本实用新型专利技术公开了一种晶圆清洗设备用保护装置，包括清洗台，所述清洗台上端外表面设置有支撑柱，所述支撑柱上端外表面固定连接有支撑板，所述支撑板上方设置有移动板，所述移动板前后端靠近下端的位置均固定连接有连接件，所述支撑板前端开设有螺纹孔，所述连接件前端外表面与螺纹孔对应位置设置有螺栓，所述螺栓与螺纹孔相互匹配且螺纹连接；滑块在滑槽内部的滑动带动移动板的滑动，便于调节两组移动板之间的距离，方便固定块对晶圆的卡和固定，当对晶圆清洗时，首先根据晶圆的大小来移动两组移动板4来调节两者之间的距离，使固定块能够对晶圆进行卡和，然后使螺栓固定在合适的螺纹孔之中，从而视线对移动板的固定。从而视线对移动板的固定。从而视线对移动板的固定。
【技术实现步骤摘要】
一种晶圆清洗设备用保护装置
[0001]本技术属于半导体晶圆清洗相关
，具体涉及一种晶圆清洗设备用保护装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能之IC产品，钣金是一种针对金属薄板(通常在6mm以下)的综合冷加工工艺，包括剪、冲/切/复合、折、焊接、铆接、拼接、成型(如汽车车身)等，通过钣金工艺加工出的产品叫做钣金件，在晶圆的加工过程中，通常需要对晶圆进行多次的清洗，现有技术中，将晶圆放置到清洗设备的清洗台上，在清洗时无法对其进行固定，清洗完毕后，因溶剂的粘性，往往使得晶圆粘在花篮底部，不易取出。
技术实现思路
[0003]本技术的目的在于提供一种晶圆清洗设备用保护装置，以解决上述
技术介绍
中提出的技术问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种晶圆清洗设备用保护装置，包括清洗台，所述清洗台上端外表面设置有支撑柱，所述支撑柱上端外表面固定连接有支撑板，所述支撑板上方设置有移动板，所述移动板前后端靠近下端的位置均固定连接有连接件，所述支撑板前端开设有螺纹孔，所述连接件前端外表面与螺纹孔对应位置设置有螺栓，所述螺栓与螺纹孔相互匹配且螺纹连接，所述移动板一侧外表面固定连接有固定块，所述支撑柱上端外表面中间靠近两侧的位置均开设有滑槽，当对晶圆清洗时，首先根据晶圆的大小来移动两组移动板来调节两者之间的距离，使固定块能够对晶圆进行卡和，然后通过螺栓进行固定，两组移动板之间的距离可以对不同大小的晶圆进行固定，防止在清洗的时候难以取出。
[0005]优选的，所述移动板下端外表面中间位置固定连接有滑块，所述滑块与滑槽相互匹配且滑块位于滑槽内部，所述移动板通过滑块与支撑板滑动连接，通过滑块在滑槽内部的滑动带动移动板的滑动，便于调节两组移动板之间的距离，方便对晶圆的卡和固定。
[0006]优选的，所述移动板的数量为两组，且其连接结构完全相同，通过两组移动板对晶圆的两端进行卡和固定，方便固定。
[0007]优选的，所述螺纹孔数量为若干组，且其均与螺栓相匹配，通过若干组螺纹孔，当不同大小的晶圆固定之后，可使螺栓固定在不同的螺纹孔之中，从而对移动板进行固定。
[0008]优选的，所述固定块的数量为若干组，且其大小完全相同，每一组所述固定块外表面均胶结有海绵层，通过海绵层，能够在固定晶圆时对晶圆进行防护，防止晶圆受损。
[0009]优选的，所述支撑柱下端固定连接有固定件，所述固定件上端设置有锁紧螺母，所述锁紧螺母贯穿固定件延伸至清洗台内部，通过固定件与锁紧螺母，使支柱方便安装与拆
卸。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：
[0011]本技术通过滑块在滑槽内部的滑动带动移动板的滑动，便于调节两组移动板之间的距离，方便固定块对晶圆的卡和固定，当对晶圆清洗时，首先根据晶圆的大小来移动两组移动板4来调节两者之间的距离，使固定块能够对晶圆进行卡和，然后使螺栓固定在合适的螺纹孔之中，从而视线对移动板的固定，防止在清洗的时候贴合到清洗台表面难以取出，海绵层能够在固定晶圆时对晶圆进行防护，防止晶圆受损，且通过固定件与锁紧螺母，使支柱方便安装与拆卸。
附图说明
[0012]图1为本技术的结构示意图；
[0013]图2为本技术支撑柱与移动板结构示意图；
[0014]图3为本技术移动板结构示意图。
[0015]图中：1、清洗台；2、支撑柱；21、固定件；22、锁紧螺母；3、支撑柱；4、移动板；41、滑块；5、连接件；6、螺纹孔；7、螺栓；8、固定块；9、滑槽。
具体实施方式
[0016]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0017]请参阅图1
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3，本技术提供一种技术方案：一种晶圆清洗设备用保护装置，包括清洗台1，所述清洗台1上端外表面设置有支撑柱2，所述支撑柱2上端外表面固定连接有支撑板3，所述支撑板3上方设置有移动板4，所述移动板4前后端靠近下端的位置均固定连接有连接件5，所述支撑板3前端开设有螺纹孔6，所述连接件5前端外表面与螺纹孔6对应位置设置有螺栓7，所述螺栓7与螺纹孔6相互匹配且螺纹连接，所述移动板4一侧外表面固定连接有固定块8，所述支撑柱2上端外表面中间靠近两侧的位置均开设有滑槽9，当对晶圆清洗时，首先根据晶圆的大小来移动两组移动板4来调节两者之间的距离，使固定块8能够对晶圆进行卡和，然后通过螺栓7进行固定，两组移动板4之间的距离可以对不同大小的晶圆进行固定，防止在清洗的时候难以取出。
[0018]进一步，所述移动板4下端外表面中间位置固定连接有滑块41，所述滑块41与滑槽9相互匹配且滑块41位于滑槽9内部，所述移动板4通过滑块41与支撑板3滑动连接，通过滑块41在滑槽9内部的滑动带动移动板4的滑动，便于调节两组移动板4之间的距离，方便对晶圆的卡和固定。
[0019]进一步，所述移动板4的数量为两组，且其连接结构完全相同，通过两组移动板4对晶圆的两端进行卡和固定，方便固定。
[0020]进一步，所述螺纹孔6数量为若干组，且其均与螺栓7相匹配，通过若干组螺纹孔6，当不同大小的晶圆固定之后，可使螺栓7固定在不同的螺纹孔6之中，从而对移动板4进行固定。
[0021]进一步，所述固定块8的数量为若干组，且其大小完全相同，每一组所述固定块8外表面均胶结有海绵层，通过海绵层，能够在固定晶圆时对晶圆进行防护，防止晶圆受损。
[0022]进一步，所述支撑柱2下端固定连接有固定件21，所述固定件21上端设置有锁紧螺母22，所述锁紧螺母22贯穿固定件21延伸至清洗台1内部，通过固定件21与锁紧螺母22，使支撑柱2方便安装与拆卸。
[0023]本技术的工作原理及使用流程：本技术安装好过后，滑块41在滑槽9内部的滑动带动移动板4的滑动，使得两组移动板4可以向两侧移动，两组移动板4之间的距离可根据晶圆的大小进行调节，便于固定块8对不同大小的晶圆进行固定，当固定块8固定晶圆之后，通过螺栓7与合适的螺纹孔6的连接，实现移动板4的固定，防止在清洗的时候贴合到清洗台1表面难以拿出，海绵层能够在固定晶圆时对晶圆进行防护，防止晶圆受损，通过固定件21与锁紧螺母22，使支撑柱2方便安装与拆卸。
[0024]尽管已经示出和描述了本技术的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本技术的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本技术的范围由所附权利要求及其等同物限定。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种晶圆清洗设备用保护装置，包括清洗台（1），其特征在于：所述清洗台（1）上端外表面设置有支撑柱（2），所述支撑柱（2）上端外表面固定连接有支撑板（3），所述支撑板（3）上方设置有移动板（4），所述移动板（4）前后端靠近下端的位置均固定连接有连接件（5），所述支撑板（3）前端开设有螺纹孔（6），所述连接件（5）前端外表面与螺纹孔（6）对应位置设置有螺栓（7），所述螺栓（7）与螺纹孔（6）相互匹配且螺纹连接，所述移动板（4）一侧外表面固定连接有固定块（8），所述支撑柱（2）上端外表面中间靠近两侧的位置均开设有滑槽（9）。2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗设备用保护装置，其特征在于：所述移动板（4）下端外表面中间位置固定连接有滑块（41），所述滑块（41）与滑槽（9）相互匹配且滑块（41）...
【专利技术属性】
技术研发人员：马聪，费志明，李刚，
申请(专利权)人：苏州市相城区兴业电器成套设备有限公司，
类型：新型
国别省市：
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