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本实用新型公开了一种晶圆清洗设备用保护装置，包括清洗台，所述清洗台上端外表面设置有支撑柱，所述支撑柱上端外表面固定连接有支撑板，所述支撑板上方设置有移动板，所述移动板前后端靠近下端的位置均固定连接有连接件，所述支撑板前端开设有螺纹孔，所述连...
该专利属于苏州市相城区兴业电器成套设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州市相城区兴业电器成套设备有限公司授权不得商用。

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