一种上料的半导体基板上下载具机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种上料的半导体基板上下载具机，属于半导体基板载具技术领域，一种上料的半导体基板上下载具机，包括载具机本体，载具机本体内安装有长板，长板前端右侧固定连接有机箱，机箱内固定安装有电机，电机上端通过驱动杆固定连接有齿轮，齿轮下端啮合连接有横齿板，横齿板上端固定连接有长连接杆，齿轮侧端啮合连接有竖齿板，竖齿板下端固定连接有短连接杆，长板中间开设有凹槽，它可以实现通过辊板将一体件上料给下游工艺设备的目的，同时将半导体基板加载到载具上，形成可保持基板平整的一体件，并通过电动齿轮将一体件上料给下游工艺设备，有效的降低了加工工艺的难度，提高了上下游工艺的流畅性。提高了上下游工艺的流畅性。提高了上下游工艺的流畅性。

【技术实现步骤摘要】
一种上料的半导体基板上下载具机


[0001]本技术涉及半导体基板载具
，更具体地说，涉及一种上料的半导体基板上下载具机。

技术介绍

[0002]半导体基板后段封装工艺中，在进行倒装焊键合、加热清洗等工艺加工时，对基板的平整度有严格的要求和限制，因基板本身翘曲的特性，决定了必须加持外界的机构来帮助基板来实现平整。
[0003]传统的半导体载具上下载具装置对各个工艺设备皆有基板平整机构，且对于不同工艺，其平整机构不一致，从而增加了各个工艺设备的难度，同时一体件在移动到下一道工艺时，并不能稳定的完成基板的上下，也不利于上下游工艺的流畅性。

技术实现思路

[0004]1．要解决的技术问题
[0005]针对现有技术中存在的问题，本技术的目的在于提供一种上料的半导体基板上下载具机，它可以实现通过辊板将一体件上料给下游工艺设备的目的，同时将半导体基板加载到载具上，形成可保持基板平整的一体件，并通过电动齿轮将一体件上料给下游工艺设备，有效的降低了加工工艺的难度，提高了上下游工艺的流畅性。
[0006]2．技术方案...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种上料的半导体基板上下载具机，包括载具机本体（22），所述载具机本体（22）内安装有长板（1），其特征在于：所述长板（1）前端右侧固定连接有机箱（2），所述机箱（2）内固定安装有电机（3），所述电机（3）上端通过驱动杆固定连接有齿轮（4），所述齿轮（4）下端啮合连接有横齿板（5），所述横齿板（5）上端固定连接有长连接杆（7），所述齿轮（4）侧端啮合连接有竖齿板（6），所述竖齿板（6）下端固定连接有短连接杆（8），所述长板（1）中间开设有凹槽，所述凹槽内固定连接有升降杆（10），所述升降杆（10）上端固定连接有承重板（9），且承重板（9）下端与短连接杆（8）固定连接，所述承重板（9）上方设有托盘（12），所述托盘（12）上端贴合连接有载具板（14），所述长板（1）上端右侧固定安装有辅助板（15），所述辅助板（15）靠近载具板（14）一端固定连接有伸缩杆（16），所述伸缩杆（16）远离辅助板（15）一端固定连接有抵板（17），且抵板（17）靠近伸缩杆（16）一端与长连接杆（7）固定连接，所述长板（1）上端左侧固定安装有辅助挡板（18），所述辅助挡板（18）两端内壁均固定安装有伸缩挡板（20）。2.根据权利要求1所述的一种上料的半导体基板上下载具机，其特征在于：所述托盘（12）中...

【专利技术属性】
技术研发人员：顾敦明，
申请(专利权)人：南通金泰科技有限公司，
类型：新型
国别省市：