一种镀膜转架制造技术

本实用新型专利技术公开了一种镀膜转架，包括：产品挂杆，其通过下端转动设于架体的底面上；挂杆自转控制机构，设于架体的底面下方，包括：摆臂，正交固设于挂杆的下端上，摆臂的两端上分设有一对纵向摇柄；内侧向限位轨道，其沿挂杆的公转轨迹的内侧设置，并形成闭环结构，内侧向限位轨道包括圆弧轨道段和朝向圆弧内侧的峰形转折轨道段；当挂杆跟随架体公转时，通过圆弧轨道段对两个摇柄形成的侧向抵挡限制挂杆自转，当挂杆公转至将位于前侧的一个摇柄导向转折轨道段时，利用摆臂受到的偏转作用而实现两个摇柄之间的前后位置互换，从而带动使挂杆进行一次自转动作，实现周期性地对挂杆上安装的产品进行快速翻面，以提高沉积速率和膜层均匀性。均匀性。均匀性。

【技术实现步骤摘要】
一种镀膜转架


[0001]本技术涉及镀膜
，特别是涉及一种镀膜转架。

技术介绍

[0002]目前，在利用真空镀膜设备同时对多个产品进行表面镀膜工艺时，一般是采用在设备工艺腔体中设置转架，并将产品通过挂杆固定在转架上的方式，使产品在跟随转架的转动中进行镀膜。通过转架的转动，可使得转架上的每个产品都获得面向溅射靶的均等受镀机会。
[0003]对于小型产品而言，为了使产品上需要镀膜的各个表面都得到均匀的膜层沉积，可通过使产品在跟随转架公转的同时依靠挂杆的转动进行自身转动的方式来实现。
[0004]但是，对于具有多个较大表面的产品，例如平面型产品，需要在产品的正反两个表面上进行镀膜，如果在工艺过程中产品频繁自转，反而容易在产品的正反两个表面上造成镀层不均匀的问题。较佳的方式，是在转架转动过程中，以固定的时间间隔或转动周期，对平面型产品进行快速地整体翻转，使产品的正反两个表面都能通过交替翻转方式快速转到面向溅射靶的一侧方向。
[0005]上述转架在设计上一般是在挂杆的自转与转架的公转之间形成二级联锁传动关系，因而在转架转动时，就无法对挂杆的自转再进行干预，从而难以适用于具有较大表面的平面型产品的镀膜。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是为了克服现有技术的不足，提供一种镀膜转架。
[0007]本技术实现上述目的的一种技术方案是：
[0008]一种镀膜转架，包括：
[0009]架体；
[0010]产品挂杆，其通过下端转动设于所述架体的底面上；
[0011]挂杆自转控制机构，设于所述架体的底面下方，包括：
[0012]摆臂，正交固设于所述挂杆的下端上，所述摆臂的两端上分设有一对纵向摇柄；
[0013]内侧向限位轨道，其沿所述挂杆的公转轨迹的内侧设置，并形成闭环结构，所述内侧向限位轨道包括圆弧轨道段和朝向圆弧内侧的峰形转折轨道段；
[0014]其中，当所述挂杆跟随所述架体公转时，通过所述圆弧轨道段对两个所述摇柄形成的侧向抵挡，使两个所述摇柄保持在分列于所述挂杆下端的前后两侧上，以限制所述挂杆自转，当所述挂杆公转至所述转折轨道段时，通过将位于前侧的一个所述摇柄导向所述转折轨道段，使所述摆臂因受到偏转作用带动位于后侧的另一个所述摇柄脱离所述内侧向限位轨道，并随所述摆臂逐渐转至位于所述挂杆下端的前侧，直至重新抵触在所述圆弧轨道段上，实现两个所述摇柄之间在转动后的所述摆臂上的前后位置互换，从而带动使所述挂杆进行一次自转动作。
[0015]进一步地，所述挂杆自转控制机构设有沿所述挂杆的公转轨迹的内侧设置的圆盘，所述内侧向限位轨道位于所述圆盘的圆周侧面上，所述圆盘的圆周侧面上具有峰形缺口，所述转折轨道段位于所述缺口的侧面上，所述圆弧轨道段位于所述缺口以外的所述圆盘的圆周侧面上。
[0016]进一步地，所述挂杆自转控制机构还包括导向轨道段，所述导向轨道段设于所述转折轨道段的外侧，用于将所述位于前侧的一个所述摇柄导向所述转折轨道段，所述转折轨道段包括相连的第一转折轨道段和第二转折轨道段，所述导向轨道段包括面向所述第一转折轨道段设置的第一导向轨道段，和与所述第一导向轨道段相连并面向所述第二转折轨道段设置的第二导向轨道段。
[0017]进一步地，所述挂杆自转控制机构还包括外侧向限位轨道，所述外侧向限位轨道设于所述导向轨道段的外侧，用于自外侧对所述位于后侧的另一个所述摇柄脱离所述内侧向限位轨道后的摆动轨迹进行限制。
[0018]进一步地，所述第一转折轨道段、所述第二转折轨道段、所述第一导向轨道段和所述第二导向轨道段包括直线型轨道段，所述外侧向限位轨道包括圆弧型外侧向限位轨道段。
[0019]进一步地，所述第一转折轨道段和所述第二转折轨道段之间夹角为钝角。
[0020]进一步地，所述第一转折轨道段和所述第二转折轨道段之间设有内凹的第三转折轨道段，所述导向轨道段还用于将所述位于前侧的一个所述摇柄进一步导向所述第三转折轨道段，以造成其与所述第三转折轨道段之间的相对转动。
[0021]进一步地，所述摇柄上套设有滚轮。
[0022]进一步地，所述架体包括上盘、下盘和连接设于所述上盘和所述下盘之间的支撑杆，所述挂杆设于所述上盘和所述下盘之间，并与所述上盘和所述下盘同时形成转动配合。
[0023]进一步地，所述转折轨道段在所述内侧向限位轨道上设置一至多个。
[0024]由上述技术方案可以看出，本技术通过在与转架架体形成转动配合的产品挂杆的下端上同轴设置两端各带有一个纵向摇柄的横向摆臂，以及在挂杆公转轨迹的内侧设置包括圆弧轨道段和峰形转折轨道段的内侧向限位轨道的闭环结构，可在挂杆跟随架体公转时，通过圆弧轨道段从内侧方向对两个摇柄形成侧向抵挡，使两个摇柄保持在分列于挂杆下端的前后两侧上，从而限制挂杆的自转；当挂杆公转至转折轨道段的起点侧时，通过设于转折轨道段外侧的导向轨道段，将位于挂杆前侧的一个摇柄导向转折轨道段，使摆臂在来自挂杆的公转拉力和导向轨道段与转折轨道段对摇柄的限制的共同作用下被迫产生偏转，带动位于后侧的另一个摇柄脱离内侧向限位轨道，并随摆臂一起逐渐转至位于挂杆下端的前侧，直至重新抵触在转折轨道段终点侧的圆弧轨道段上，实现两个摇柄之间在转动后的摆臂上的前后位置互换，从而通过摆臂每经过转折轨道段所产生的一次偏转动作，带动挂杆在公转过程中进行一次自转动作，实现周期性地对挂杆上安装的产品的不同受镀面之间进行快速翻转，以有效提高沉积速率，从而提高膜层均匀性。
附图说明
[0025]图1
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图2为本技术一较佳实施例的一种镀膜转架的结构示意图。
[0026]图3
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图4为本技术一较佳实施例的一种摆臂在挂杆轴承上的安装结构示意
图。
[0027]图5为本技术一较佳实施例的一种内侧向限位轨道的结构示意图。
[0028]图6为本技术一较佳实施例的一种转折轨道段的放大结构示意图。
[0029]图7
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图8为本技术一较佳实施例的一种挂杆限位机构的结构示意图。
[0030]图9
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图13为本技术一较佳实施例的一种控制挂杆自转的原理示意图。
[0031]图14为本技术一较佳实施例的一种分体式轨道的装配结构示意图。
具体实施方式
[0032]为了能更好地对本技术的技术方案进行理解，下面通过具体的实施方式对本技术进行详细的说明。
[0033]参考图1
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图2。本技术的一种镀膜转架，包括：架体1，转动设于架体1上的挂杆10，以及设于架体1底面下方的挂杆自转控制机构18等几个主要结构组成部分。
[0034]在一较佳实施例中，架体1可采用筒形框架结构，具体可包括按上下同轴方式设置的上盘11和下盘19，以及连接在上盘11和下盘19之间，用于对上盘11和下盘19进行固定的多个纵向设置的支撑杆(本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种镀膜转架，其特征在于，包括：架体；产品挂杆，其通过下端转动设于所述架体的底面上；挂杆自转控制机构，设于所述架体的底面下方，包括：摆臂，正交固设于所述挂杆的下端上，所述摆臂的两端上分设有一对纵向摇柄；内侧向限位轨道，其沿所述挂杆的公转轨迹的内侧设置，并形成闭环结构，所述内侧向限位轨道包括圆弧轨道段和朝向圆弧内侧的峰形转折轨道段；其中，当所述挂杆跟随所述架体公转时，通过所述圆弧轨道段对两个所述摇柄形成的侧向抵挡，使两个所述摇柄保持在分列于所述挂杆下端的前后两侧上，以限制所述挂杆自转，当所述挂杆公转至所述转折轨道段时，通过将位于前侧的一个所述摇柄导向所述转折轨道段，使所述摆臂因受到偏转作用带动位于后侧的另一个所述摇柄脱离所述内侧向限位轨道，并随所述摆臂逐渐转至位于所述挂杆下端的前侧，直至重新抵触在所述圆弧轨道段上，实现两个所述摇柄之间在转动后的所述摆臂上的前后位置互换，从而带动使所述挂杆进行一次自转动作。2.根据权利要求1所述的镀膜转架，其特征在于，所述挂杆自转控制机构设有沿所述挂杆的公转轨迹的内侧设置的圆盘，所述内侧向限位轨道位于所述圆盘的圆周侧面上，所述圆盘的圆周侧面上具有峰形缺口，所述转折轨道段位于所述缺口的侧面上，所述圆弧轨道段位于所述缺口以外的所述圆盘的圆周侧面上。3.根据权利要求1所述的镀膜转架，其特征在于，所述挂杆自转控制机构还包括导向轨道段，所述导向轨道段设于所述转折轨道段的外侧，用于将所述位于前侧的一个所述摇柄导向所述转折轨道段，所述转折轨道段包括相...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐智，冯柳君，
申请(专利权)人：纳峰真空镀膜上海有限公司，
类型：新型
国别省市：