化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂制造技术

本实用新型专利技术公开了化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，包括防护外壳和固定底板，所述防护外壳内腔的右侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套。本实用新型专利技术通过防护外壳，用于对伺服电机和螺纹杆进行保护，通过伺服电机，用于带动螺纹杆转动，通过螺纹杆，用于带动螺纹套进行左右运动，通过螺纹套，用于带动连接杆进行左右运动，通过连接杆，用于拉动活动架开启和闭合，通过活动架，用于带动夹持板运动，通过夹持板，用于对圆片FOUP夹持，解决了现有的圆片FOUP在近距离传送时，多为人工手动拿取，易出现圆片FOUP掉落损坏的情况，从而缩短了圆片FOUP使用寿命的问题。从而缩短了圆片FOUP使用寿命的问题。从而缩短了圆片FOUP使用寿命的问题。

【技术实现步骤摘要】
化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂


[0001]本技术涉及圆片FOUP传送
，具体为化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂。

技术介绍

[0002]目前，在半导体产业中一般是使用圆片FOUP来作为承载、传送和保护晶片的容器，其主要用于圆片厂内的机器与机器间或工艺与工艺间，承载、传送和保护圆片，现有的圆片FOUP在近距离传送时，多为人工手动拿取，易出现圆片FOUP掉落损坏的情况，从而缩短了圆片FOUP的使用寿命，因此我们提出了化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，来解决此类问题。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，具备便于对圆片FOUP夹持固定的优点，解决了上述
技术介绍
中提到的相关问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：
[0005]化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，包括防护外壳和固定底板，所述防护外壳内腔的右侧固定连接有伺服电机，所述伺服电机的输出轴固定连接有螺纹杆，所述螺纹杆的表面螺纹连接有螺纹套，所述防护外壳的左侧通过转轴活动连接有活动架，所述螺纹套的正面和背面均通过转轴活动连接有连接杆，所述连接杆的另一端通过转轴与活动架活动连接，所述活动架远离防护外壳的一端固定连接有夹持板。
[0006]作为上述方案的进一步描述，所述固定底板的顶部固定连接有固定筒，所述固定筒的内腔活动连接有活动柱。
[0007]作为上述方案的进一步描述，所述固定筒内腔的底部固定连接有气缸，所述气缸的顶部与活动柱固定连接。
[0008]作为上述方案的进一步描述，所述活动柱表面的下端固定连接有限位环，所述固定筒内腔的上端开设有限位槽，所述限位环延伸至限位槽的内腔并与限位槽的内腔滑动连接。
[0009]作为上述方案的进一步描述，所述防护外壳的正面和背面均开设有通槽，所述连接杆远离螺纹套的一端贯穿通槽的内腔并与通槽的内腔滑动连接。
[0010]作为上述方案的进一步描述，所述夹持板远离活动架的一侧固定连接有防护垫，所述防护垫远离夹持板的一侧与圆片FOUP接触。
[0011]作为上述方案的进一步描述，所述固定底板的底部固定连接有吸盘，所述吸盘的数量为六个，且六个吸盘均匀分布于固定底板底部的两侧。
[0012]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0013]本技术通过防护外壳，用于对伺服电机和螺纹杆进行保护，通过伺服电机，用于带动螺纹杆转动，通过螺纹杆，用于带动螺纹套进行左右运动，通过螺纹套，用于带动连
接杆进行左右运动，通过连接杆，用于拉动活动架开启和闭合，通过活动架，用于带动夹持板运动，通过夹持板，用于对圆片FOUP夹持，解决了现有的圆片FOUP在近距离传送时，多为人工手动拿取，易出现圆片FOUP掉落损坏的情况，从而缩短了圆片FOUP使用寿命的问题。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为本技术防护外壳俯视剖面结构示意图；
[0016]图3为本技术固定筒剖面结构示意图；
[0017]图4为本技术活动架、夹持板和防护垫连接结构示意图。
[0018]图中：1、防护外壳；2、固定底板；3、伺服电机；4、螺纹杆；5、螺纹套；6、活动架；7、连接杆；8、夹持板；9、固定筒；10、活动柱；11、气缸；12、限位环；13、限位槽；14、通槽；15、防护垫；16、吸盘。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]本技术的防护外壳1、固定底板2、伺服电机3、螺纹杆4、螺纹套5、活动架6、连接杆7、夹持板8、固定筒9、活动柱10、气缸11、限位环12、限位槽13、通槽14、防护垫15和吸盘16部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知。
[0021]请参阅图1
‑
4，化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，包括防护外壳1和固定底板2，防护外壳1内腔的右侧固定连接有伺服电机3，伺服电机3的输出轴固定连接有螺纹杆4，螺纹杆4的表面螺纹连接有螺纹套5，防护外壳1的左侧通过转轴活动连接有活动架6，螺纹套5的正面和背面均通过转轴活动连接有连接杆7，连接杆7的另一端通过转轴与活动架6活动连接，活动架6远离防护外壳1的一端固定连接有夹持板8，通过防护外壳1，用于对伺服电机3和螺纹杆4进行保护，通过伺服电机3，用于带动螺纹杆4转动，通过螺纹杆4，用于带动螺纹套5进行左右运动，通过螺纹套5，用于带动连接杆7进行左右运动，通过连接杆7，用于拉动活动架6开启和闭合，通过活动架6，用于带动夹持板8运动，通过夹持板8，用于对圆片FOUP夹持，解决了现有的圆片FOUP在近距离传送时，多为人工手动拿取，易出现圆片FOUP掉落损坏的情况，从而缩短了圆片FOUP使用寿命的问题。
[0022]本技术中，固定底板2的顶部固定连接有固定筒9，固定筒9的内腔活动连接有活动柱10，通过设置固定筒9和活动柱10，起到了对防护外壳1稳定支撑的效果。
[0023]其中，固定筒9内腔的底部固定连接有气缸11，气缸11的顶部与活动柱10固定连接，通过设置气缸11，起到了便于带动活动柱10和防护外壳1上下运动的效果，从而便于对其高度进行调节。
[0024]具体的，活动柱10表面的下端固定连接有限位环12，固定筒9内腔的上端开设有限位槽13，限位环12延伸至限位槽13的内腔并与限位槽13的内腔滑动连接，通过设置限位环
12和限位槽13，起到了对活动柱10限位的效果，避免活动柱10在运动时出现错位，从而确保了活动柱10运动时的稳定性。
[0025]此外，防护外壳1的正面和背面均开设有通槽14，连接杆7远离螺纹套5的一端贯穿通槽14的内腔并与通槽14的内腔滑动连接，通过设置通槽14，起到了对连接杆7运动轨迹限位的效果，避免连接杆7出现错位的情况。
[0026]本技术中，夹持板8远离活动架6的一侧固定连接有防护垫15，防护垫15远离夹持板8的一侧与圆片FOUP接触，通过设置防护垫15，起到了对圆片FOUP防护和防滑的效果，且避免圆片FOUP出现掉落的情况。
[0027]具体的，固定底板2的底部固定连接有吸盘16，吸盘16的数量为六个，且六个吸盘16均匀分布于固定底板2底部的两侧，通过设置吸盘16，提高了固定底板2的稳定性，避免固定底板2在支撑时出现不稳定晃动的情况。
[0028]工作原理：使用时，通过外设控制器启动上述电气元件，首先将圆片FOUP放置在两个防护垫15之间，然后通过本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，包括防护外壳(1)和固定底板(2)，其特征在于：所述防护外壳(1)内腔的右侧固定连接有伺服电机(3)，所述伺服电机(3)的输出轴固定连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)的表面螺纹连接有螺纹套(5)，所述防护外壳(1)的左侧通过转轴活动连接有活动架(6)，所述螺纹套(5)的正面和背面均通过转轴活动连接有连接杆(7)，所述连接杆(7)的另一端通过转轴与活动架(6)活动连接，所述活动架(6)远离防护外壳(1)的一端固定连接有夹持板(8)。2.根据权利要求1所述的化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，其特征在于：所述固定底板(2)的顶部固定连接有固定筒(9)，所述固定筒(9)的内腔活动连接有活动柱(10)。3.根据权利要求2所述的化合物半导体圆片FOUP自动化夹持机械臂，其特征在于：所述固定筒(9)内腔的底部固定连接有气缸(11)，所述气缸(11)的顶部与活动柱(10)固定连接。4.根据权利要求3所述的化合物半导体...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨刚，魏亮，赵勇，
申请(专利权)人：苏州晶睿半导体科技有限公司，
类型：新型
国别省市：