半导体清洗设备及其机械臂制造技术

本申请公开一种半导体清洗设备及其机械臂，属于半导体技术领域。半导体清洗设备的机械臂包括机械臂本体、压力检测元件和驱动机构，机械臂本体包括主体件和活动板，活动板与主体件活动连接，压力检测元件用于检测活动板所受的压力值，压力检测元件设于主体件和活动板中的一者上，在活动板受压的情况下，压力检测元件与主体件和活动板中的另一者接触；驱动机构与机械臂本体相连接，从而驱动机械臂本体运动，在压力检测元件检测的压力值达到预设压力值的情况下，驱动机构停止驱动机械臂本体运动。半导体清洗设备包括上述的机械臂。如此设置，机械臂的安全急停功能优化，机械臂本体的防碰撞区域增大，避免机械臂本体被碰撞损坏。避免机械臂本体被碰撞损坏。避免机械臂本体被碰撞损坏。

【技术实现步骤摘要】
半导体清洗设备及其机械臂


[0001]本申请属于半导体
，具体涉及一种机械臂及半导体清洗设备。

技术介绍

[0002]在半导体清洗设备中，机械臂起到传递晶圆的作用，故机械臂能够夹持晶圆并运动。但在机械臂的运动过程中，机械臂易与外部设备或人员相撞，存在碰撞危险。
[0003]为避免机械臂与外部设备或人员碰撞，相关技术中公开一种机械臂，机械臂包括机械臂本体、驱动器、驱动电机和继电器，其中，驱动电机能驱动机械臂本体运动，且驱动电机可由驱动器驱动工作。而且，机械臂本体的表面安装有防撞条，防撞条与继电器的线圈串联，继电器的常闭触点控制驱动器的使能端与外接电源之间的电导通或电断开。
[0004]在防撞条未被碰撞时，继电器的线圈失电，继电器的常闭触点闭合，那么，驱动器的使能端与外接电源之间电导通，驱动器处于使能状态，驱动电机能够被驱动工作，故驱动电机驱动机械臂本体运动；在防撞条被碰撞时，防撞条被触发变形，继电器的线圈得电，继电器的常闭触点断开，那么，驱动器的使能端与外接电源之间电断开，驱动器处于未使能状态，驱动电机无法被驱动工作，故机械臂本体停止运动。
[0005]但是，只有防撞条被碰撞才能使机械臂本体停止运动，机械臂的除防撞条以外的其它部件被碰撞，并不会使机械臂本体停止运动。因此，机械臂的安全急停功能有限，仍旧存在较大的碰撞危险，导致机械臂本体易被碰撞损坏。

技术实现思路

[0006]本申请实施例的目的是提供一种半导体清洗设备及其机械臂，能够解决相关技术中机械臂的安全急停功能有限，导致机械臂本体易被碰撞损坏的问题。
[0007]第一方面，本申请实施例提供一种半导体清洗设备的机械臂，包括：
[0008]机械臂本体，所述机械臂本体包括主体件和活动板，所述活动板与所述主体件相连；
[0009]压力检测元件，所述压力检测元件用于检测所述活动板所受的压力值，所述压力检测元件设于所述主体件和所述活动板中的一者上，在所述活动板受压的情况下，所述压力检测元件与所述主体件和所述活动板中的另一者接触；
[0010]驱动机构，所述驱动机构与所述机械臂本体相连，以驱动所述机械臂本体运动，在所述压力检测元件检测的压力值达到预设压力值的情况下，所述驱动机构停止驱动所述机械臂本体运动。
[0011]第二方面，本申请实施例还提供一种半导体清洗设备，包括上述的机械臂。
[0012]在本申请实施例中，在活动板受压的情况下，由于主体件与活动板活动连接，故活动板能够相对主体件运动，使得压力检测元件与主体件或活动板接触，从而使压力检测元件能够检测到活动板所受的压力值，进一步依据检测的活动板所受压力值的大小，驱动机构是否停止驱动机械臂本体运动。因此，无论活动板的哪个位置被碰撞，活动板均能相对主
体件运动，压力检测元件均能接触到主体件或活动板，以检测活动板所受的压力值，进而驱动机构根据压力情况决定是否停止驱动机械臂本体运动。
[0013]如此设置，相比于在活动板的特定位置被碰撞的情况下，机械臂本体才能停止运动的方案，机械臂的安全急停功能优化，机械臂本体的防碰撞区域增大，避免碰撞压力值进一步增大，同时，避免机械臂本体被碰撞损坏。
附图说明
[0014]图1是本申请实施例公开的机械臂的结构示意图；
[0015]图2是本申请实施例公开的机械臂本体的结构示意图；
[0016]图3是本申请实施例公开的第一安装件和压力检测元件的结构示意图；
[0017]图4是本申请实施例公开的第二安装件和弹性件的结构示意图；
[0018]图5是本申请实施例公开的夹持机构的结构示意图；
[0019]图6是本申请实施例公开的机械臂本体与驱动机构的连接示意图；
[0020]图7是本申请实施例公开的驱动机构的电路示意图；
[0021]图8是本申请实施例公开的半导体清洗设备的结构示意图。
[0022]附图标记说明：
[0023]100
‑
机械臂本体；110
‑
主体件；120
‑
活动板；130
‑
弹性件；140
‑
第一安装件；150
‑
第二安装件；
[0024]200
‑
压力检测元件；
[0025]300
‑
驱动机构；
[0026]310
‑
驱动器；311
‑
供电端；312
‑
使能端；
[0027]321
‑
第一线圈；322
‑
第一触点；
[0028]331
‑
第二线圈；332
‑
第二触点；333
‑
第四触点；
[0029]341
‑
第三线圈；342
‑
第三触点；343
‑
第五触点；
[0030]350
‑
第一驱动电机；
[0031]360
‑
第二驱动电机；
[0032]370
‑
放大器；
[0033]400
‑
夹持机构；410
‑
控制盒；420
‑
连接杆；430
‑
夹爪；440
‑
连接块；
[0034]500
‑
发射器；600
‑
接收器；
[0035]700
‑
晶圆；
[0036]800
‑
支撑杆；
[0037]910
‑
工艺模块；920
‑
隔离挡板；930
‑
转运机构；940
‑
传输机构。
具体实施方式
[0038]下面将结合本申请实施例中的附图，对本申请实施例中的技术方案进行清楚地描述，显然，所描述的实施例是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
[0039]本申请的说明书和权利要求书中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互
换，以便本申请的实施例能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施，且“第一”、“第二”等所区分的对象通常为一类，并不限定对象的个数，例如第一对象可以是一个，也可以是多个。此外，说明书以及权利要求中“和/或”表示所连接对象的至少其中之一，字符“/”，一般表示前后关联对象是一种“或”的关系。
[0040]下面结合附图，通过具体的实施例及其应用场景对本申请实施例提供的半导体清洗设备及其机械臂进行详细地说明。
[0041]请参考图1
‑
图8，本申请公开的半导体清本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体清洗设备的机械臂，其特征在于，包括：机械臂本体(100)，所述机械臂本体(100)包括主体件(110)和活动板(120)，所述活动板(120)与所述主体件(110)活动连接；压力检测元件(200)，所述压力检测元件(200)用于检测所述活动板(120)所受的压力值，所述压力检测元件(200)设于所述主体件(110)和所述活动板(120)中的一者上，在所述活动板(120)受压的情况下，所述压力检测元件(200)与所述主体件(110)和所述活动板(120)中的另一者接触；驱动机构(300)，所述驱动机构(300)与所述机械臂本体(100)相连，以驱动所述机械臂本体(100)运动，在所述压力检测元件(200)检测的压力值达到预设压力值的情况下，所述驱动机构(300)停止驱动所述机械臂本体(100)运动。2.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述主体件(110)具有相背设置的第一侧部和第二侧部，所述活动板(120)和所述压力检测元件(200)的数量均为至少两个，且分别设于所述第一侧部和所述第二侧部。3.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述机械臂本体(100)还包括弹性件(130)，所述弹性件(130)设于所述主体件(110)和所述活动板(120)之间，所述活动板(120)通过所述弹性件(130)与所述主体件(110)活动连接。4.根据权利要求1所述的机械臂，其特征在于，所述机械臂还包括夹持机构(400)、发射器(500)和接收器(600)，其中：所述夹持机构(400)与所述主体件(110)相连，所述发射器(500)设于所述夹持机构(400)的第一端，所述接收器(600)设于所述夹持机构(400)的第二端，所述发射器(500)和所述接收器(600)的数量均为至少两个，且一一对应，在所述发射器(500)和所述接收器(600)处于预设相对位置的情况下，所述发射器(500)和所述接收器(600)通信连接；在所述发射器(500)和所述接收器(600)通信连接，且所述压力检测元件(200)检测的压力值小于所述预设压力值的情况下，所述驱动机构(300)驱动所述机械臂本体(100)运动；在所述发射器(500)和所述接收器(600)未通信连接的情况下，和/或，所述压力检测元件(200)检测的压力值达到所述预设压力值的情况下，所述驱动机构(300)停止驱动所述机械臂本体(100)运动。5.根据权利要求4所述的机械臂，其特征在于，所述夹持机构(400)包括控制盒(410)、连接杆(420)和夹爪(430)，所述控制盒(410)与所述主体件(110)相连，所述连接杆(420)的第一端与所述控制盒(410)相连，所述连接杆(420)的第二端与所述夹爪(430)相连，所述发射器(500)和所述接收器(600)中的一者设于所述控制盒(410)，另一者设于所述连接杆(420)的第二端。6.根据权利要求4所述的机械臂，其特征在于，所述驱动机构(300)包括第一驱动电机(350)、驱动器(310)和接触器，所述接触器包括第一线圈(321)和第一触点(322)，所述驱动器(310)具有供电端(311)，其中：所述第一驱动电机(350)与所述机械臂本体(100)相连，以驱动所述机械臂本体(100)运动，所述驱动器(310)与所述第一驱动电机(350)电连接，以驱动所述第一驱动电机(350)工作，且所述第一线圈(321)分别与所述压力检测元件(200)和所述接收器(600)电连接，所
述第一触点(322)与所述供电端(311)电连接；在所述发射器(500)和所述接收器(600)通信连接，且所述压力检测元件(200)检测的压力值小于所述预设压力值的情况下，所述第一线圈(321)处于通电状...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙梦菲，李圆晨，王广永，张明，
申请(专利权)人：北京北方华创微电子装备有限公司，
类型：新型
国别省市：