研磨液供给系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种研磨液供给系统，包括：研磨桶，研磨桶具有适于存放研磨液的存放腔，存放腔内设有搅拌机，研磨桶的底部具有与双面研磨机连通的排液口；降温装置，降温装置包括冷却管和第一控制阀，冷却管设于研磨桶内，冷却管环绕搅拌机设置，冷却管和第一控制阀与冷却水源连通；温度检测装置，温度检测装置设于存放腔内，温度检测装置用于检测研磨液的温度；控制装置，控制装置分别与第一控制阀和温度检测装置通讯相连，当温度检测装置检测到研磨液的温度大于预设温度时，控制第一控制阀打开以使得冷却水在冷却管内循环。根据本实用新型专利技术的研磨液供给系统，有利于减小搅拌机运行的影响，将研磨液的温度控制在工艺允许范围内。内。内。

【技术实现步骤摘要】
研磨液供给系统


[0001]本技术涉及研磨领域，尤其是涉及一种研磨液供给系统。

技术介绍

[0002]双面研磨机在研磨过程中需要使用研磨液，通过化学机械研磨的方式，去除晶圆多余的部分，使晶圆达到目标要求的厚度。现有的双面研磨供液方式是厂务集中供应，研磨液从厂务端通过管路输送到双面研磨机的研磨桶内，再从研磨桶通过蠕动泵供给研磨机。
[0003]然而在实际工作过程中，研磨液在静止状态下会有少许沉淀，需适当的打开研磨桶内的搅拌机，当搅拌机打开的同时，研磨桶内研磨液的温度会升高，超出工艺允许的范围，因此如何保证研磨桶内的研磨液的温度处于工艺允许的范围内，是本领域技术人员亟需解决的技术问题。

技术实现思路

[0004]本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本技术在于提出一种研磨液供给系统，有利于减小搅拌机运行的影响，将研磨液的温度控制在工艺允许范围内，有利于保证双面研磨机工作的可靠性。
[0005]根据本技术实施例的研磨液供给系统，包括：研磨桶，所述研磨桶具有适于存放研磨液的存放腔，所述存放腔内设有搅拌机，所述本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种研磨液供给系统，其特征在于，包括：研磨桶，所述研磨桶具有适于存放研磨液的存放腔，所述存放腔内设有搅拌机，所述研磨桶的底部具有与双面研磨机连通的排液口；降温装置，所述降温装置包括冷却管和第一控制阀，所述冷却管设于所述研磨桶内，所述冷却管环绕所述搅拌机设置，所述冷却管和所述第一控制阀与冷却水源连通；温度检测装置，所述温度检测装置设于所述存放腔内，所述温度检测装置用于检测所述研磨液的温度；控制装置，所述控制装置分别与所述第一控制阀和所述温度检测装置通讯相连，当所述温度检测装置检测到所述研磨液的温度大于预设温度时，控制所述第一控制阀打开以使得冷却水在所述冷却管内循环。2.根据权利要求1所述的研磨液供给系统，其特征在于，还包括：多个连接条，所述冷却管呈螺旋状，所述冷却管的外沿通过多个所述连接条与所述研磨桶的内壁相连，多个所述连接条在所述研磨桶的周向上间隔开排布。3.根据权利要求2所述的研磨液供给系统，其特征在于，所述连接条包括第一段和第二段，所述第一段和所述第二段相连且呈钝角设置。4.根据权利要求1所述的研磨液供给系统，其特征在于，在所述研磨桶的径向方向上，所述温度检测装置与所述冷却管之间的距离为50mm
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100mm。5.根据权利要求1所述的研磨液供给系统，其特征在于，还包括：液位检测装置和第...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁友纪，田野，
申请(专利权)人：徐州鑫晶半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：