【技术实现步骤摘要】
一种基片载板丝线张紧机构
[0001]本技术涉及张紧机构,尤其涉及一种基片载板丝线张紧机构。
技术介绍
[0002]基片载板通常用于PECVD工序装载基片(如硅片),以便于传送、加热、镀膜。现有一种基片载板,通过丝线在载板框中分割成若干网格状支撑结构以用来架设子载板,丝线至少有一端设有丝线张紧机构,使网格状支撑结构保持紧绷,避免防止在子载板上的基片因载板形变或丝线松弛而受到影响。
[0003]目前,有一种丝线张紧机构为丝线的一端穿过载板框并直接固定到滑块上,两根导杆通过螺纹连接与载板框固定,滑块套于导杆上,通过弹簧对滑块提供与钨丝拉力反向的弹力,实现对钨丝的张紧。但现有丝线张紧机构,滑块经常出现受力不均并发生倾斜,导致导杆间的摩擦力增大,容易发生滑块卡滞,严重时滑块卡死,从而造成丝线断裂,导致基片脱离载板而出现破碎。
技术实现思路
[0004]本技术的目的在于提供一种基片载板丝线张紧机构,通过优化滑块受力分布,避免滑块的卡滞现象,提高丝线使用寿命,减少基片损坏。
[0005]本技术的目的通过如下技术方案实现:
[0006]一种基片载板丝线张紧机构,它包括固定于载板框外侧边上且向外拉动张紧丝线的弹性滑动张紧单元、调整丝线使丝线外端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元;所述导向单元设于贯通载板框内外侧边的丝线穿孔中。
[0007]较之现有技术而言,本技术的优点在于:
[0008]通过导向单元调整丝线作用在滑块的拉力方向,使丝线拉力方向与弹性滑动 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种基片载板丝线张紧机构,其特征在于:它包括固定于载板框外侧边上且向外拉动张紧丝线的弹性滑动张紧单元、调整丝线使丝线外端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的导向单元;所述导向单元设于贯通载板框内外侧边的丝线穿孔中;所述导向单元包括固设于丝线穿孔内端对丝线在载板框内的水平位置进行固定的丝线支撑导轮或丝线支撑滚轴、以及固设于丝线穿孔外端对丝线进行调整使丝线外端部延伸方向与弹性滑动张紧单元滑动张紧方向保持平行的丝线调整导轮或丝线调...
【专利技术属性】
技术研发人员:倪鹏玉,练小洪,
申请(专利权)人:福建金石能源有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。