【技术实现步骤摘要】
本技术涉及镓粒制备，尤其涉及一种可制备质量均匀可控的镓粒的装置。
技术介绍
1、镓是一种广泛应用于半导体领域的重要材料，其具有优异的导电性、热导性和光学特性，镓在电子、光电、太阳能、半导体等领域扮演着重要角色，用途包括集成电路、光电器件、太阳能电池，目前制备高纯度镓粒的主要方法是利用滴料装置，将液态镓滴入冷却剂中，使其迅速凝固形成粒状，再进行清洗和烘干；
2、然而，这些传统制备方法存在一些缺陷，主要是由于重力作用下滴定镓液的量无法精确控制，导致制备的镓粒均匀性不佳，这会影响到镓粒的质量和性能。
3、为解决上述问题，本申请中提出一种可制备质量均匀可控的镓粒的装置。
技术实现思路
1、基于
技术介绍
中存在的技术问题，本技术提出了一种可制备质量均匀可控的镓粒的装置。
2、本技术提出的一种可制备质量均匀可控的镓粒的装置，包括制备箱；
3、所述制备箱内开设有空腔且空腔内安装有隔板，所述隔板将空腔分隔成镓液腔以及冷却腔，所述制备箱上安装有位于冷却腔内的均粒...
【技术保护点】
1.一种可制备质量均匀可控的镓粒的装置，包括制备箱(1)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种可制备质量均匀可控的镓粒的装置，其特征在于，所述均粒旋转件(3)包括装配块(31)，所述装配块(31)设置在冷却腔内，所述电动推杆(4)安装在制备箱(1)的底部，所述装配块(31)与电动推杆(4)连接并由电动推杆(4)驱动在冷却腔内上下移动，所述装配块(31)上安装有转盘(32)以及用于驱动转盘(32)旋转的第一伺服电机(33)，所述转盘(32)上安装有若干个周向布置的均粒块(34)，若干个所述均粒块(34)内均开设有成粒槽。
3.根据权利要求2...
【技术特征摘要】
1.一种可制备质量均匀可控的镓粒的装置，包括制备箱(1)，其特征在于：
2.根据权利要求1所述的一种可制备质量均匀可控的镓粒的装置，其特征在于，所述均粒旋转件(3)包括装配块(31)，所述装配块(31)设置在冷却腔内，所述电动推杆(4)安装在制备箱(1)的底部，所述装配块(31)与电动推杆(4)连接并由电动推杆(4)驱动在冷却腔内上下移动，所述装配块(31)上安装有转盘(32)以及用于驱动转盘(32)旋转的第一伺服电机(33)，所述转盘(32)上安装有若干个周向布置的均粒块(34)，若干个所述均粒块(34)内均开设有成粒槽。
3.根据权利要求2所述的一种可制备质量均匀可控的镓粒的装置，其特征在于，所述滴料件(5)包括滴料箱(51)，所述滴料箱(51)安装在制备箱(1)的顶部并置于冷却腔上方位置，所述滴料箱(51)内开设有料腔，且滴料箱(51)的底部连接有与料腔连通的滴料管(52)，所述滴料管(52)上安装有阀体，所述滴料箱(51)的侧面安装有与料腔连通的气体管(53)，且气体管(53)远离滴料箱(51)的一端连接氮气泵。
4.根据权利要求3所述的一种可制备质量均匀可控的镓粒的装置，其特征在于，所述供料件(6)包括蠕动泵(61)以及安装在蠕动泵(61)上的供料管(62)，所述供料管(62)的一端伸入镓液腔内，所述供料管(62)的另一端与滴料箱(51)内开设的料腔连通。
5.根据权利要求3所述的一种可制备质量均...
【专利技术属性】
技术研发人员：谈逊，吴曦，刘才，李迎春，李欣，谈谦，王占玲，刘宁波，陈绮雯，
申请(专利权)人：华厦半导体深圳有限公司，
类型：新型
国别省市：
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