【技术实现步骤摘要】
一种便于调节载片量的硅舟
[0001]本技术涉及硅舟
，具体为一种便于调节载片量的硅舟。
技术介绍
[0002]硅舟，又称硅片承载舟，是用于集成电路生产线的湿法洗净设备中的硅片承载的专用工具，硅片放在承载舟内，可以在药液中清洗或刻蚀、在纯水中清洗、在干燥机中干燥，硅舟内有间隔相等的沟槽，硅片可以摆放在这些沟槽内。
[0003]现有的硅舟在使用时载片量是一定的，不便于进行调节，为此，我们提出一种便于调节载片量的硅舟。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种便于调节载片量的硅舟，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于调节载片量的硅舟，包括撑板和调节组件，所述撑板左表面中部前后两侧对称固定连接有套杆，且套杆内部开设有滑腔，所述滑腔外侧开设有滑槽，且滑腔内嵌合连接有滑杆，所述滑杆右端外侧固定连接有滑块，且滑杆与套杆表面均开设有承载槽，所述滑杆左端固定连接有底板，且底板左表面对称开设有卡槽，所述撑板右表面上下两侧对称开设有卡腔，且卡腔...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种便于调节载片量的硅舟，包括撑板（1）和调节组件（15），其特征在于，所述撑板（1）左表面中部前后两侧对称固定连接有套杆（2），且套杆（2）内部开设有滑腔（3），所述滑腔（3）外侧开设有滑槽（4），且滑腔（3）内嵌合连接有滑杆（5），所述滑杆（5）右端外侧固定连接有滑块（6），且滑杆（5）与套杆（2）表面均开设有承载槽（7），所述滑杆（5）左端固定连接有底板（8），且底板（8）左表面对称开设有卡槽（9），所述撑板（1）右表面上下两侧对称开设有卡腔（10），且卡腔（10）内固定连接有卡簧（11），所述卡簧（11）内侧固定连接有卡块（12），且卡块（12）左部外侧固定连接有卡杆（13），所述卡杆（13）外侧固定连接有卡板（14），用于调节载片量的所述调节组件（15）设置于撑板（1）左表面四角。2.根据权利要求1所述的一种便于调节载片量的硅舟，其特征在于，所述滑杆（5）通过滑腔（3）与套杆（2）滑动连接，且滑块（6）通过滑杆（5）与滑槽（4）滑动连接，所述滑块（6）通过滑槽（4）与套杆（2）嵌合连接。3.根据权利要求1所述的一种便于调节载片量的硅舟，其特征在于，所述卡块（12）通过卡簧（11）与卡腔（10）弹性连接，且卡杆（13）通过卡腔（10）与撑板（1）滑动连接，所述卡板（14）通过卡腔（10）与撑板（1）嵌合连接。4.根据权利要求1所述的一种便于调节载片量的硅...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵永杰，
申请(专利权)人：杭州跨界耐磨零部件有限公司，
类型：新型
国别省市：
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