CVD样品台及CVD系统技术方案

本公开提供了一种CVD样品台及CVD系统，CVD样品台包括：基座，包括安装结构；停放台，与基座固定连接，或一体成型，停放台包括：停放台主体；至少一个停放结构，设置在停放台主体上，用于停放样品。用于停放样品。用于停放样品。

【技术实现步骤摘要】
CVD样品台及CVD系统


[0001]本公开涉及真空镀膜领域，特别涉及一种CVD样品台及CVD系统。

技术介绍

[0002]化学气相沉积(CVD)作为一种能够精确控制薄膜成分的镀膜技术，已经被广泛应用于很多
该技术主要是利用含有薄膜元素的一种或几种气相化合物或单质，在衬底表面上进行化学反应生成薄膜，化学气相沉积(CVD)的大致工序包括：(1)形成挥发性物质；(2)将上述挥发性物质转移至沉积区域；(3)在衬底上进行化学反应并产生固态物质。目前，在化学气相沉积(CVD)中，普遍采用通过石英管将挥发性物质运送至放置有样品托的停放台上，传统技术中的停放台是直接在石英管上开槽，再将样品托停放在石英管上。但是石英管材质较脆，极易折断，因而加工困难，成品率低，成本高。

技术实现思路

[0003]本公开提供了一种CVD样品台，其特征在于，包括：基座，包括安装结构；停放台，与基座固定连接，或一体成型，停放台包括：停放台主体；至少一个停放结构，设置在停放台主体上，用于停放样品。
[0004]在一些实施例中，基座包括通孔，停放台主体包括与通孔连通的内腔和用于接收样品的开口。
[0005]在一些实施例中，停放结构包括开设在停放台主体内壁上并沿停放台主体轴向延伸的凹槽。
[0006]在一些实施例中，停放台主体呈筒状。
[0007]在一些实施例中，停放台还包括设置在停放台主体侧壁上的开口。
[0008]在一些实施例中，安装结构包括：至少一个安装孔，设置在基座的侧壁上；或者至少一个安装条，沿轴向设置在基座的侧壁上。
[0009]本公开提供了一种CVD系统，其特征在于，包括：真空管；通气管，设置在真空管内；根据本公开任意一项实施例中的CVD样品台，CVD样品台的基座通过安装结构设置在通气管的末端。
[0010]在一些实施例中，基座的通孔与通气管连通。
[0011]在一些实施例中，CVD系统还包括：样品托，包括至少一个结合部，用于与停放结构相配合，以将样品托停放在停放台主体上。
[0012]在一些实施例中，样品托包括片状样品托、带凸缘的凹盒状样品托。
[0013]根据本公开一些实施例的CVD样品台能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的CVD样品能够解决常规技术中石英管加工困难，成品率低等问题，能够实现降低加工要求、易于加工、不易损毁、提高成品率的技术效果。
[0014]根据本公开一些实施例的CVD系统能够带来有益的技术效果。例如，本公开一些实施例的CVD系统能够解决常规技术中CVD镀膜成本高、设备维护频繁等问题，能够实现降低
设备损坏率、降低镀膜设备成本的技术效果。
附图说明
[0015]为了更清楚地说明本公开实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本公开的一种实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0016]图1示出根据本公开一些实施例的CVD样品台的结构示意图；
[0017]图2示出根据本公开一些实施例的CVD样品台的主视图；
[0018]图3示出根据本公开一些实施例的CVD样品台与通气管的安装示意图；
[0019]图4示出根据本公开一些实施例的CVD样品台与样品托的安装示意图；以及
[0020]图5示出根据本公开一些实施例的CVD系统的部分结构示意图。
[0021]在上述附图中，各附图标记分别表示：
[0022]100CVD样品台
[0023]10基座
[0024]11安装结构
[0025]12通孔
[0026]20停放台
[0027]21停放台主体
[0028]211内腔
[0029]212开口
[0030]213上开口
[0031]22停放结构
[0032]300通气管
[0033]400样品托
[0034]401结合部
具体实施方式
[0035]下面将结合附图对本公开一些实施例进行描述。显然，所描述的实施例仅仅是本公开示例性实施例，而不是全部的实施例。
[0036]在本公开的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶”、“底”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本公开和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本公开的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。在本公开的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“连接”、“相连”、“耦合”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接连接，也可以通过中间媒介间接连接；可以是两个元件内部的连通。在本公开的描述中，远端或远侧是指深入真空环境(例如，真空腔)的一端或一侧，近端或近侧是与远端或远
侧相对的一端或一侧(例如，远离真空腔的一端或一侧，或者真空腔内靠近真空腔壁的一端或一侧等等)。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本公开中的具体含义。
[0037]图1示出根据本公开一些实施例的CVD样品台100的结构示意图。
[0038]如图1所示，CVD样品台100可以包括基座10和停放台20。基座10可以包括安装结构11。停放台20可以与基座10一体成型。停放台20的径向尺寸可以大于基座10的径向尺寸。例如，基座10的外径尺寸可以与通气管(例如图3、图4、图5所示的通气管300)的内径尺寸相适配，以便基座10插入通气管中并且与通气管连接。停放台20的外径尺寸可以与通气管(例如图3、图4、图5所示的通气管300)的外径尺寸相同，也可以大于或小于通气管的外径尺寸。
[0039]停放台20可以包括停放台主体21以及至少一个停放结构22，停放结构22设置在停放台主体21上，用于停放样品。
[0040]本领域技术人员可以理解，虽然本公开的停放台20与基座10是一体成型的，但这仅是示例性结构，停放台和基座也可以固定连接或可拆卸连接在一起。
[0041]图2示出根据本公开一些实施例的CVD样品台100的主视图。
[0042]如图1和图2所示，在本公开的一些实施例中，停放台主体21呈内部中空的圆筒状。内壁上(例如图1、图2所示的左右两侧内壁上)开设有相对且相互配合的凹槽，该凹槽形成停放结构22。本领域技术人员可以理解，虽然图1和图2中示出的停放台主体21为圆筒状，但是停放台主体也可以是截面为椭圆形、正方形、矩形或多边形等等的筒状体。
[0043]如图1所示，在本公开的一些实施例中，基座10为内部中空且直径小于停放台主体21的圆柱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种CVD样品台，其特征在于，包括：基座，包括安装结构；停放台，与所述基座固定连接，或一体成型，所述停放台包括：停放台主体；至少一个停放结构，设置在所述停放台主体上，用于停放样品。2.根据权利要求1所述的CVD样品台，其特征在于，所述基座包括通孔，所述停放台主体包括与所述通孔连通的内腔和用于接收样品的开口。3.根据权利要求2所述的CVD样品台，其特征在于，所述停放结构包括开设在停放台主体内壁上并沿所述停放台主体轴向延伸的凹槽。4.根据权利要求1
‑
3中任一项所述的CVD样品台，其特征在于，所述停放台主体呈筒状。5.根据权利要求4所述的CVD样品台，其特征在于，所述停放台还包括设置在所述停放台主体侧壁上的开口。6.根据权利要求1
‑<...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈飞，谢斌平，王亮，王天邻，
申请(专利权)人：费勉仪器科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：