本发明专利技术公开了一种具有热电偶侧插孔的热处理载盘，包括带有支撑脚的安装座，所述安装座的内腔设置有碳化矽基座，所述碳化矽基座上设有凸圆，所述凸圆设有若干组可供热点偶插接的插孔，所述碳化矽基座和安装座与每组所述插孔相对应设置有通孔，所述安装座下端与每组所述通孔相对应的位置上均通过销轴转动设置有可对通孔进行密封的密封板，所述安装座的上端安装有可盖住所述安装座上端并可进行折叠的盖板组件。本发明专利技术所述的一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘，本载盘其可以减小翘曲的晶圆外表面的温差，从而提高晶圆的均匀受热程度，可保护内部碳化矽基座和凸圆不受外来伤害，且方便本盖板组件与安装座的拆装的同时可减小盖板组件的占用空间。盖板组件的占用空间。盖板组件的占用空间。
【技术实现步骤摘要】
一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘
[0001]本专利技术涉及热处理炉载盘
，特别涉及一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘。
技术介绍
[0002]目前UV波长发光二极体(LED)磊晶制程程序中；氮化镓(GaN)薄膜透过有机金属化学气相沉积(MOCVD)成长于2寸的蓝宝石晶圆上，因膜厚比一般LED较高，且成膜时因中心与边缘膜厚的变异、温度、热膨胀系数差异
…
等等，造成晶圆形成类似锅盖的翘曲，由于晶圆的翘曲会造成蓝宝石晶圆温度的不均匀，造成快速热处理膜面活化制程活化不均，且由于碳化矽基座成本过高而其载盘上未设置基座保护机构以防止基座损坏，故此，我们提出一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘来解决此问题。
技术实现思路
[0003]本专利技术的主要目的在于提供一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘，可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采取的技术方案为：
[0005]一种具有热电偶侧插孔的热处理载盘，包括带有支撑脚的安装座，所述安装座的内腔设置有碳化矽基座，所述碳化矽基座上设有碳化矽材料或矽晶圆制成的凸圆且所述凸圆的直径设置为31.5mm，厚度设置为0.16mm，所述凸圆设有若干组可供热点偶插接的插孔，所述碳化矽基座和安装座与每组所述插孔相对应设置有通孔，所述安装座下端与每组所述通孔相对应的位置上均通过销轴转动设置有可对通孔进行密封的密封板，所述安装座的上端安装有可盖住所述安装座上端并可进行折叠的盖板组件且所述盖板组件位于壳体内腔的部件与所述壳体内腔设置有可实现盖板组件与所述安装座插接固定的插接件啮合连接，两组所述壳体之间设置有驱动件且所述驱动件与所述盖板组件啮合连接，两组所述壳体的内腔均设置有可对驱动件形成阻挡定位的定位件。
[0006]优选的，所述盖板组件包括第一盖板，所述第一盖板的两端上均转动设有转轴且两组所述转轴均通过L型板与两组第二盖板连接连接，两组所述转轴上且位于所述壳体的内腔均固定套接有蜗轮和驱动齿轮，所述第一盖板的下端呈对称设置有若干组与所述安装座上端插接的限位柱。
[0007]优选的，两组所述第二盖板的上端均设置有若干组其端部可与第一盖板的上端接触并使得第二盖板与所述第一盖板平行设置的支撑柱。
[0008]优选的，所述插接件包括固定设置在所述壳体上的圆管，所述圆管的内腔滑动设置有插接柱且所述插接柱位于所述圆管的外端与所述安装座插接，所述插接柱的内腔螺纹连接有螺纹杆且所述螺纹杆的另一端位于所述壳体的内腔并与其转动连接，所述螺纹杆的端部上固定套接有与所述驱动齿轮啮合连接的从动齿轮。
[0009]优选的，所述驱动件包括手握杆，所述手握杆的前后端上均呈对称固定有卡环且
两组所述卡环分别与两组所述壳体转动卡接，所述手握杆的两端均设置有呈与圆周排列的若干组第一限位齿，所述手握杆的两端均固定设置有与所述蜗轮啮合连接的蜗杆，同侧若干组所述第一限位齿位于所述蜗杆的外围。
[0010]优选的，所述手握杆的外表面上通过粘黏剂固定有弹性缓冲套且所述弹性缓冲套的外壁上设置有若干组与所述手握杆平行设置的摩擦凸条。
[0011]优选的，所述定位件包括套接在蜗杆上的第一圆环和第二圆环，所述第一圆环与所述壳体的内腔壁固定连接，所述第二圆环滑动设置在所述壳体的内腔，所述第一圆环和第二圆环之间通过弹簧固定连接，所述第二圆环的端面上呈圆轴设置有若干组第二限位齿，若干组所述第二限位齿插接在若干组所述第一限位齿之间设有的插接空隙内。
[0012]优选的，所述安装座的凹槽内设置有可将若干组所述支撑脚同时收纳至所述凹槽内腔的调节组件。
[0013]优选的，所述调节组件包括与若干组支撑脚相对应设置的若干组螺杆，若干组所述螺杆转动设置在相对应的所述凹槽内，若干组所述螺杆上均螺纹套接有螺纹管且两组所述螺纹管与相对应的所述支撑脚之间均通过活动杆转动连接，若干组所述螺杆的相对端均通过齿轮与驱动杆啮合连接，若干组所述支撑脚均分别转动设置在相对应的凹槽内。
[0014]与现有技术相比，本专利技术具有如下有益效果：
[0015]1、在碳化矽基座上设置有直径为31.5mm的碳化矽材料或矽晶圆制成的凸圆，其可以减小翘曲的晶圆外表面的温差，从而提高晶圆的均匀受热程度。
[0016]2、设置有盖板组件、定位件、驱动件、插接件和限位柱，利用第一盖板和第二盖板将安装座上端密封可保护内部碳化矽基座和凸圆不受外来伤害，且方便本盖板组件与安装座的拆装的同时可减小盖板组件的占用空间。
[0017]3、两组第二盖板的上端均设置有若干组其端部可与第一盖板的上端接触并使得第二盖板与第一盖板平行设置的支撑柱，便于第一盖板对第二盖板折叠后形成良好地支撑，防止盖板被压坏。
[0018]4、可对安装座底部设置的支撑脚进行收纳，进一步减小占用空间。
[0019]5、设置可对通孔进行密封的密封板，可防止污染物进入插孔造成插孔堵塞，避免后续测温时需要进行清理操作。
附图说明
[0020]图1为本专利技术一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘的整体结构示意图；
[0021]图2为本专利技术一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘的局部拆分图；
[0022]图3为本专利技术一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘的仰视结构示意图；
[0023]图4为本专利技术一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘的壳体截面结构图；
[0024]图5为本专利技术一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘的定位件结构示意图；
[0025]图6为本专利技术一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘的插接件结构示意图；
[0026]图7为本专利技术一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘的除尘器的内部结构示意图；
[0027]图8为本专利技术一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘的驱动件结构示意图；
[0028]图9为本专利技术一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘的调节组件结构示意图。
[0029]图中：1、安装座；2、调节组件；21、螺杆；22、螺纹管；23、活动杆；24、齿轮；25、驱动杆；3、碳化矽基座；4、凸圆；5、盖板组件；51、第二盖板；52、第一盖板；53、转轴；54、L型板；55、蜗轮；56、驱动齿轮；6、壳体；7、定位件；71、第一圆环；72、弹簧；73、第二圆环；74、第二限位齿；8、驱动件；81、手握杆；82、卡环；83、蜗杆；84、第一限位齿；9、插接件；91、从动齿轮；92、圆管；93、螺纹杆；94、插接柱；10、支撑脚；11、支撑柱；12、密封板；13、限位柱。
具体实施方式
[0030]为使本专利技术实现的技术手段、创作特征、达成目的与功效易于明白了解，下面结合具体实施方式，进一步阐述本专利技术。
[0031]在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“内”、“外”“前端”、“后端”、“两端”、“一端”、“另一端”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有热电偶侧插孔的热处理载盘，包括带有支撑脚(10)的安装座(1)，所述安装座(1)的内腔设置有碳化矽基座(3)，其特征在于：所述碳化矽基座(3)上设有碳化矽材料或矽晶圆制成的凸圆(4)且所述凸圆(4)的直径设置为31.5mm，厚度设置为0.16mm，所述凸圆(4)设有若干组可供热点偶插接的插孔，所述碳化矽基座(3)和安装座(1)与每组所述插孔相对应设置有通孔，所述安装座(1)下端与每组所述通孔相对应的位置上均通过销轴转动设置有可对通孔进行密封的密封板(12)，所述安装座(1)的上端安装有可盖住所述安装座(1)上端并可进行折叠的盖板组件(5)且所述盖板组件(5)位于壳体(6)内腔的部件与所述壳体(6)内腔设置有可实现盖板组件(5)与所述安装座(1)插接固定的插接件(9)啮合连接，两组所述壳体(6)之间设置有驱动件(8)且所述驱动件(8)与所述盖板组件(5)啮合连接，两组所述壳体(6)的内腔均设置有可对驱动件(8)形成阻挡定位的定位件(7)。2.根据权利要求1所述的一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘，其特征在于：所述盖板组件(5)包括第一盖板(52)，所述第一盖板(52)的两端上均转动设有转轴(53)且两组所述转轴(53)均通过L型板(54)与两组第二盖板(51)连接连接，两组所述转轴(53)上且位于所述壳体(6)的内腔均固定套接有蜗轮(55)和驱动齿轮(56)，所述第一盖板(52)的下端呈对称设置有若干组与所述安装座(1)上端插接的限位柱(13)。3.根据权利要求2所述的一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘，其特征在于：两组所述第二盖板(51)的上端均设置有若干组其端部可与第一盖板(52)的上端接触并使得第二盖板(51)与所述第一盖板(52)平行设置的支撑柱(11)。4.根据权利要求2或3所述的一种具有热电偶侧插孔的热处理炉载盘，其特征在于：所述插接件(9)包括固定设置在所述壳体(6)上的圆管(92)，所述圆管(92)的内腔滑动设置有插接柱(94)且所述插接柱(94)位于所述圆管(92)的外端与所述安装座(1)插接，所述插接柱(94)的内腔螺纹连接有螺纹杆(93)且所述螺纹杆(93)的另一端位于所述壳体(6)的内腔并与其转动...
【专利技术属性】
技术研发人员：林锦辉，许志宏，李奕攸，萧志斌，赖政志，
申请(专利权)人：苏州芯默科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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