一种便于调节载片量的硅舟制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于调节载片量的硅舟，包括撑板和调节组件，所述撑板左表面中部前后两侧对称固定连接有套杆，且套杆内部开设有滑腔，所述滑腔外侧开设有滑槽，且滑腔内嵌合连接有滑杆，所述滑杆右端外侧固定连接有滑块，且滑杆与套杆表面均开设有承载槽，所述滑杆左端固定连接有底板，且底板左表面对称开设有卡槽，所述撑板右表面上下两侧对称开设有卡腔，且卡腔内固定连接有卡簧，所述卡簧内侧固定连接有卡块，且卡块左部外侧固定连接有卡杆，所述卡杆外侧固定连接有卡板，用于调节载片量的所述调节组件设置于撑板左表面四角。本实用新型专利技术通过各部分零件之间的配合，在使用装置时可以根据载片量对装置进行调节，且便于对装置进行组合。装置进行组合。装置进行组合。

【技术实现步骤摘要】
一种便于调节载片量的硅舟


[0001]本技术涉及硅舟
，具体为一种便于调节载片量的硅舟。

技术介绍

[0002]硅舟，又称硅片承载舟，是用于集成电路生产线的湿法洗净设备中的硅片承载的专用工具，硅片放在承载舟内，可以在药液中清洗或刻蚀、在纯水中清洗、在干燥机中干燥，硅舟内有间隔相等的沟槽，硅片可以摆放在这些沟槽内。
[0003]现有的硅舟在使用时载片量是一定的，不便于进行调节，为此，我们提出一种便于调节载片量的硅舟。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种便于调节载片量的硅舟，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种便于调节载片量的硅舟，包括撑板和调节组件，所述撑板左表面中部前后两侧对称固定连接有套杆，且套杆内部开设有滑腔，所述滑腔外侧开设有滑槽，且滑腔内嵌合连接有滑杆，所述滑杆右端外侧固定连接有滑块，且滑杆与套杆表面均开设有承载槽，所述滑杆左端固定连接有底板，且底板左表面对称开设有卡槽，所述撑板右表面上下两侧对称开设有卡腔，且卡腔内固定连接有卡簧，所述卡簧内侧固定连接有卡块，且卡块左部外侧固定连接有卡杆，所述卡杆外侧固定连接有卡板，用于调节载片量的所述调节组件设置于撑板左表面四角。
[0006]进一步的，所述滑杆通过滑腔与套杆滑动连接，且滑块通过滑杆与滑槽滑动连接，所述滑块通过滑槽与套杆嵌合连接。
[0007]进一步的，所述卡块通过卡簧与卡腔弹性连接，且卡杆通过卡腔与撑板滑动连接，所述卡板通过卡腔与撑板嵌合连接。
[0008]进一步的，所述卡块通过卡槽与底板嵌合连接，且卡块通过卡腔与撑板滑动连接。
[0009]进一步的，所述调节组件包括套筒、调节腔、限位槽、限位块、调节杆、嵌槽、嵌环和调节环，所述套筒内开设有调节腔，且调节腔外侧对称开设有限位槽，所述限位槽内嵌合连接有限位块，且限位块之间固定连接有调节杆，所述套筒左表面开设有嵌槽，且嵌槽内嵌合连接有嵌环，所述嵌环外侧固定连接有调节环。
[0010]进一步的，所述限位块通过调节杆与限位槽滑动连接，且调节杆与底板固定连接。
[0011]进一步的，所述调节杆通过调节腔与套筒滑动连接，且调节杆与调节环螺纹连接，所述调节环通过嵌环、嵌槽与套筒转动连接。
[0012]本技术提供了一种便于调节载片量的硅舟，具备以下有益效果：该便于调节载片量的硅舟，通过各部分零件之间的配合，在使用装置时可以根据载片量对装置进行调节，且便于对装置进行组合；
[0013]1、本技术通过套杆的设置，使得在调节装置时，滑杆可以通过滑腔在套杆内
滑动，从而使套杆与滑杆上的承载槽重合，对装置的载片量进行调节，滑块可以通过滑槽对滑杆进行限制，保证在移动前后滑杆不会出现偏斜，避免出现无法将硅片插入承载槽的情况；
[0014]2、本技术通过卡块的设置，使得载片量较大时，可以将两个硅舟进行组合，从而增加载片量，在组合硅舟时，卡块可以在底板的压力作用下在卡腔内滑动，并压缩卡簧，当撑板与底板贴合后，卡块在卡簧的作用下回弹，通过卡槽与底板嵌合，从而对撑板与底板进行固定，而在拆分硅舟时，只需拉动卡板，便可通过卡杆带动卡块在卡腔内滑动，从而解除卡块与卡槽的嵌合状态；
[0015]3、本技术通过调节组件的设置，在调节载片量时，通过嵌环和嵌槽在套筒左端转动调节环，便可带动调节杆在调节腔内滑动，从而通过调节杆带动撑板移动，进而带动滑杆移动，改变载片量，在调节杆移动时，限位块可通过限位槽对调节杆进行限制，避免因调节杆偏移而导致硅舟整体偏斜。
附图说明
[0016]图1为本技术的剖视主视结构示意图；
[0017]图2为本技术的图1中A处放大结构示意图；
[0018]图3为本技术的滑杆立体结构示意图。
[0019]图中：1、撑板；2、套杆；3、滑腔；4、滑槽；5、滑杆；6、滑块；7、承载槽；8、底板；9、卡槽；10、卡腔；11、卡簧；12、卡块；13、卡杆；14、卡板；15、调节组件；1501、套筒；1502、调节腔；1503、限位槽；1504、限位块；1505、调节杆；1506、嵌槽；1507、嵌环；1508、调节环。
具体实施方式
[0020]如图1、图2和图3所示，一种便于调节载片量的硅舟，包括撑板1和调节组件15，撑板1左表面中部前后两侧对称固定连接有套杆2，且套杆2内部开设有滑腔3，滑腔3外侧开设有滑槽4，且滑腔3内嵌合连接有滑杆5，滑杆5右端外侧固定连接有滑块6，且滑杆5与套杆2表面均开设有承载槽7，滑杆5左端固定连接有底板8，且底板8左表面对称开设有卡槽9，滑杆5通过滑腔3与套杆2滑动连接，且滑块6通过滑杆5与滑槽4滑动连接，滑块6通过滑槽4与套杆2嵌合连接，通过套杆2的设置，使得在调节装置时，滑杆5可以通过滑腔3在套杆2内滑动，从而使套杆2与滑杆5上的承载槽7重合，对装置的载片量进行调节，滑块6可以通过滑槽4对滑杆5进行限制，保证在移动前后滑杆5不会出现偏斜，避免出现无法将硅片插入承载槽7的情况。
[0021]如图1所示，撑板1右表面上下两侧对称开设有卡腔10，且卡腔10内固定连接有卡簧11，卡簧11内侧固定连接有卡块12，且卡块12左部外侧固定连接有卡杆13，卡杆13外侧固定连接有卡板14，用于调节载片量的调节组件15设置于撑板1左表面四角，卡块12通过卡簧11与卡腔10弹性连接，且卡杆13通过卡腔10与撑板1滑动连接，卡板14通过卡腔10与撑板1嵌合连接，卡块12通过卡槽9与底板8嵌合连接，且卡块12通过卡腔10与撑板1滑动连接，通过卡块12的设置，使得载片量较大时，可以将两个硅舟进行组合，从而增加载片量，在组合硅舟时，卡块12可以在底板8的压力作用下在卡腔10内滑动，并压缩卡簧11，当撑板1与底板8贴合后，卡块12在卡簧11的作用下回弹，通过卡槽9与底板8嵌合，从而对撑板1与底板8进
行固定，而在拆分硅舟时，只需拉动卡板14，便可通过卡杆13带动卡块12在卡腔10内滑动，从而解除卡块12与卡槽9的嵌合状态。
[0022]如图1和图2所示，调节组件15包括套筒1501、调节腔1502、限位槽1503、限位块1504、调节杆1505、嵌槽1506、嵌环1507和调节环1508，套筒1501内开设有调节腔1502，且调节腔1502外侧对称开设有限位槽1503，限位槽1503内嵌合连接有限位块1504，且限位块1504之间固定连接有调节杆1505，套筒1501左表面开设有嵌槽1506，且嵌槽1506内嵌合连接有嵌环1507，嵌环1507外侧固定连接有调节环1508，限位块1504通过调节杆1505与限位槽1503滑动连接，且调节杆1505与底板8固定连接，调节杆1505通过调节腔1502与套筒1501滑动连接，且调节杆1505与调节环1508螺纹连接，调节环1508通过嵌环1507、嵌槽1506与套筒1501转动连接，通过调节组件15的设置，在调节载片本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种便于调节载片量的硅舟，包括撑板（1）和调节组件（15），其特征在于，所述撑板（1）左表面中部前后两侧对称固定连接有套杆（2），且套杆（2）内部开设有滑腔（3），所述滑腔（3）外侧开设有滑槽（4），且滑腔（3）内嵌合连接有滑杆（5），所述滑杆（5）右端外侧固定连接有滑块（6），且滑杆（5）与套杆（2）表面均开设有承载槽（7），所述滑杆（5）左端固定连接有底板（8），且底板（8）左表面对称开设有卡槽（9），所述撑板（1）右表面上下两侧对称开设有卡腔（10），且卡腔（10）内固定连接有卡簧（11），所述卡簧（11）内侧固定连接有卡块（12），且卡块（12）左部外侧固定连接有卡杆（13），所述卡杆（13）外侧固定连接有卡板（14），用于调节载片量的所述调节组件（15）设置于撑板（1）左表面四角。2.根据权利要求1所述的一种便于调节载片量的硅舟，其特征在于，所述滑杆（5）通过滑腔（3）与套杆（2）滑动连接，且滑块（6）通过滑杆（5）与滑槽（4）滑动连接，所述滑块（6）通过滑槽（4）与套杆（2）嵌合连接。3.根据权利要求1所述的一种便于调节载片量的硅舟，其特征在于，所述卡块（12）通过卡簧（11）与卡腔（10）弹性连接，且卡杆（13）通过卡腔（10）与撑板（1）滑动连接，所述卡板（14）通过卡腔（10）与撑板（1）嵌合连接。4.根据权利要求1所述的一种便于调节载片量的硅...

【专利技术属性】
技术研发人员：邵永杰，
申请(专利权)人：杭州跨界耐磨零部件有限公司，
类型：新型
国别省市：