流量，基于当前转速和当前水流量确定控制参数，基于控制参数调节泵输送研磨液的流量。本公开提供的研磨机能够根据水流量和第一电机的转速自动确定出对于添液装置的控制参数，从而基于所确定的控制参数自动调节泵输送研磨液的流量。解决研磨液浪费的问题。液浪费的问题。液浪费的问题。

【技术实现步骤摘要】
研磨机及研磨液流量控制方法、装置、存储介质、设备


[0001]本公开涉及半导体和集成电路领域，具体而言，涉及一种研磨机及研磨液流量控制方法、装置、存储介质、设备。

技术介绍

[0002]研磨抛光机通常用于对半导体器件进行减薄抛光。相关技术中，由工作人员手动操作研磨抛光机，存在研磨液浪费和工作效率低的问题。
[0003]需要说明的是，在上述
技术介绍
部分公开的信息仅用于加强对本公开的背景的理解，因此可以包括不构成对本领域普通技术人员已知的现有技术的信息。

技术实现思路

[0004]本公开的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种研磨机及研磨液流量控制方法、装置、存储介质、设备。
[0005]根据本公开的一个方面，提供一种研磨机，包括：研磨机本体，具有第一电机，所述研磨机本体通过所述第一电机转动研磨待加工器件；添液装置，与所述研磨机本体连接，用于向所述研磨机本体输送研磨液，所述添液装置包括：泵，用于将研磨液输送至所述研磨机本体；第一控制器，用于获取所述第一电机的当前转速和所述研磨机本体中的当前水流量，基于所述当前转速和所述当前水流量确定控制参数，基于所述控制参数调节所述泵输送研磨液的流量。
[0006]在示例性实施例中，所述添液装置还包括第二电机，所述第二电机的动力端连接所述泵，所述第二电机转动驱动所述泵将研磨液输出；所述第一控制器与所述第二电机连接，所述第一控制器还用于：基于所述当前转速和所述当前水流量确定目标转速，控制所述第二电机按照所述目标转速进行转动以调节所述泵输送研磨液的流量。
[0007]在示例性实施例中，所述研磨机本体还包括：第一转速传感器，位于所述第一电机内，所述第一转速传感器用于检测所述第一电机的转速并将检测到的转速输出至所述第一控制器；第一流量传感器，位于所述研磨机本体中水的流通路径，所述第一流量传感器用于检测所述研磨机本体中的水流量并将检测到的水流量输出至所述第一控制器；所述第一控制器基于所述第一转速传感器的输出信号获取所述第一电机的当前转速以及基于所述第一流量传感器的输出信号获取所述研磨机本体中的当前水流量。
[0008]在示例性实施例中，所述第一控制器包括参数调整模型，所述第一控制器通过所述参数调整模型基于所述当前转速和所述当前水流量确定所述目标转速。
[0009]在示例性实施例中，所述研磨机还包括：电源开关，所述电源开关串接于所述研磨机本体的供电路径和所述添液装置的供电路径；感应装置，位于所述电源开关处且与所述第一控制器连接，所述感应装置用于向所述第一控制器输出感应信号；所述第一控制器还用于：基于获取到的所述感应信号确定出对于所述电源开关的开关控制信号。
[0010]在示例性实施例中，所述感应装置包括红外温度传感器；所述红外温度传感器用
于向所述第一控制器输出温度感应信号；所述第一控制器还用于：基于获取到的所述温度感应信号确定出当前温度，将所述当前温度与预设温度进行比较，若所述当前温度与所述预设温度的温度差大于等于低温阈值且小于等于高温阈值，则输出开关调整信号，以调整所述电源开关的状态；或者，若所述当前温度与所述预设温度的温度差小于所述低温阈值或大于所述高温阈值，则输出开关保持信号，以控制所述电源开关保持当前状态。
[0011]在示例性实施例中，所述研磨机还包括：第二转速传感器，位于所述第二电机内，所述第二转速传感器用于获取所述第二电机的实际转速并输出至所述第一控制器；所述第一控制器还用于：将所述第二电机的实际转速与所述目标转速进行比较，并基于所述目标转速对所述第二电机的实际转速进行反馈调节。
[0012]根据本公开的第二方面，还提供一种研磨液流量控制方法，应用于本公开任意实施例所述的研磨机，所述方法由第一控制器执行，所述方法包括：获取所述第一电机的当前转速和所述研磨机本体中的当前水流量；基于所述当前转速和所述当前水流量确定控制参数；基于所述控制参数调节所述泵输送研磨液的流量。
[0013]在示例性实施例中，所述添液装置还包括第二电机，所述第二电机的动力端连接所述泵，所述第二电机转动驱动所述泵将研磨液输出；所述基于所述当前转速和所述当前水流量确定控制参数，包括：基于所述当前转速和所述当前水流量确定目标转速；所述基于所述控制参数调节所述泵输送研磨液的流量，包括：控制所述第二电机按照所述目标转速进行转动以调节所述泵输出研磨液的流量。
[0014]在示例性实施例中，所述研磨机本体还包括：第一转速传感器和第一流量传感器，所述第一转速传感器位于所述第一电机内，所述第一转速传感器用于检测所述第一电机的转速并将检测到的转速输出至所述第一控制器；第一流量传感器位于所述研磨机本体中水的流通路径，所述第一流量传感器用于检测所述研磨机本体中的水流量并将检测到的水流量输出至所述第一控制器；所述获取所述第一电机的当前转速和所述研磨机本体中的当前水流量，包括：分别获取所述第一转速传感器的输出信号和所述第一流量传感器的输出信号；基于所述第一转速传感器的输出信号获取所述第一电机的当前转速以及基于所述第一流量传感器的输出信号获取所述研磨机本体中的当前水流量。
[0015]在示例性实施例中，所述方法还包括：获取预设的样本数据，所述样本数据包括样本水流量数据和所述第一电机的样本转速数据；基于所述样本数据构建训练集；使用所述训练集对预设的神经网络模型进行训练，得到参数调整模型；使用所述参数调整模型基于所述当前转速和所述当前水流量确定所述目标转速。
[0016]在示例性实施例中，所述研磨机还包括电源开关和红外温度传感器，所述电源开关串接于所述研磨机本体的供电路径和所述添液装置的供电路径；所述红外温度传感器位于所述电源开关处且与所述第一控制器连接，所述红外温度传感器用于向所述第一控制器输出温度感应信号；所述方法还包括：基于获取到的所述温度感应信号确定出当前温度；将所述当前温度与预设温度进行比较；若所述当前温度与所述预设温度的温度差大于等于低温阈值且小于等于高温阈值，则输出开关调整信号，以调整所述电源开关的状态；若所述当前温度与所述预设温度的温度差小于所述低温阈值或大于所述高温阈值，则输出开关保持信号，以控制所述电源开关保持当前状态。
[0017]在示例性实施例中，所述研磨机还包括第二转速传感器，所述第二转速传感器位
于所述第二电机内，所述第二转速传感器用于获取所述第二电机的实际转速并输出至所述第一控制器；所述方法还包括：将所述第二电机的实际转速与所述目标转速进行比较；若所述第二电机的实际转速与所述目标转速的转速差值大于等于预设的第一转速阈值或者小于等于预设的第二转速阈值，则基于所述第二电机的目标转速调节所述第二电机的实际转速，其中，所述第一转速阈值大于所述第二转速阈值。
[0018]根据本公开的第三方面，还提供一种研磨液流量控制装置，包括：第一获取模块，用于获取所述第一电机的当前转速和所述研磨机本体中的当前水流量；参数确定模块，用于基于所述当前转速和所述当前水流量确定控制参数；调节模块，用于基于所述控制参数调节所述泵输送本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种研磨机，其特征在于，包括：研磨机本体，具有第一电机，所述研磨机本体通过所述第一电机转动研磨待加工器件；添液装置，与所述研磨机本体连接，用于向所述研磨机本体输送研磨液，所述添液装置包括：泵，用于将研磨液输送至所述研磨机本体；第一控制器，用于获取所述第一电机的当前转速和所述研磨机本体中的当前水流量，基于所述当前转速和所述当前水流量确定控制参数，基于所述控制参数调节所述泵输送研磨液的流量。2.根据权利要求1所述的研磨机，其特征在于，所述添液装置还包括第二电机，所述第二电机的动力端连接所述泵，所述第二电机转动驱动所述泵将研磨液输出；所述第一控制器与所述第二电机连接，所述第一控制器还用于：基于所述当前转速和所述当前水流量确定目标转速，控制所述第二电机按照所述目标转速进行转动以调节所述泵输送研磨液的流量。3.根据权利要求1所述的研磨机，其特征在于，所述研磨机本体还包括：第一转速传感器，位于所述第一电机内，所述第一转速传感器用于检测所述第一电机的转速并将检测到的转速输出至所述第一控制器；第一流量传感器，位于所述研磨机本体中水的流通路径，所述第一流量传感器用于检测所述研磨机本体中的水流量并将检测到的水流量输出至所述第一控制器；所述第一控制器基于所述第一转速传感器的输出信号获取所述第一电机的当前转速以及基于所述第一流量传感器的输出信号获取所述研磨机本体中的当前水流量。4.根据权利要求2所述的研磨机，其特征在于，所述第一控制器包括参数调整模型，所述第一控制器通过所述参数调整模型基于所述当前转速和所述当前水流量确定所述目标转速。5.根据权利要求1
‑
4任一项所述的研磨机，其特征在于，所述研磨机还包括：电源开关，所述电源开关串接于所述研磨机本体的供电路径和所述添液装置的供电路径；感应装置，位于所述电源开关处且与所述第一控制器连接，所述感应装置用于向所述第一控制器输出感应信号；所述第一控制器还用于：基于获取到的所述感应信号确定出对于所述电源开关的开关控制信号。6.根据权利要求5所述的研磨机，其特征在于，所述感应装置包括红外温度传感器；所述红外温度传感器用于向所述第一控制器输出温度感应信号；所述第一控制器还用于：基于获取到的所述温度感应信号确定出当前温度，将所述当前温度与预设温度进行比较，若所述当前温度与所述预设温度的温度差大于等于低温阈值且小于等于高温阈值，则输出开关调整信号，以调整所述电源开关的状态；或者，若所述当前温度与所述预设温度的温度差小于所述低温阈值或大于所述高温阈值，则输出开关保持信号，以控制所述电源开关保持当前状态。7.根据权利要求2
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4任一项所述的研磨机，其特征在于，所述研磨机还包括：第二转速传感器，位于所述第二电机内，所述第二转速传感器用于获取所述第二电机
的实际转速并输出至所述第一控制器；所述第一控制器还用于：将所述第二电机的实际转速与所述目标转速进行比较，并基于所述目标转速对所述第二电机的实际转速进行反馈调节。8.一种研磨液流量控制方法，应用于权利要求1
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7任一项所述的研磨机，其特征在于，所述方法由第一控制器执行，所述方法包括：获取所述第一电机的当前转速和所述研磨机本体中的当前水流量；基于所述当前转速和所述当前水流量确定控制参数；基于所述控制参数调节所述泵输送研磨液的流量。9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述添液装置还包括第二电机，所述第二电机的动力端连接所述泵，所述第二电机转动驱动所...

【专利技术属性】
技术研发人员：焦隆，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：