一种轻载工件大盘制造技术

为了解决大盘的底座与工件托盘通过螺丝连接且大盘的质量较大，拆装非常不方便的问题，本实用新型专利技术为一种轻载工件大盘，底座上部套接有工件托盘，底座上设有多根支撑柱，支撑柱与底座垂直固定连接，工件托盘对应支撑柱的位置设有第一通孔，支撑柱的上部侧面设有第二通孔，支撑柱与对应的第一通孔套接，第二通孔内设有锁止键，锁止键能够使得底座与工件托盘快速的安装或者拆卸，底座上设有传动齿轮，传动齿轮连接有大盘电机，传动齿轮的内环上固定连接有推力轴承，底座由大盘电机及传动齿轮驱动发生旋转，传动齿轮带动推力轴承，从而推动工件托盘一起旋转，把滚珠均匀的分布，节省滚珠的数量，减轻大盘的质量。减轻大盘的质量。减轻大盘的质量。

【技术实现步骤摘要】
一种轻载工件大盘


[0001]本技术涉及镀膜大盘
，较为具体的，涉及到一种轻载工件大盘。

技术介绍

[0002]在PVD真空镀膜
，需要将待镀膜的加工件放置在工件架上，工件架位于大盘上，大盘上的每一个工件架都能够发生自转，大盘的底部设有转轴，转轴可以插入真空镀膜机的底座，并在真空镀膜机的底座发生公转，大盘在整个PVD真空镀膜的过程中显得尤为重要，镀膜时涂层的均匀性跟大盘的公转和工件架的自转关联性极大。
[0003]目前的大盘的底座与工件托盘通过螺丝连接，大盘的底座通过一推力轴承支撑起工件托盘,推力轴承由滚珠和导向轨道组成，所述滚珠满布在导向轨道内，底座由大盘电机及传动齿轮驱动发生旋转，推力轴承位于传动齿轮内环上，从而推动工件托盘一起旋转。
[0004]在实际生产过程中，每生产一种不同规格的工件，就需要去更换一种规格的大盘，而且不同规格的大盘在闲置时还需要单独的连接座去进行连接，由于大盘的底座与工件托盘通过螺丝连接且大盘的质量较大，拆装非常不方便。

技术实现思路

[0005]有鉴于此，为了解决大盘的底座与工件托盘通过螺丝连接且大盘的质量较大，拆装非常不方便的问题，本技术为一种轻载工件大盘，底座1上部套接有工件托盘2，底座1上设有多根支撑柱3，支撑柱3与底座1垂直固定连接，工件托盘2对应支撑柱3的位置设有第一通孔，支撑柱3的上部侧面设有第二通孔，支撑柱3与对应的第一通孔套接，第二通孔内设有锁止键4，锁止键4能够使得底座1与工件托盘2快速的安装或者拆卸，底座1上设有传动齿轮7，传动齿轮7连接有大盘电机，传动齿轮7的内环上固定连接有推力轴承8，底座1由大盘电机及传动齿轮7驱动发生旋转，传动齿轮7带动推力轴承8，从而推动工件托盘2一起旋转，把滚珠9均匀的分布，节省滚珠9的数量，减轻大盘的质量。
[0006]一种轻载工件大盘，包括底座1，所述底座1上部套接有工件托盘2，其特征在于：底座1上设有多根支撑柱3，支撑柱3与底座1垂直固定连接，工件托盘2对应支撑柱3的位置设有第一通孔，所述支撑柱3的上部侧面设有第二通孔，所述支撑柱3与对应的第一通孔套接，所述第二通孔内设有锁止键4。
[0007]进一步的，锁止键4包括直线杆5和波浪杆6，所述直线杆5和波浪杆6一体成型，所述直线杆5穿设在第二通孔处，波浪杆6与直线杆5相对设置，波浪杆6对直线杆5与第二通孔有限位作用。
[0008]在本技术较佳的实施例中，底座1上设有传动齿轮7，传动齿轮7连接有大盘电机，传动齿轮7的内环上固定连接有推力轴承8，底座1由大盘电机及传动齿轮7驱动发生旋转，传动齿轮7带动推力轴承8，从而推动工件托盘2一起旋转，把滚珠9均匀的分布，节省滚珠9的数量，减轻大盘的质量。
[0009]进一步的，推力轴承8包括：滚珠9、支撑环10、导向轨道13，所述导向轨道13与传动
齿轮7的内环连接，所述滚珠9置于导向轨道13上且与支撑架套接，滚珠9的上表面支撑起工件托盘2。
[0010]进一步的，所述支撑环10包括支撑环本体11以及凸出与支撑环本体11外环的套环12，相邻的两个套环12间隔设置且与支撑环本体11一体成型。
[0011]进一步的，所述套环12形成的外圈与支撑环本体11同圆心。
[0012]在本技术较佳的实施例中，支撑环本体11内圈设有多根工件安装杆座14，相邻的工件安装杆座14间隔设置，多根工件安装杆座14与支撑环本体11同圆心，工件托盘2上设有与工件安装杆座14一一对应的工件安装杆15。
[0013]在本技术较佳的实施例中，多根工件安装杆座14内圈设有空心管16，空心管16与底座1垂直固定连接，空心管16下部设有连接端子，温度传感器设置在工件安装杆15上，温度传感器的传输线穿过空心管16连接连接端子的上端，连接端子的下端连接外部的电源线的电源端子。
[0014]综上所述，本技术具备以下优点：本技术为一种轻载工件大盘，底座1上部套接有工件托盘2，底座1上设有多根支撑柱3，支撑柱3与底座1垂直固定连接，工件托盘2对应支撑柱3的位置设有第一通孔，支撑柱3的上部侧面设有第二通孔，支撑柱3与对应的第一通孔套接，第二通孔内设有锁止键4，锁止键4能够使得底座1与工件托盘2快速的安装或者拆卸，底座1上设有传动齿轮7，传动齿轮7连接有大盘电机，传动齿轮7的内环上固定连接有推力轴承8，底座1由大盘电机及传动齿轮7驱动发生旋转，传动齿轮7带动推力轴承8，从而推动工件托盘2一起旋转，把滚珠9均匀的分布，节省滚珠9的数量，减轻大盘的质量。
附图说明
[0015]图1为本技术的轻载工件大盘的结构示意图。
[0016]图2为本技术的轻载工件大盘的结构示意图。
[0017]图3为本技术的轻载工件大盘的锁止键结构示意图。
[0018]主要元件符号说明
[0019]底座1工件托盘2支撑柱3锁止键4直线杆5波浪杆6传动齿轮7推力轴承8滚珠9支撑环10支撑环本体11套环12导向轨道13工件安装杆座14
工件安装杆15空心管16
[0020]如下具体实施方式将结合上述附图进一步说明本技术。
具体实施方式
[0021]如图1所示，为本技术的轻载工件大盘的结构示意图；如图2所示，为本技术的轻载工件大盘的结构示意图；如图3所示，为本技术的轻载工件大盘的锁止键结构示意图。
[0022]一种轻载工件大盘，包括底座1，所述底座1上部套接有工件托盘2，其特征在于：底座1上设有多根支撑柱3，支撑柱3与底座1垂直固定连接，工件托盘2对应支撑柱3的位置设有第一通孔，所述支撑柱3的上部侧面设有第二通孔，所述支撑柱3与对应的第一通孔套接，所述第二通孔内设有锁止键4。
[0023]进一步的，锁止键4包括直线杆5和波浪杆6，所述直线杆5和波浪杆6一体成型，所述直线杆5穿设在第二通孔处，波浪杆6与直线杆5相对设置，波浪杆6对直线杆5与第二通孔有限位作用。
[0024]在本技术较佳的实施例中，底座1上设有传动齿轮7，传动齿轮7连接有大盘电机，传动齿轮7的内环上固定连接有推力轴承8，底座1由大盘电机及传动齿轮7驱动发生旋转，传动齿轮7带动推力轴承8，从而推动工件托盘2一起旋转，把滚珠9均匀的分布，节省滚珠9的数量，减轻大盘的质量。
[0025]进一步的，推力轴承8包括：滚珠9、支撑环10、导向轨道13，所述导向轨道13与传动齿轮7的内环连接，所述滚珠9置于导向轨道13上且与支撑架套接，滚珠9的上表面支撑起工件托盘2。
[0026]进一步的，所述支撑环10包括支撑环本体11以及凸出与支撑环本体11外环的套环12，相邻的两个套环12间隔设置且与支撑环本体11一体成型。
[0027]进一步的，所述套环12形成的外圈与支撑环本体11同圆心。
[0028]在本技术较佳的实施例中，支撑环本体11内圈设有多根工件安装杆座14，相邻的工件安装杆座14间隔设置，多根工件安本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种轻载工件大盘，包括底座(1)，所述底座(1)上部套接有工件托盘(2)，其特征在于：底座(1)上设有多根支撑柱(3)，支撑柱(3)与底座(1)垂直固定连接，工件托盘(2)对应支撑柱(3)的位置设有第一通孔，所述支撑柱(3)的上部侧面设有第二通孔，所述支撑柱(3)与对应的第一通孔套接，所述第二通孔内设有锁止键(4)，锁止键(4)包括直线杆(5)和波浪杆(6)，所述直线杆(5)和波浪杆(6)一体成型，所述直线杆(5)穿设在第二通孔处，波浪杆(6)与直线杆(5)相对设置，底座(1)上设有传动齿轮(7)，传动齿轮(7)连接有大盘电机，传动齿轮(7)的内环上固定连接有推力轴承(8)，推力轴承(8)包括：滚珠(9)、支撑环(10)、导向轨道(13)，所述导向轨道(13)与传动齿轮(7)的内环连接，所述滚珠(9)置于导向轨道(13)上且与支撑架套接，所述支撑环(10)包括支撑环本体(1...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴伟亮，冯刚，秦振芳，乔昌军，吴俊磊，
申请(专利权)人：苏州星蓝纳米技术有限公司，
类型：新型
国别省市：