本发明专利技术涉及：基板转移方法，其用于通过使用在包括基板转移机械手的基板转移装置中装载或卸载基板时关于基板的位置的信息来控制基板转移机械手；以及基板转移装置。根据本发明专利技术，当在设定用于装载或卸载基板的初始参考值之后，由于过程变化或硬件变化而需要设定新的参考值的操作时，参考值被自动地设定，因此在不手动改变基板转移机械手的参考值的情况下，也允许基板被转移以被定位在基座的中心。也允许基板被转移以被定位在基座的中心。也允许基板被转移以被定位在基座的中心。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】基板转移方法以及基板转移装置
[0001]本公开涉及用于制造半导体器件的半导体制造装置的基板转移方法和装置，并且具体地，涉及一种基板转移方法和装置，当在包括基板转移机械手以装载或卸载基板的基板转移装置中装载或卸载基板时，其使用基板的位置信息来控制基板转移机械手。
技术介绍
[0002]通常，为了制造半导体器件而执行薄膜沉积工艺、光刻工艺、刻蚀工艺等，并且每个工艺在腔室中执行，所述腔室被设计为用于对应工艺的优化环境。薄膜沉积工艺是指通过将原材料沉积在硅晶片上而形成薄膜的工艺，光刻工艺是指使用感光材料使在薄膜之中选择的区域暴露或遮盖的工艺，以及刻蚀工艺是指通过去除选择的区域的薄膜而以期望的方式对选择的区域进行图案化的工艺。
[0003]近来，为了提高生产率，大量使用集群型(cluster
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type)基板处理装置。集群型基板处理装置包括彼此紧密耦接的多个处理模块和转移模块等，该转移模块用于转移基板。
[0004]图1是示意性地示出集群型基板处理装置的配置的平面图。集群型基板处理装置包括多个处理模块20和装载锁定模块30，这些模块围绕转移模块10耦接。
[0005]转移模块10包括安装在其中的转移机械手40，该转移机械手40用于转移基板S。基板S通过转移机械手40在处理模块20和装载锁定模块30之中移动。转移模块10除了需要设置或维护的情况之外总是保持真空状态。
[0006]处理模块20是在处理腔室21内对基板S执行诸如薄膜沉积和刻蚀的实际处理的地方，并且处理模块20包括基板安置单元，在该基板安置单元中，基板被安置(seat)在处理腔室21内，该基板安置单元包括可以放置多个基板的基座(susceptor)。
[0007]当基板S被转移进或转移出处于真空状态的每个处理模块20时，装载锁定模块30用作基板S暂时停留的缓冲空间。通常，考虑到生产率，大量使用两个腔室被竖向地叠置的结构作为装载锁定模块30。
[0008]因此，装载锁定模块30在基板S从外部被转移进处理模块20中时被切换为真空状态，而在基板S从处理模块20被转移至外部时被切换为大气状态(atmospheric state)。
[0009]图2是集群型基板处理装置的侧截面图。集群型基板处理装置具有这样一种结构：其中，装载锁定模块30和处理模块20被耦接至转移模块10的边缘，并且转移模块10包括腔室11以及在腔室11中操作的转移机械手40。
[0010]转移机械手40包括驱动单元框架41、驱动轴43、机械手臂44、以及基板安置单元45。驱动单元框架41支撑诸如电机(motor)的驱动单元，驱动轴43从驱动单元框架41的顶部延伸，并且被驱动单元转动和抬升/下放(lifted/lowered)，机械手臂44不仅被驱动轴43转动和抬升/下放，而且被驱动轴43伸展和收缩，并且基板安置单元45耦接至机械手臂44的端部，以直接抬升基板S。
[0011]驱动单元框架41通过腔室底部表面12被固定。具体地，凸缘(flange)42形成在驱动单元框架41的定位在腔室11中的一部分上，以沿着其外周向表面突出，并且被焊接至腔
室底部表面12，从而保持腔室11的真空状态。
[0012]通过驱动轴43的转动和抬升/下放运动以及基板安置单元45的水平运动将基板S转移至处理模块20或装载锁定模块30的转移机械手40，需要在有限的空间内非常精确地操作。
[0013]因此，在装置被设定时，必须执行将参考位置设定为转移机械手40的操作的参考点的过程。
[0014]即，为了使转移机械手40将基板装载至处理腔室21内的基座的常规位置或将基板从处理腔室21内的基座卸载，需要各种信息。各种信息包括：关于转移机械手40被抬升/下放多少、转移机械手40的转动角度、以及机械手臂的伸长量的信息，这些信息基于转移机械手40的设计位置以及在处理腔室21内的基座的位置。
[0015]基于这种信息，熟练的机械手工程师在装置的初始设定操作期间通过诸如示教器(teaching pendant)的工具来获取适合于该装置的数据，并且手动输入该数据以完成初始的设定操作。然后，由于诸如处理腔室21内的基座的更换的硬件改变，在许多情况下需要重新设定参考值。
[0016]考虑到转移机械手40实际操作的环境是真空状态，期望在真空状态下执行初始参考值的设定过程。然而，在大多数情况下，机械手工程师在用肉眼或使用单独的工具检查的同时执行操作。在这种情况下，参考值设定操作是在大气状态下执行的。
[0017]在大气状态下执行初始参考值设定操作之后，通过真空抽吸过程和加热过程将处理腔室21切换为真空状态。在这样的真空抽吸过程或加热过程期间，由于在处理腔室21内的基座的位置变化，可能需要重新执行参考值设定操作。
技术实现思路
[0018]技术问题
[0019]各种实施例针对一种基板转移方法和装置，当需要校正操作时，该基板转移方法和装置可以在设定在基板转移机械手装载或卸载基板时用作参考值的参考值之后自动地执行将参考值校正为新参考值的操作，从而将基板准确地定位在腔室内的基座的中心。
[0020]解决问题的技术方案
[0021]在一个实施例中，基板转移方法可以包括：第一基板装载步骤，通过使用第一参考值将基板装载至腔室内的基座中，该第一参考值在基板转移机械手将基板装载至基座中或将基板从基座中卸载时用作参考值；第一位置调整步骤，将基板的位置调整至基座的第一位置；第一基板卸载步骤，使用基板转移机械手卸载基板；第一值获取步骤，在基板被卸载时获取第一值；以及第一校正步骤，在第一参考值和第一值彼此不同时，将第一值校正为基板转移机械手的第二参考值。
[0022]在一个实施例中，基板转移装置可以包括：腔室，该腔室包括基座，至少一个基板被安置在该基座中；基板转移机械手，该基板转移机械手被配置为将基板装载至基座中或将基板从基座卸载；基板位置感测单元，该基板位置感测单元被配置为在基板被装载至腔室中或基板从腔室被卸载时感测基板的位置；储存单元，该储存单元被配置为储存由基板位置感测单元感测到的基板的位置；以及控制单元，该控制单元被配置为使用关于基板的位置的信息来控制基板转移机械手以将所基板安置在基座的第一位置处。
[0023]有益效果
[0024]当请求参考值设定操作时，根据本公开的实施例的基板转移方法和装置可以在设定用于装载或卸载基板的初始参考值之后，由于过程或硬件的变化而自动执行设定新的参考值的操作。因此，即使不手动改变基板转移机械手的参考值，基板转移方法和设备也可以转移基板使得基板被定位在基座的中心。
[0025]结果，基板可以准确地定位在腔室中的基座的中心，而不会出现取决于工程师的技能水平的误差或取决于环境变化为真空状态或高温状态的误差。
附图说明
[0026]图1是示出传统的集群型基板处理装置的示意性配置的平面图。
[0027]图2是图1所示的集群型基板处理装置的侧横截面图。<本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种基板转移方法，包括：第一基板装载步骤，通过使用第一参考值将基板装载至腔室内的基座中，在基板转移机械手将所述基板装载至所述基座中或将所述基板从所述基座中卸载时，所述第一参考值用作参考值；第一位置调整步骤，将所述基板的位置调整至所述基座的第一位置；第一基板卸载步骤，使用所述基板转移机械手卸载所述基板；第一值获取步骤，在所述基板被卸载时获取第一值；以及第一校正步骤，在所述第一参考值和所述第一值彼此不同时，将所述第一值校正为所述基板转移机械手的第二参考值。2.一种基板转移方法，包括：第二基板装载步骤，通过使用第二参考值将基板装载至腔室内的基座中，所述第二参考值在基板转移机械手将所述基板装载至所述基座中或将所述基板从所述基座中卸载时用作参考值；第二位置调整步骤，将所述基板的位置调整至所述基座的第二位置；第二基板卸载步骤，使用所述基板转移机械手卸载所述基板；第二值获取步骤，在所述基板被卸载时获取第二值；以及第二校正步骤，在所述第二参考值和所述第二值彼此不同时，将所述第二值校正为所述基板转移机械手的第三参考值。3.如权利要求1所述的基板转移方法，其中，在所述第一值获取步骤中，对在从所述基座卸载所述基板时由基板位置感测单元感测到的所述基板的长度进行测量，并且将所述基板的长度与在根据所述第一参考值而装载所述基板时由所述基板位置感测单元感测到的所述基板的长度进行比较，以便获取所述第一值，所述第一值为在所述基板被卸载时的位置信息。4.如权利要求1所述的基板转移方法，其中，在所述第一值获取步骤中，对在从所述基座卸载所述基板时由基板位置感测单元感测到所述基板的时间进行测量，并且将所述时间与在根据所述第一参考值装载所述基板时由所述基板位置感测单元感测到所述基板的时间进行比较，以便获取所述第一值，所述第一值为在所述基板被卸载时的位置信息。5.如权利要求2所述的基板转移方法，其中，在所述第二值获取步骤中，对在从所述基座卸载所述基板时由基板位置感测单元感测到的所述基板的长度进行测量，并且将所述基板的长度与在根据所述第二参考值装载所述基板时由所述基板位置感测单元感测到的所述基...
【专利技术属性】
技术研发人员：郑求贤，金钟哲，郑镇安，黄喆周，边永燮，
申请(专利权)人：周星工程股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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