一种光学真空镀膜设备制造技术

本发明专利技术涉及真空镀膜领域，具体的说是一种光学真空镀膜设备，包括支撑杆和基片夹具；所述基片夹具包括夹具基座、基座卡扣、基座固定板、基座固定片、推杆和夹具机构；所述夹具基座的顶端中部固定安装有基座卡扣，且夹具基座的一侧固定安装有基座固定板；所述基座固定板的内侧表面固定安装有基座固定片；所述夹具基座的另一侧内嵌有夹具机构，且夹具基座与基座固定板相邻的一侧底部内嵌有推杆；所述夹具机构包括限位环、轴承、夹具杆、弹性片、夹具卡扣和夹具卡槽；所述轴承固定安装于夹具基座的内腔，且轴承的两侧分别铰接有夹具杆；所述限位环与夹具基座的内腔滑动连接，通过夹具机构的状态变化，实现了对不同形状的镀膜工件进行夹取镀膜。取镀膜。取镀膜。

【技术实现步骤摘要】
一种光学真空镀膜设备


[0001]本专利技术涉及真空镀膜领域，具体的说是一种光学真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜技术在工业上的应用非常广泛，尤其是在电子材料与元器件工业领域中占有极其重要的地位，对人类社会的发展产生了积极的影响。
[0003]然而目前市场上的镀膜机比较单一化，即针对某种镀膜工件只有相对应的工件夹具，且大小、形状、数量都是固定的，无法针对材质、大小、形状各异的镀膜工件，因此针对不同的镀膜工件需要不同规格的镀膜机，增加了生产成本；同时现有镀膜机的工件夹具多为整体结构且体型较大，当需要进行维修清洗更换时，只能整体拆卸，不仅降低了拆装效率，不方便进行维修清洗，还影响了工件镀膜的速度，降低了生产效率。

技术实现思路

[0004]针对现有技术中的问题，本专利技术提供了一种光学真空镀膜设备，可以根据镀膜工件的材质、大小、形状自由切换工件夹具状态。
[0005]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种光学真空镀膜设备，包括支撑杆和基片夹具；所述基片夹具包括夹具基座、基座卡扣、基座固定板、基座固定片、推杆和夹具机构；所述夹具基座的顶端中部固定安装有基座卡扣，且夹具基座的一侧固定安装有基座固定板；所述基座固定板的内侧表面固定安装有基座固定片；所述夹具基座的另一侧内嵌有夹具机构，且夹具基座与基座固定板相邻的一侧底部内嵌有推杆；所述夹具机构包括限位环、轴承、夹具杆、弹性片、夹具卡扣和夹具卡槽；所述轴承固定安装于夹具基座的内腔，且轴承的两侧分别铰接有夹具杆；所述夹具杆的一侧固定连接有弹性片；所述限位环与夹具基座的内腔滑动连接；所述夹具卡扣固定连接在夹具杆的靠近轴承的一侧；所述夹具卡槽开设在另一根夹具杆的靠近轴承的一侧。
[0006]具体的，所述夹具杆包括弹性弯曲杆、中端抓杆、合页和前端抓杆；所述弹性弯曲杆与中端抓杆的一侧固定连接；所述中端抓杆的另一侧固定连接有合页，所述合页的另一侧固定有前端抓杆；所述前端抓杆的另一侧通过弹性片连接中端抓杆。
[0007]具体的，所述基片夹具还包括弹簧和基座卡槽；所述基座卡槽开设于夹具基座的底部中部；所述弹簧的两侧分别与推杆和夹具基座的内腔接触，且弹簧与推杆的数量均为两个。
[0008]具体的，所述支撑杆的周向开设有凹槽，凹槽的宽度与基座固定板和基座固定片的高度相同。
[0009]具体的，所述限位环一端开设有两个互相对称的开口，且开口的宽度大于单个夹具杆的宽度，小于两个夹具杆的宽度。
[0010]本专利技术的有益效果：
[0011](1)本专利技术所述的一种光学真空镀膜设备，夹具机构的两根夹具杆在轴承的作用
下可以进行转动，当镀膜工件为无法通过挂扣的形式进行镀膜时，可以转动夹具杆，使得两个夹具杆之间呈180
°
，同时转动限位环，使限位环的开口对应单独的夹具杆，让夹具机构呈抓手状态，可以抓取无法挂扣的镀膜工件；当镀膜工件可以通过挂扣的形式进行镀膜时，转动夹具杆，使得两个夹具杆互相接触，让夹具机构呈挂钩状态，对可通过挂扣的形式镀膜的工件进行镀膜。
[0012](2)本专利技术所述的一种光学真空镀膜设备，夹具基座的顶端安装有基座卡扣，夹具基座的底部开设有基座卡槽，两个基片夹具之间可通过基座卡扣与基座卡槽进行卡接，且基片夹具之间可以转动，由此可根据镀膜工件的数量调整基片夹具的数量和角度。
[0013](3)本专利技术所述的一种光学真空镀膜设备，基座固定杆表面安装有基座固定片，在基片夹具安装到支撑杆上的过程中，基座固定片与支撑杆接触并发生形变，产生固定基片夹具的作用，通过此固定方式可以在支撑杆的周向调整基片夹具的角度，同时基座固定片与支撑杆接触的一面为不平整曲面，可以增大与支撑杆之间的摩擦力。
[0014](4)本专利技术所述的一种光学真空镀膜设备，支撑杆的周向开设有凹槽，凹槽的宽度与基座固定板的高度相同，在基片夹具安装在支撑杆上时，支撑杆周向的凹槽可以支撑固定片，防止基片夹具向下滑动。
[0015](5)本专利技术所述的一种光学真空镀膜设备，基片夹具可以通过基座卡扣以及基座固定片进行自由拆装，方便清洗。
附图说明
[0016]下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。
[0017]图1为本专利技术整体结构正面示意图；
[0018]图2为基片夹具的整体结构示意图；
[0019]图3为图2的M
‑
M向示意图；
[0020]图4为基片夹具抓手状态内部结构示意图；
[0021]图5为基片夹具挂钩状态内部结构示意图；
[0022]图6为图2的仰视图；
[0023]图7为夹具机构抓手状态的整体结构示意图；
[0024]图8为图7的A处放大示意图；
[0025]图9为夹具机构挂钩状态的整体结构示意图；
[0026]图10为图9的B处放大示意图。
[0027]图中：1、支撑杆；2、基片夹具；21、夹具基座；22、基座卡扣；23、基座固定板；24、基座固定片；25、推杆；26、夹具机构；261、限位环；262、轴承；263、夹具杆；2631、弹性弯曲杆；2632、合页；2633、前端抓杆；2634、中端抓杆；264、弹性片；265、夹具卡扣；266、夹具卡槽；27、弹簧；28、基座卡槽。
具体实施方式
[0028]为了使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本专利技术。
[0029]如图1
‑
图10所示，本专利技术所述的一种光学真空镀膜设备，包括支撑杆1和基片夹具
2；基片夹具2包括夹具基座21、基座卡扣22、基座固定板23、基座固定片24、推杆25和夹具机构26；夹具基座21的顶端中部固定安装有基座卡扣22，且夹具基座21的一侧固定安装有基座固定板23；基座固定板23的内侧表面固定安装有基座固定片24；支撑杆1的周向开设有凹槽，凹槽的宽度与基座固定板23和基座固定片24的高度相同，在基片夹具2安装在支撑杆1上时，支撑杆1周向的凹槽可以支撑基座固定片24，防止基片夹具2向下滑动；基座固定板23与基座固定片24的数量均为两个，且两个基座固定片24之间的最近距离小于支撑杆1的周向凹槽的直径，且两个基座固定片24与支撑杆1接触的一面为不平整曲面，在基片夹具2安装到支撑杆1上的过程中，基座固定片24与支撑杆1接触并发生形变，产生固定基片夹具2的作用，通过此固定方式可以在支撑杆1的周向调整基片夹具2的角度，同时基座固定片24与支撑杆1接触的一面为不平整曲面，可以增大与支撑杆1之间的摩擦力；夹具基座21的另一侧内嵌有夹具机构26，且夹具基座21与基座固定板23相邻的一侧底部内嵌有推杆25；夹具机构26包括限位环261、轴承262、夹具杆263、弹性片264、夹具卡扣265和夹具卡槽266；轴承262固定安装于夹具基座21的内腔，且轴承262的两侧分别铰接有夹具杆263；夹具杆263的一侧固定连接有弹性片264；限位环261与夹具基座2本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种光学真空镀膜设备，其特征在于：包括支撑杆(1)和基片夹具(2)；所述基片夹具(2)包括夹具基座(21)、基座卡扣(22)、基座固定板(23)、基座固定片(24)、推杆(25)和夹具机构(26)；所述夹具基座(21)的顶端中部固定安装有基座卡扣(22)，且夹具基座(21)的一侧固定安装有基座固定板(23)；所述基座固定板(23)的内侧表面固定安装有基座固定片(24)；所述夹具基座(21)的另一侧内嵌有夹具机构(26)，且夹具基座(21)与基座固定板(23)相邻的一侧底部内嵌有推杆(25)。2.根据权利要求1所述的一种光学真空镀膜设备，其特征在于：所述夹具机构(26)包括限位环(261)、轴承(262)、夹具杆(263)、弹性片(264)、夹具卡扣(265)和夹具卡槽(266)；所述轴承(262)固定安装于夹具基座(21)的内腔，且轴承(262)的两侧分别铰接有夹具杆(263)；所述夹具杆(263)的一侧固定连接有弹性片(264)；所述限位环(261)与夹具基座(21)的内腔滑动连接；所述夹具卡扣(265)固定连接在夹具杆(263)的靠近轴承(262)的一侧；所述夹具卡槽(266)开设在另一根夹具杆(263)的靠近轴承(262)的一侧。3...

【专利技术属性】
技术研发人员：ꢀ七四专利代理机构，
申请(专利权)人：廖培泽，
类型：发明
国别省市：