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集成铁电微镜式光开关制造技术

技术编号:3474423 阅读:131 留言:0更新日期:2012-04-11 18:40
集成铁电微镜式光开关,其特征在于:它含有铁电薄膜悬臂梁以及与该梁做成一体的微反射镜。(*该技术在2012年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:任天令刘理天徐杨
申请(专利权)人:清华大学
类型:实用新型
国别省市:

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