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本实用新型公开了一种研磨液供给系统，包括：研磨桶，研磨桶具有适于存放研磨液的存放腔，存放腔内设有搅拌机，研磨桶的底部具有与双面研磨机连通的排液口；降温装置，降温装置包括冷却管和第一控制阀，冷却管设于研磨桶内，冷却管环绕搅拌机设置，冷却管和第...
该专利属于徐州鑫晶半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过徐州鑫晶半导体科技有限公司授权不得商用。

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