电子装置制造方法及图纸

技术编号:34589830 阅读:19 留言:0更新日期:2022-08-17 13:42
本实用新型专利技术公开了一种电子装置,用于移除待测物上的待移除物。电子装置包括工作平台、辨识单元及移除单元。工作平台用于承载待测物。辨识单元设置于工作平台上方,用于取得待移除物的位置信息。移除单元与辨识单元耦接,并包含移除组件。移除组件根据位置信息移除待移除物。其中,移除组件具有环状结构及拘限空间,环状结构连接拘限空间,且拘限空间朝向工作平台。作平台。作平台。

【技术实现步骤摘要】
电子装置


[0001]本技术是涉及一种电子装置,特别是涉及一种可移除待移除物的电子装置。

技术介绍

[0002]待测物(例如芯片)的表面容易存在微小异物,若异物的尺寸超过特定大小(例如一容许范围),将会对测试的结果造成影响,因此这些异物可视为待移除物。现有技术是通过人工在显微镜下使用真空吸笔的方式将待移除物移除。然而,人工的方式存在诸多缺点,例如人眼不容易判断待移除物的大小是否超过容许范围、人工有可能误判以及人工需耗费许多时间成本等。
[0003]因此,需要一种电子装置来改善上述问题。

技术实现思路

[0004]本技术关于一种电子装置,用于移除一待测物上的一待移除物。电子装置包含一工作平台、一辨识单元及一移除单元。工作平台用于承载待测物。辨识单元设置于工作平台上方,用于取得待移除物的位置信息。移除单元与辨识单元耦接,并包含根据位置信息移除待移除物的一移除组件。其中,移除组件具有一环状结构及一拘限空间,环状结构连接拘限空间,拘限空间朝向工作平台。
附图说明
[0005]图1A是本技术一实施例的电子装置的示意图;
[0006]图1B是图1A实施例的电子装置的前视图;
[0007]图1C是图1A实施例的电子装置的俯视图;
[0008]图1D是本技术一实施例的电子装置的示意图;
[0009]图1E是本技术一实施例的电子装置的示意图;
[0010]图2是本技术一实施例的移除组件的示意图;
[0011]图3A是本技术一实施例的弹性部的剖面图;r/>[0012]图3B是图3A实施例的弹性部的前视图。
[0013]图4A是本技术第一实施例的主体部及端部的内部结构示意图;
[0014]图4B是本技术第一实施例的主体部及端部的下视图;
[0015]图4C是本技术第二实施例的主体部及端部的内部结构示意图;
[0016]图4D是本技术第二实施例的主体部及端部的下视图;
[0017]图5A是本技术一实施例的工作平台的示意图;
[0018]图5B是本技术一实施例的工作平台的内部结构示意图;
[0019]图6是本技术一实施例的电子装置的运作的步骤流程图。
[0020]附图标记说明
[0021]1ꢀꢀꢀꢀꢀ
电子装置
[0022]2ꢀꢀꢀꢀꢀ
待测物
[0023]3ꢀꢀꢀꢀꢀ
工作平台
[0024]3’ꢀꢀꢀ
另一工作平台
[0025]4ꢀꢀꢀꢀꢀ
辨识单元
[0026]5ꢀꢀꢀꢀꢀ
移除单元
[0027]6ꢀꢀꢀꢀꢀ
移除组件
[0028]7ꢀꢀꢀꢀꢀ
记忆单元
[0029]8ꢀꢀꢀꢀꢀ
第一拍摄组件
[0030]9ꢀꢀꢀꢀꢀ
第二拍摄组件
[0031]20
ꢀꢀꢀꢀ
待移除物
[0032]30
ꢀꢀꢀꢀ
载盘
[0033]41
ꢀꢀꢀ
第一水平移动部
[0034]411
ꢀꢀꢀ
第一垂直滑轨
[0035]412
ꢀꢀꢀ
第一垂直移动部
[0036]42
ꢀꢀꢀꢀ
第一固定座
[0037]43
ꢀꢀꢀꢀ
第一固定座的悬挂部
[0038]431
ꢀꢀꢀ
第一滑轨结构
[0039]44
ꢀꢀꢀꢀ
第一输送轨道
[0040]51
ꢀꢀꢀꢀ
第二水平移动部
[0041]52
ꢀꢀꢀꢀ
第二固定座
[0042]53
ꢀꢀꢀꢀ
第二固定座的悬挂部
[0043]531
ꢀꢀꢀ
第二滑轨结构
[0044]54
ꢀꢀꢀꢀ
第二输送轨道
[0045]55
ꢀꢀꢀꢀ
连接部
[0046]552
ꢀꢀꢀ
第二垂直滑轨
[0047]553
ꢀꢀꢀ
第三垂直滑轨
[0048]554
ꢀꢀꢀ
第二垂直移动部
[0049]56
ꢀꢀꢀꢀ
机械手臂
[0050]71
ꢀꢀꢀꢀ
外接装置
[0051]72
ꢀꢀꢀꢀ
第一处理单元
[0052]73
ꢀꢀꢀꢀ
第二处理单元
[0053]R1
ꢀꢀꢀꢀ
辨识单元处
[0054]R2
ꢀꢀꢀꢀ
移除单元处
[0055]61
ꢀꢀꢀꢀ
主体部
[0056]62
ꢀꢀꢀꢀ
端部
[0057]63
ꢀꢀꢀꢀ
弹性部
[0058]611
ꢀꢀꢀ
基座
[0059]612
ꢀꢀꢀ
延伸部
[0060]621
ꢀꢀꢀ
底部
[0061]631
ꢀꢀꢀ
接合部
[0062]632
ꢀꢀꢀ
缩口部
[0063]633
ꢀꢀꢀ
环状结构
[0064]S1
ꢀꢀꢀꢀ
接合空间
[0065]S2
ꢀꢀꢀꢀ
拘限空间
[0066]S3
ꢀꢀꢀꢀ
通道空间
[0067]631a
ꢀꢀ
第一内壁
[0068]631b
ꢀꢀ
第二内壁
[0069]631c
ꢀꢀꢀ
接合部顶部
[0070]632a
ꢀꢀꢀ
外壁
[0071]632b
ꢀꢀꢀ
内壁
[0072]632c
ꢀꢀꢀ
环形内表面
[0073]633a
ꢀꢀꢀ
外周壁
[0074]633b
ꢀꢀꢀ
内周壁
[0075]633c
ꢀꢀꢀ
外表面
[0076]h1
ꢀꢀꢀꢀꢀ
第一高度
[0077]h2
ꢀꢀꢀꢀꢀ
第二高度
[0078]h3
ꢀꢀꢀꢀꢀ
第三高度
[0079]d1
ꢀꢀꢀꢀꢀ
第一宽度
[0080]d2
ꢀꢀꢀꢀꢀ
第二宽度
[0081]θ1
ꢀꢀꢀꢀ
第一角度
[0082]P1
ꢀꢀꢀꢀꢀ
气体抽出通孔
[0083]P2
ꢀꢀꢀꢀꢀ
气体进入通孔
[0084]P3
ꢀꢀꢀꢀꢀ
气体抽入通本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子装置,用于移除一待测物上的一待移除物,其特征在于,包含:一工作平台,用于承载该待测物;一辨识单元,设置于该工作平台上方,用于取得该待移除物的一位置信息;以及一移除单元,与该辨识单元耦接,包含一移除组件,该移除组件用于根据该位置信息移除该待移除物;其中,该移除组件具有一环状结构及一拘限空间,该环状结构连接该拘限空间,且该拘限空间朝向该工作平台。2.如权利要求1所述电子装置,其特征在于:该电子装置还包含一记忆单元,与该辨识单元耦接,用于记忆该待移除物的该位置信息。3.如权利要求2所述电子装置,其特征在于:该辨识单元可包含一第一拍摄组件,该第一拍摄组件耦接该记忆单元。4.如权利要求1所述电子装置,其特征在于:该移除组件包含一主体部与一端部,该主体部与该端部相耦接。5.如权利要求4所述电子装置,其特征在于:该主体部具有一气体抽出通孔,该端部具有一气体抽入通孔,其中,该气体抽出通孔与该气体抽入通孔通过一第一气体通道相连接。6.如权利要求5所述电子装置,...

【专利技术属性】
技术研发人员:林明汉林龙昌杜炳煌
申请(专利权)人:群创光电股份有限公司
类型:新型
国别省市:

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