一种还原炉的余热回收装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种还原炉的余热回收装置，涉及多晶硅生产技术领域。本实用新型专利技术包括还原炉本体，还原炉本体的尾气管外壁上设置有闪蒸组件，尾气管的一端设置有预热组件；闪蒸组件包括第一连接管、蛇管和闪蒸罐，闪蒸罐通过第一连接管和蛇管与蓄水箱连接，且蛇管套设在尾气管的外壁上；预热组件包括进气管、上盖板和蓄水箱，尾气管的一侧通过进气管与蓄水箱连接。本实用新型专利技术通过利用闪蒸组件和预热组件，通过闪蒸组件中的蛇管将尾气管中尾气的余热进行初步回收利用，从而用来制作高温蒸汽，同时通过预热组件中的第一连接管和蓄水箱进一步对尾气管中的尾气余热进行回收利用，从而实现对水进行加热，节约了资源。节约了资源。节约了资源。

【技术实现步骤摘要】
一种还原炉的余热回收装置


[0001]本技术属于多晶硅生产
，特别是涉及一种还原炉的余热回收装置。

技术介绍

[0002]在多晶硅的生产过程中，其对原料的还原是非常关键的一步，通过还原炉对原料进行还原反应，而在还原炉的使用过程中，其还原炉内的尾气含有大量的热量，为了避免造成能量的浪费，通常会对这些热量进行回收再利用，而常用的回收装置则是低压蒸汽闪蒸罐(0.2/0.4MPa)，但它在实际使用中仍存在以下弊端：
[0003]1、现有的还原炉的余热回收装置在使用时，还原尾气出还原炉后使用炉筒冷却水进行冷却，其热能被带至低压蒸汽闪蒸罐(0.2/0.4MPa)闪蒸低压蒸汽，从而造成0.2/0.4MPa低压蒸汽过量能量浪费，而1.0MPa左右蒸汽量不足，需蒸汽锅炉耗能另产或用蒸汽压缩机将0.2/0.4MPa蒸汽加压，需要二次耗能；
[0004]2、现有的还原炉的余热回收装置在使用时，现有的装置大多只对尾气中的余热进行一次回收，其回收利用效率较低，造成能量的浪费。
[0005]因此，现有的还原炉的余热回收装置，无法满足实际使用中的需求，所以市面上迫切需要能改进的技术，以解决上述问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的在于提供一种还原炉的余热回收装置，通过利用闪蒸组件和预热组件，通过闪蒸组件中的蛇管将尾气管中尾气的余热进行初步回收利用，从而用来制作高温蒸汽，同时通过预热组件中的第一连接管和蓄水箱进一步对尾气管中的尾气余热进行回收利用，从而实现对水进行加热，节约了资源。
[0007]为解决上述技术问题，本技术是通过以下技术方案实现的：
[0008]本技术为一种还原炉的余热回收装置，包括还原炉本体，所述还原炉本体的尾气管外壁上设置有闪蒸组件，且尾气管的一端设置有预热组件；
[0009]所述闪蒸组件包括第一连接管、蛇管和闪蒸罐，且第一连接管的一端贯穿蓄水箱的一侧外壁并延伸至蓄水箱的内侧，所述第一连接管的另一端固定连接有蛇管，且蛇管套设在尾气管的外壁上，所述蛇管的另一端固定连接有第二连接管，且第二连接管的底端固定连接在闪蒸罐的顶部前端一侧，所述闪蒸罐的后端面上固定连接有蒸汽管；
[0010]所述预热组件包括进气管、上盖板和蓄水箱，且进气管的一端固定连接在尾气管的一侧，所述进气管的底端贯穿上盖板并延伸至蓄水箱的内侧下方，且蓄水箱固定连接在底板的上表面一侧。
[0011]进一步地，所述尾气管的外壁一侧设置有尾气阀，且尾气管固定连接在还原炉本体的顶部，所述还原炉本体固定连接在底板的上表面另一侧，在使用过程中，尾气管和尾气阀的设置实现了将还原炉本体内的尾气排出。
[0012]进一步地，所述闪蒸罐的底部均匀固定连接有支架，且支架的底部固定连接在底
板的上表面中心位置，在使用过程中，支架的设置实现了对闪蒸罐进行支撑。
[0013]进一步地，所述上盖板固定连接在蓄水箱的内侧上方，且上盖板的上表面另一侧固定连接有排气管，所述排气管的底端贯穿上盖板并延伸至蓄水箱的内侧上方，在使用过程中，排气管的设置实现了将蓄水箱内的尾气排出。
[0014]进一步地，所述蓄水箱的前端面中心位置设置有观察窗，且观察窗的前端面一侧均匀设置有液位刻度线，在使用过程中，观察窗和液位刻度线的设置便于工作人员了解到蓄水箱内的液位高度。
[0015]进一步地，所述蓄水箱的另一侧外壁上方固定连接有进水管，且进水管的外壁上设置有进水阀，在使用过程中，进水管和进水阀的设置实现了向蓄水箱内添加水。
[0016]本技术具有以下有益效果：
[0017]1、本技术通过闪蒸组件的设置，在使用过程中，蓄水箱内的水通过第一连接管进入到蛇管的内侧，由于蛇管内的水温低于尾气管内的尾气温度，从而使得两者发生换热反应，利用尾气管内的高温尾气对蛇管内流通的水进行加热，加热后的水通过第二连接管进入到闪蒸罐内，由于闪蒸罐内的压强低于蛇管内的压强，从而使得蛇管内的热水被闪蒸为蒸汽，接着通过蒸汽管向其他设备提供高温蒸汽，从而实现了对还原炉本体尾气中的余热进行回收再利用。
[0018]2、本技术通过预热组件的设置，在使用过程中，还原炉本体内的尾气通过尾气管进入到进气管内，并通过进气管被通入到蓄水箱的内侧下方，蓄水箱内盛有一定液位高度的水，从而当高温尾气进入到蓄水箱内时，通过与水直接接触从而发生换热，进而实现了对水的加热，进一步对还原炉本体尾气中的余热进行回收再利用。
附图说明
[0019]为了更清楚地说明本技术实施例的技术方案，下面将对实施例描述所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0020]图1为本技术的结构示意图；
[0021]图2为本技术还原炉本体的结构示意图；
[0022]图3为本技术闪蒸组件的结构示意图；
[0023]图4为本技术预热组件的结构示意图。
[0024]附图中，各标号所代表的部件列表如下：
[0025]1、还原炉本体；11、尾气管；12、尾气阀；2、闪蒸组件；21、第一连接管；22、蛇管；23、第二连接管；24、闪蒸罐；25、蒸汽管；26、支架；3、预热组件；31、进气管；32、上盖板；33、蓄水箱；34、排气管；35、观察窗；36、液位刻度线；37、进水管；38、进水阀；4、底板。
具体实施方式
[0026]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。
[0027]请参阅图1
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4所示，本技术为一种还原炉的余热回收装置，包括还原炉本体1，
还原炉本体1的尾气管11外壁上设置有闪蒸组件2，尾气管11的一端设置有预热组件3；
[0028]闪蒸组件2包括第一连接管21、蛇管22和闪蒸罐24，第一连接管21的一端贯穿蓄水箱33的一侧外壁并延伸至蓄水箱33的内侧，第一连接管21的另一端固定连接有蛇管22，蛇管22套设在尾气管11的外壁上，蛇管22的另一端固定连接有第二连接管23，第二连接管23的底端固定连接在闪蒸罐24的顶部前端一侧，闪蒸罐24的后端面上固定连接有蒸汽管25；
[0029]具体的，在使用过程中，蓄水箱33内的水通过第一连接管21进入到蛇管22的内侧，由于蛇管22内的水温低于尾气管11内的尾气温度，从而使得两者发生换热反应，利用尾气管11内的高温尾气对蛇管22内流通的水进行加热，加热后的水通过第二连接管23进入到闪蒸罐24内，由于闪蒸罐24内的压强低于蛇管22内的压强，从而使得蛇管22内的热水被闪蒸为1.0MPa蒸汽，接着通过蒸汽管25向其他设备提供高温蒸汽，从而实现了对还原炉本体1尾气中的余热进行回收再利用；
[0030]预热组件3包括进气管31、上盖板32和蓄水箱33，进气管31的一端固定连接在尾气管本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种还原炉的余热回收装置，包括还原炉本体(1)，其特征在于：所述还原炉本体(1)的尾气管(11)外壁上设置有闪蒸组件(2)，且尾气管(11)的一端设置有预热组件(3)；所述闪蒸组件(2)包括第一连接管(21)、蛇管(22)和闪蒸罐(24)，且第一连接管(21)的一端贯穿蓄水箱(33)的一侧外壁并延伸至蓄水箱(33)的内侧，所述第一连接管(21)的另一端固定连接有蛇管(22)，且蛇管(22)套设在尾气管(11)的外壁上，所述蛇管(22)的另一端固定连接有第二连接管(23)，且第二连接管(23)的底端固定连接在闪蒸罐(24)的顶部前端一侧，所述闪蒸罐(24)的后端面上固定连接有蒸汽管(25)；所述预热组件(3)包括进气管(31)、上盖板(32)和蓄水箱(33)，且进气管(31)的一端固定连接在尾气管(11)的一侧，所述进气管(31)的底端贯穿上盖板(32)并延伸至蓄水箱(33)的内侧下方，且蓄水箱(33)固定连接在底板(4)的上表面一侧。2.根据权利要求1所述的一种还原炉的余热回收装置，其特征在于，所述尾气管...

【专利技术属性】
技术研发人员：石亮成，王富，丁继中，张文龙，
申请(专利权)人：青海丽豪半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：