一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，包括壳体，所述外壳体内部设置有容纳腔，所述外壳体顶端螺栓固定连接有用于将容纳腔进行封堵的盖体，所述容纳腔内部固定连接有反应壳体；所述反应壳体内底壁设置有加热件，所述反应壳体上固定连接有多个超声波振子；所述容纳腔内部固定连接有固定块，所述固定块上固定连接有用于对反应壳体进行进料的进料机构；所述外壳体上设置有用于对容纳腔进行冲入氮气的充气组件。本发明专利技术通过在反应壳体底端固定连接有多个超声波振子能够实现反应壳体内部产生超声振动，以实现其内部的物料能够实现更加充分的进行混合，相对于现有技术中的机械搅拌结构，能够大大的减小搅拌装置的结构，使得设备的结构更加的简单。使得设备的结构更加的简单。使得设备的结构更加的简单。

【技术实现步骤摘要】
一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置


[0001]本专利技术属于单晶材料生长
，尤其涉及一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置。

技术介绍

[0002]氮化镓作为第三代半导体材料，凭借其宽禁带、高击穿电压和高导热率等优良特性在光电和微电领域一直备受关注。相对于氮化镓器件的快速发展，氮化镓晶体生长技术相对滞后，缺少高质量、大尺寸的氮化镓衬底材料是限制氮化镓器件性能进一步提升的重要因素。
[0003]经检索，公开号CN109680334A公开了一种钠助熔剂法氮化镓单晶的生长装置，包括在内部设计的籽晶夹具、反应容器、载物台等结构，其通过传动杆连接的电机带动反应腔托盘转动，使反应容器及其内部坩埚与籽晶夹具产生相对转动，实现籽晶夹持杆对金属熔融液的搅拌，改善其内部的氮原子浓度均匀性，从而达到提高籽晶周围氮原子浓度的目的，避免晶体贫氮。
[0004]但是上述专利中，所要实现搅拌功能，通过一系列机械结构以实现搅拌的功能，但是这个过程中，机械搅拌的搅拌效果有限，且所需要的机械结构较多，导致设备整体结构呈现较为复杂，导致使得实际上的操作难度较大，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，包括外壳体(1)，其特征在于，所述外壳体(1)内部设置有容纳腔(11)，所述外壳体(1)顶端螺栓固定连接有用于将容纳腔(11)进行封堵的盖体(12)，所述容纳腔(11)内部固定连接有反应壳体(2)；所述反应壳体(2)内底壁设置有加热件(3)，所述反应壳体(2)上固定连接有多个超声波振子(4)；所述容纳腔(11)内部固定连接有固定块(5)，所述固定块(5)上固定连接有用于对反应壳体(2)进行进料的进料机构(6)；所述外壳体(1)上设置有用于对容纳腔(11)冲入氮气的充气组件(7)。2.根据权利要求1所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述反应壳体(2)外底壁固定连接有隔热陶瓷片(8)，所述隔热陶瓷片(8)底端与超声波振子(4)固定连接。3.根据权利要求1所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述超声波振子(4)环侧环绕有散热管(9)，所述散热管(9)为金属材质，所述散热管(9)贯穿容纳腔(11)并延伸至外部连接有散热器。4.根据权利要求1所述的超声波搅拌的氮化镓液相生长装置，其特征在于，所述进料机构(6)包括进料缸(61)以及进料管(62)，所述进料缸(61)固定连接在固定块(5)上，所述进料管(62)两端分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：谈逊，刘才，谈谦，吴曦，曾龙辉，李欣，王占玲，刘宁波，
申请(专利权)人：华厦半导体深圳有限公司，
类型：发明
国别省市：