一种用于晶体生长炉的水冷隔热罩制造技术

本实用新型专利技术公开一种用于晶体生长炉的水冷隔热罩，包括底板和两个半圆柱式水冷屏蔽罩，结构相同的两个水冷屏蔽罩对称设置在底板上，水冷屏蔽罩包括内壳、外壳、水冷管路和盖板，外壳套设在内壳的外侧，水冷管路铺设在内壳的外壁上，盖板安装在内壳和外壳的顶部并将内壳与外壳密封；外壳的顶部和底部均设置有快插接头，两个水冷屏蔽罩上的冷却水管通过外壳顶部的快插接头串联，两个水冷屏蔽罩的外壳底部的快插接头分别连接进水管和出水管；两个水冷屏蔽罩之间的缝隙中设置有绝缘隔离件。该水冷隔热罩，能够维持腔体外侧的温度恒定，降低设备外围空间的温度；具有更好的水冷隔热效果。果。果。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶体生长炉的水冷隔热罩


[0001]本技术涉及隔热罩
，特别是涉及一种用于晶体生长炉的水冷隔热罩。

技术介绍

[0002]现有的晶体生长炉大部分使用感应线圈进行加热，通过感应线圈加热感应线圈内部的晶体生长坩埚，感应线圈加热有加热速度快，能量转换效率高等优点，现有的设备对环境温度要求极高，设备内温度过高会影响设备内部元器件使用寿命和性能。

技术实现思路

[0003]本技术的目的是提供一种用于晶体生长炉的水冷隔热罩，以解决上述现有技术存在的问题，能够维持内壳的温度恒定，降低炉体外围空间的温度；具有更好的水冷隔热效果。
[0004]为实现上述目的，本技术提供了如下方案：本技术提供一种用于晶体生长炉的水冷隔热罩，包括底板和两个半圆柱式水冷屏蔽罩，结构相同的两个所述水冷屏蔽罩对称设置在所述底板上，
[0005]所述水冷屏蔽罩包括内壳、外壳、水冷管路和盖板，所述外壳套设在内壳的外侧，所述水冷管路铺设在所述内壳的外壁上，所述盖板安装在所述内壳和外壳的顶部并将内壳与外壳密封；所述外壳的顶部和底部均设置有快插接头，两个所述水冷屏蔽罩的外壳顶部的所述快插接头通过水管相串联，两个所述水冷屏蔽罩的外壳底部的所述快插接头分别连接进水管和出水管；两个所述水冷屏蔽罩之间的缝隙中设置有绝缘隔离件。
[0006]优选地，所述内壳和外壳的选用具有磁场屏蔽效果的材料制成，如磁导率较大的软磁材料，所述内壳和外壳通过榫接的方式与底板连接。
[0007]优选地，所述内壳的内壁设置为磨砂处理过的内壁，且所述内壳的内壁喷涂有吸热涂料。
[0008]优选地，所述水冷管路采用铜管，所述水冷管路经钣金制作的支架卡箍后通过螺钉固定在所述内壳的外壁上。
[0009]优选地，所述水冷管路与内壳外壁之间的间隙中填充有钎焊料或高导热系数导热胶。
[0010]优选地，所述内壳通过榫接的方式与盖板连接，所述外壳通过钣金连接件与盖板连接。
[0011]优选地，所述外壳上开设有观察窗。
[0012]本技术相对于现有技术取得了以下有益技术效果：
[0013]1、全封闭式组合壳体，两个水冷屏蔽罩呈两个半圆柱式或其他多边形构成，并通过绝缘隔离件隔开，防止产生感应回路而受到其中感应线圈变化磁场的影响自行发热。
[0014]2、水冷屏蔽罩采用双层壳体，夹层中密布水冷管路，内壁上喷涂石墨烯增加导热
性能以吸收更多的热量，水冷管路与内层罩壳接触，水冷管路中的水流通过钎焊钎料(或使用高效导热胶)吸收内壁所接受到的热量，维持内壳的较低温度，降低炉体外围空间的温度。
[0015]3、组件前部开竖排观察小窗，便于观察炉体工况。
[0016]4、水冷隔热罩与炉体之间形成双层电磁屏蔽罩，增加电磁屏蔽效果，对周边环境起保护作用。
[0017]5、前部有一连接铜板，用于调节两水冷罩的间距。
[0018]6、水冷罩与支撑水冷罩的底板间有一PTFE绝缘垫。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为水冷隔热罩的整体结构示意图；
[0021]图2为水冷隔热罩的俯视图；
[0022]图3为水冷管路分布图；
[0023]图4为水冷隔热罩正视图；
[0024]其中，1底板；2水冷屏蔽罩；3内壳；4水冷管路；5盖板；6外壳；7快插接头。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]本技术的目的是提供一种用于晶体生长炉的水冷隔热罩，以解决上述现有技术存在的问题，能够维持内壳的较低温度，降低炉体外围空间的温度；具有更好的水冷隔热效果。
[0027]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。
[0028]如图1
‑
图4所示，本实施例提供一种用于晶体生长炉的水冷隔热罩，包括底板1和两个结构相同的水冷屏蔽罩2，水冷屏蔽罩包括内壳3、外壳6、水冷管路4和盖板5。
[0029]具体地，本实施例中内壳6采用铝制，为整个水冷组件的内部吸收壁，用于吸收组件内部炉体所传导出来的热量以及电磁辐射，也起支撑整个组件作为框架的作用，内壁做磨砂处理，喷涂高效吸热涂料(如石墨烯)，增强吸热作用。在内壳6中装有温度传感器，自动调节水流量控制内壳温度，从而实现温度恒定。
[0030]外壳3也采用铝制，为整个水冷组件的外壳，用于支撑起整个组件的框架作用，也起到保护内部水冷管路4及内壳3的作用，以及为第二层电磁辐射屏蔽罩。
[0031]水冷管路4采用铜管，处于水冷组件的夹层之中，由钣金制作的支架用螺钉固定于
内壳3的外壁上，再用钎焊料(或高导热系数导热胶)填充水管与内壳3外壁之间的间隙。其将内壳3内壁吸收的热量快速导入铜水管，被水流吸收并带走，维持内壳3处于较低温度。
[0032]盖板6采用铝制，处于水冷组件顶部，由钣金制作的支架用螺钉固定于水冷罩内、外壳上，主要起封闭整个水冷组件，吸收电磁辐射的作用，也起整个组件的辅助支撑作用。
[0033]底板1也采用铝制，处于水冷组件底部，水冷罩内外壳用螺钉固定在底板1上，起封闭整个水冷组件，也起整个组件的支撑作用。内壳3、外壳6、盖板5和底板1的选用具有磁场屏蔽效果的材料制成，上述的铝制只是其中一种可以实现相应效果的材料选择。
[0034]为了防止产生感应回路而受到其中感应线圈变化磁场的影响自行发热，于本实施例中，两个水冷屏蔽罩2的缝隙上设置有塑料隔离件(PTFE)，起到隔离两个组件的作用，防止其接触，形成感应回路从而消耗功率。
[0035]进一步地，本实施例中的水冷管路4上设置有快插接头7，快插接头7处于水管管路进出水口，便于安装拆卸进出水水管。
[0036]本技术中的用于晶体生长炉的水冷隔热罩，左右两个水冷屏蔽罩2，单个水冷屏蔽罩2由底部的底板1，顶部的盖板5，内部的内壳3，外部的外壳6，内壳3和外壳6中间的水冷管路4，水冷管路4的布置方式为盘管设置，两个水冷屏蔽罩2中间的绝缘隔离件，在水冷屏蔽罩2顶部及底部的水路快插接头7和钣金连接件组成。
[0037]具体地，内壳3和外壳6通过榫接的方式与底板1连接，内壳3通过榫接的方式与盖板5连接，外壳6通过钣金连接件与盖板5连接，水冷管路4通过钣金连接件本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶体生长炉的水冷隔热罩，其特征在于：包括底板和两个半圆柱式水冷屏蔽罩，结构相同的两个所述水冷屏蔽罩对称设置在所述底板上，所述水冷屏蔽罩包括内壳、外壳、水冷管路和盖板，所述外壳套设在内壳的外侧，所述水冷管路铺设在所述内壳的外壁上，所述盖板安装在所述内壳和外壳的顶部并将内壳与外壳密封；所述外壳的顶部和底部均设置有快插接头，两个水冷屏蔽罩上的冷却水管通过外壳顶部的快插接头串联，两个所述水冷屏蔽罩的外壳底部的所述快插接头分别连接进水管和出水管；两个所述水冷屏蔽罩之间的缝隙中设置有绝缘隔离件。2.根据权利要求1所述的用于晶体生长炉的水冷隔热罩，其特征在于：所述内壳和外壳的选用具有磁场屏蔽效果的材料制成，所述内壳和外壳通过榫接的方式与底板连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘鹏，徐文立，胡建宇，王誉程，
申请(专利权)人：宁波恒普真空科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：