一种用于晶片检测的托盘制造技术

本实用新型专利技术公开了一种用于晶片检测的托盘，涉及晶片检测辅助工具技术领域。包括底座和旋转部；底座与显微镜的载物台固定连接；底座顶部设置有圆形凹槽；旋转部为圆环形，顶部设置有凹陷的晶片放置区，底部设置有圆形凸台；旋转部侧壁开设有用于吸笔进出的缺口；圆形凸台转动设置于圆形凹槽内；当晶片放置到晶片放置区后，显微镜的镜头正好对准晶片的边缘位置。本实用新型专利技术将托盘边缘与镜头对准，通过旋转上部的旋转部即可快速检查边缘，无须再进行前后左右调节，操作简单快捷。操作简单快捷。操作简单快捷。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶片检测的托盘


[0001]本技术涉及晶片检测辅助工具
，特别涉及一种用于晶片检测的托盘。

技术介绍

[0002]晶片经清洗后要对其进行边缘检查，目前，边缘检查是利用显微镜进行检查。检查前先使用吸笔将晶片放置到托盘(现有托盘是采用量产的圆盒然后将晶圆放置在里面，只采用盒底，不用盒盖，盒底需要进行处理以便吸笔可以取放晶片)上，再将托盘放置到显微镜的载物台上，通过在载物台上前后左右的调节托盘位置来观察边缘，动作繁琐，且浪费时间。

技术实现思路

[0003]本技术主要目的在提供一种用于晶片检测的托盘，以解决上述问题。
[0004]为达上述目的，本技术提供一种用于晶片检测的托盘，包括底座和旋转部；所述底座与显微镜的载物台固定连接；所述底座顶部设置有圆形凹槽；所述旋转部为圆环形，顶部设置有凹陷的晶片放置区，底部设置有圆形凸台；所述旋转部侧壁开设有用于吸笔进出的缺口；所述圆形凸台转动设置于圆形凹槽内；当晶片放置到晶片放置区后，显微镜的镜头正好对准晶片的边缘位置。
[0005]进一步的，所述圆形凸台与圆形凹槽之间通过轴承连接。
[0006]进一步的，还包括固定装置，所述底座通过固定装置与显微镜的载物台固定连接。
[0007]进一步的，所述固定装置两个固定杆，固定杆一端垂直设置有用于夹持载物台侧壁的限位板；所述底座侧壁上开设有两条平行设置的滑道；两个固定杆分别滑动插设于两条滑道内；所述底座垂直于滑道方向的两端均设置有螺纹孔；所述两端的螺纹孔分别与两条滑道内部连通；所述螺纹孔内螺接有用于限制固定杆滑动的顶丝。
[0008]进一步的，所述限位板顶部设置有转轴，所述限位板通过转轴与固定杆转动连接。
[0009]进一步的，限位板靠近载物台的一侧设置有防滑垫或防滑纹。
[0010]本技术具有以下有益效果：
[0011]本技术将托盘边缘与镜头对准，通过旋转上部的旋转部即可快速检查边缘，无须再进行前后左右调节，操作简单快捷。本技术通过设置固定装置实现了托盘的前后左右固定，通过转动设置的限位板，能够适应多种形状的载物台。
附图说明
[0012]图1为本技术提出的一种用于晶片检测的托盘的安装示意图；
[0013]图2为本技术提出的一种用于晶片检测的托盘的爆炸图。
[0014]图中：1
‑
旋转部；2
‑
底座；3
‑
固定装置；4
‑
显微镜；5
‑
轴承；6
‑
顶丝；11
‑
缺口；12
‑
晶片放置区；13
‑
圆形凸台；21
‑
圆形凹槽；22
‑
滑道；23
‑
螺纹孔；31
‑
固定杆；32
‑
限位板；33
‑
防
滑垫。
具体实施方式
[0015]为达成上述目的及功效，本技术所采用的技术手段及构造，结合附图就本技术较佳实施例详加说明其特征与功能。
[0016]如图1
‑
2所示，本技术中提供了一种用于晶片检测的托盘，包括底座2和旋转部1；所述底座2与显微镜4的载物台固定连接；所述底座2顶部设置有圆形凹槽21；所述旋转部1为圆环形，顶部设置有凹陷的晶片放置区12，底部设置有圆形凸台13；所述旋转部1侧壁开设有用于吸笔进出的缺口11；所述圆形凸台13转动设置于圆形凹槽21内；当晶片放置到晶片放置区12后，显微镜4的镜头正好对准晶片的边缘位置，本实施例中，如图1所示，显微镜4的镜头正好对准晶片左侧的边缘位置，便于在右侧取放晶片。
[0017]使用时，使用吸笔将晶片从缺口11送到晶片放置区12上，由于显微镜4的镜头正好对准晶片左侧的边缘位置，因此，可以直接开始边缘检测，通过转动旋转部，使晶片的边缘不断进入镜头视野中，旋转一圈，即可完成边缘检测；检测完成后，将吸笔从缺口11进入将晶片吸起取走，再进行下一晶片检测，操作简单快捷。
[0018]在另一实施例中，所述圆形凸台13与圆形凹槽21之间通过轴承5连接，以提升转动效果。
[0019]在另一实施例中，还包括固定装置3，所述底座2通过固定装置3与显微镜4的载物台固定连接。当然，除本实施例外，还可以采用胶接、焊接等形式对底座2固定。
[0020]作为优选实施例，所述固定装置3两个固定杆31，固定杆31一端垂直设置有用于夹持载物台侧壁的限位板32；所述底座2侧壁上开设有两条平行设置的滑道22；两个固定杆31分别滑动插设于两条滑道22内；所述底座2垂直于滑道22方向的两端均设置有螺纹孔23；所述两端的螺纹孔23分别与两条滑道22内部连通；所述螺纹孔23内螺接有用于限制固定杆31滑动的顶丝6。
[0021]通过固定装置3进行固定时，在晶片放置区12上预先放置一个晶片，然后调整底座2的位置，通过显微镜4观察位置，当正好能够看到晶片的边缘位置时，停止调整，将两个固定杆31分别插于两条滑道22内，使两个限位板32分别抵接载物台两侧，然后通过顶丝6对固定杆31锁死固定，即可完成固定过程，托盘便可正常使用。
[0022]在另一实施例中，所述限位板32顶部设置有转轴，所述限位板32通过转轴与固定杆31转动连接。通过转动设置的限位板，能够紧密贴合载物台侧壁，以适应多种形状的载物台，如多边形。
[0023]在另一实施例中，限位板32靠近载物台的一侧设置有防滑垫33或防滑纹，本实施例中为防滑垫33，以增强限位板32与载物台侧壁之间的固定效果。
[0024]以上所述仅为本技术较佳实施例而已，非全部实施例，任何人应该得知在本技术的启示下做出的结构变化，凡是与本技术具有相同或者相近似的技术方案，均属于本技术的保护范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶片检测的托盘，其特征在于，包括底座和旋转部；所述底座与显微镜的载物台固定连接；所述底座顶部设置有圆形凹槽；所述旋转部为圆环形，顶部设置有凹陷的晶片放置区，底部设置有圆形凸台；所述旋转部侧壁开设有用于吸笔进出的缺口；所述圆形凸台转动设置于圆形凹槽内；当晶片放置到晶片放置区后，显微镜的镜头正好对准晶片的边缘位置。2.如权利要求1所述的一种用于晶片检测的托盘，其特征在于，所述圆形凸台与圆形凹槽之间通过轴承连接。3.如权利要求1或2所述的一种用于晶片检测的托盘，其特征在于，还包括固定装置，所述底座通过固定装置与显微镜的载物台固定连接。4.如权利要求3...

【专利技术属性】
技术研发人员：张华，任殿胜，张月，
申请(专利权)人：保定通美晶体制造有限责任公司，
类型：新型
国别省市：