一种以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法技术

技术编号:32082407 阅读:12 留言:0更新日期:2022-01-29 18:00
本发明专利技术公开了一种以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法,包括以下操作设备来实现电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法;温控检测显示操作平台内设有温度控制系统,通过温度控制系统显示升温炉内温度对输出的电流值进行记录,计算输出的电流值与升温炉内的温度形的比例,通过温度控制系统控制输出电流值即时监控升温炉内温度。本发明专利技术以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法,不仅能够提高对电流数值监控的准确性,而且能够让使用者及时的发现监控的数值与实际的数值不匹配,并且设置的对比整流监控模块能够在整流监控模块检测数值准确时代替使用,不仅保证产品的正常制作而且还降低用户的损失。制作而且还降低用户的损失。

【技术实现步骤摘要】
一种以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法


[0001]本专利技术涉及快速升温炉制程状态的方法领域,特别涉及一种以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法。

技术介绍

[0002]物质存在的形式多种多样,固体、液体、气体、等离子体等等,我们通常把导电性差的材料,如煤、人工晶体、琥珀、陶瓷等称为绝缘体,而把导电性比较好的金属如金、银、铜、铁、锡、铝等称为导体,可以简单的把介于导体和绝缘体之间的材料称为半导体,半导体是指在常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料,半导体是指一种导电性可控,范围从绝缘体到导体之间的材料,而半导体的制作需要快速升温电炉进行熔炼制作,快速升温电炉升温速度每分钟大于 20度

30度,在半导体的制作过程中使用十分的普遍。
[0003]但现在的以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法,在监控时监控的电流值与实际的电流值匹配时,不能让使用者及时的发现问题,并且会导致因为电流值的改变会导致制作产品损坏,而且产生错误的电流值及时暂停使用时会对生产的产品造成损毁对用户造成大量的损失。

技术实现思路

[0004]本专利技术的主要目的在于提供一种以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法,可以有效解决
技术介绍
中的问题。
[0005]为实现上述目的,本专利技术采取的技术方案为:
[0006]一种以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法,包括以下操作设备来实现电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法;
[0007]温控检测显示操作平台,温控检测显示操作平台内设有温度控制系统,通过温度控制系统显示升温炉内温度对输出的电流值进行记录,计算输出的电流值与升温炉内的温度形的比例,通过温度控制系统控制输出电流值即时监控升温炉内温度;
[0008]整流监控模块,前提在电流输出值的稳定性必须得到保证后,通过采集整流控制板中的反馈电压,再通过转换公式计算出实际电流,从而达到电流实时监控的目的;
[0009]霍尔电流传感装置,将霍尔电流传感装置连接在输出电缆上,输出的电流通过霍尔电流传感器传出电压,传出电压到模拟量采集模块,最后模拟量采集模块通过串口线反馈给整流监控模块;
[0010]电流输出控制模块,电流输出控制模块安装在电缆上,通过温控检测显示操作平台通过串口线值控制电流输出控制模块输出的电流;
[0011]对比整流监控模块,与整流监控模块电流监控方法同时使用和对比,减少电流监测误差;以及
[0012]霍尔电流传感装置通过串口线并连对比整流监控模块和整流监控模块,对比整流监控模块和整流监控模块通过串口线与温控检测显示操作平台电性连接,电流输出控制模
块通过串口线与温控检测显示操作平台电性连接。
[0013]优选的,所述温控检测显示操作平台还包括操作界面按钮、紧急切断开关和故障报警装置。
[0014]优选的,所述温度控制系统记录每次输出的电流值与升温炉内的温度进行存储计算比例值,对每次的电流值记录进网与温度值进行对比。
[0015]优选的,所述模拟量采集模块采集霍尔电流传感装置监测电缆上的压进行显示,整流监控模块通过串口线模拟量采集模块进行调试,对监测压与反馈的电压进行对比。
[0016]优选的,所述整流监控模块通过以知的电压套用公式来计算出电流,对计算的电流与对比整流监控模块计算的电流对比,将计算数值与计算误差通过串口线反馈给温控检测显示操作平台。
[0017]优选的,所述采集整流控制板属于整流监控模块中心电路板,内部储存整流监控系统。
[0018]优选的,所述在整流监控模块计算监控的数值与实值不一致的情况,整流监控模块将会出现电流监控值被锁死的状态,而对比整流监控模块将代替整流监控模块继续运行。
[0019]优选的,所述当整流监控模块锁死温控检测显示操作平台报警装置启动,从而让使用者及时发现问题。
[0020]与现有技术相比,本专利技术具有如下有益效果:
[0021]本专利技术以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法,不仅能够提高对电流数值监控的准确性,而且能够让使用者及时的发现监控的数值与实际的数值不匹配,并且设置的对比整流监控模块能够在整流监控模块检测数值准确时代替使用,不仅保证产品的正常制作而且还降低用户的损失。
具体实施方式
[0022]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白,对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解,此处描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术,并不用于限定本专利技术。
[0023]本
技术人员可以理解,除非特意声明,这里使用的单数形式“一”、“一个”、“所述”和“该”也可包括复数形式,这里使用的“第一”、“第二”仅用于区别同一技术特征,并不对该技术特征的顺序和数量等加以限定。应该进一步理解的是,本专利技术的说明书中使用的措辞“包括”是指存在所述特征、整数、步骤、操作、元件和/或组件,但是并不排除存在或添加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、元件、组件和/或它们的组。本
技术人员可以理解,除非另外定义,这里使用的所有术语包括技术术语和科学术语),具有与本专利技术所属领域中的普通技术人员的一般理解相同的意义。还应该理解的是,诸如通用字典中定义的那些术语,应该被理解为具有与现有技术的上下文中的意义一致的意义,并且除非像这里一样被特定定义,否则不会用理想化或过于正式的含义来解释。
[0024]一种以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法,包括以下操作设备来实现电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法;
[0025]温控检测显示操作平台,温控检测显示操作平台内设有温度控制系统,通过温度控制系统显示升温炉内温度对输出的电流值进行记录,计算输出的电流值与升温炉内的温
度形的比例,通过温度控制系统控制输出电流值即时监控升温炉内温度;
[0026]整流监控模块,前提在电流输出值的稳定性必须得到保证后,通过采集整流控制板中的反馈电压,再通过转换公式计算出实际电流,从而达到电流实时监控的目的;
[0027]霍尔电流传感装置,将霍尔电流传感装置连接在输出电缆上,输出的电流通过霍尔电流传感器传出电压,传出电压到模拟量采集模块,最后模拟量采集模块通过串口线反馈给整流监控模块;
[0028]电流输出控制模块,电流输出控制模块安装在电缆上,通过温控检测显示操作平台通过串口线值控制电流输出控制模块输出的电流;
[0029]对比整流监控模块,与整流监控模块电流监控方法同时使用和对比,减少电流监测误差;以及
[0030]霍尔电流传感装置通过串口线并连对比整流监控模块和整流监控模块,对比整流监控模块和整流监控模块通过串口线与温控检测显示操作平台电性连接,电流输出控制模块通过串口线与温控检测显示操作平台电性连接。
[0031]其中,霍尔电流传感装置是一种采用半导体材料制成的磁电转换器件,如果在输入端通入控制电流IC,当有一磁场B穿过该器件感磁面,则在输出端出现霍尔电势VH,霍尔电势VH的大小与控制电流 IC和磁通密度B本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法,其特征在于:包括以下操作设备来实现电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法;温控检测显示操作平台,温控检测显示操作平台内设有温度控制系统,通过温度控制系统显示升温炉内温度对输出的电流值进行记录,计算输出的电流值与升温炉内的温度形的比例,通过温度控制系统控制输出电流值即时监控升温炉内温度;整流监控模块,前提在电流输出值的稳定性必须得到保证后,通过采集整流控制板中的反馈电压,再通过转换公式计算出实际电流,从而达到电流实时监控的目的;霍尔电流传感装置,将霍尔电流传感装置连接在输出电缆上,输出的电流通过霍尔电流传感器传出电压,传出电压到模拟量采集模块,最后模拟量采集模块通过串口线反馈给整流监控模块;电流输出控制模块,电流输出控制模块安装在电缆上,通过温控检测显示操作平台通过串口线值控制电流输出控制模块输出的电流;对比整流监控模块,与整流监控模块电流监控方法同时使用和对比,减少电流监测误差;以及霍尔电流传感装置通过串口线并连对比整流监控模块和整流监控模块,对比整流监控模块和整流监控模块通过串口线与温控检测显示操作平台电性连接,电流输出控制模块通过串口线与温控检测显示操作平台电性连接。2.根据权利要求1所述的一种以电流值即时监控快速升温炉制程状态的方法,其特征在于:所述温控检测显示操作平台还包括操作界面按钮、紧急切断开关和故障报警装置。3.根...

【专利技术属性】
技术研发人员:林锦辉赖政志萧志斌许志宏
申请(专利权)人:苏州芯默科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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