可调节可加偏压工件架制造技术

本实用新型专利技术公开一种可调节可加偏压工件架，其包括安装底座、轴承座、转动齿轮、旋转主轴，转动齿轮包括齿轮本体以及安装轴，安装轴一端伸入至转动齿轮的轴心处，安装轴的另一端与齿轮本体连接，旋转主轴两端分别设置在齿轮本体远离安装轴一侧的轴心处和上安装座的轴心处，齿轮本体的圆周方向上设置有多个用于管状工件以及多个支撑杆，相邻两支撑杆之间具有至少五个管状工件；管状工件的顶部设有安装夹具，安装夹具与管状工件卡接连接，安装夹具连接有偏压加载系统。本实用新型专利技术提供的可调节可加偏压工件架通过设置安装夹具来固定管状工件，从而可以直接通过偏压加载引入偏压，同时带动工件自转，从而保证工件镀膜时加偏压的稳定性。定性。定性。

【技术实现步骤摘要】
可调节可加偏压工件架


[0001]本技术涉及真空镀膜领域，尤其涉及一种可调节可加偏压工件架。

技术介绍

[0002]在对基材进行镀膜时，往往需要对其进行加偏压工艺，然而在加偏压的过程中不可避免的需要接触基材，从而会导致基材在镀膜过程中产生抖动的现象从而导致基材镀膜质量降低的现象发生。

技术实现思路

[0003]本技术的主要目的是提供一种可调节可加偏压工件架，旨在解决上述技术问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提出的一种可调节可加偏压工件架包括安装底座、设置在所述安装底座上的轴承座、转动齿轮、旋转主轴、以及上安装座，所述转动齿轮包括齿轮本体以及安装轴，所述安装轴一端伸入至所述转动齿轮的轴心处，所述安装轴的另一端与所述齿轮本体连接，所述旋转主轴两端分别设置在所述齿轮本体远离所述安装轴一侧的轴心处和所述上安装座的轴心处，所述齿轮本体的圆周方向上设置有多个用于管状工件以及多个支撑杆，相邻两所述支撑杆之间具有至少五个所述管状工件；所述管状工件的顶部设有安装夹具，所述安装夹具与所述管状工件卡接连接，所述安装夹具连接有偏压加载系统。
[0005]在一实施例中，所述安装夹具的下端开设有卡接孔，所述管状工件的端部卡接在所述卡接孔内。
[0006]在一实施例中，所述可调节可加偏压工件架还包括多个第一驱动电机，所述第一驱动电机与所述安装夹具连接，以驱动所述管状工件饶其自身轴线转动。
[0007]在一实施例中，所述可调节可加偏压工件架还包括绝缘连接块，所述绝缘连接块设置在所述安装夹具和所述安装底座之间。
[0008]在一实施例中，所述可调节可加偏压工件架还包括滑动轴承，所述滑动轴承设置在所述转动齿轮和所述安装轴之间。
[0009]在一实施例中，所述旋转主轴连接有用于驱动旋转主轴饶其自身轴线转动的第二驱动电机。
[0010]本技术的技术方案中，可调节可加偏压工件架包括安装底座、设置在所述安装底座上的轴承座、转动齿轮、旋转主轴、以及上安装座，所述转动齿轮包括齿轮本体以及安装轴，所述安装轴一端伸入至所述转动齿轮的轴心处，所述安装轴的另一端与所述齿轮本体连接，所述旋转主轴两端分别设置在所述齿轮本体远离所述安装轴一侧的轴心处和所述上安装座的轴心处，所述齿轮本体的圆周方向上设置有多个用于管状工件以及多个支撑杆，相邻两所述支撑杆之间具有至少五个所述管状工件；所述管状工件的顶部设有安装夹具，所述安装夹具与所述管状工件卡接连接，所述安装夹具连接有偏压加载系统。通过设置
安装夹具来固定管状工件，从而可以直接通过偏压加载引入偏压，同时带动工件自转，从而保证工件镀膜时加偏压的稳定性。
附图说明
[0011]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图示出的结构获得其他的附图。
[0012]图1为本技术实施例的可调节可加偏压工件架的结构示意图。
[0013]附图标号说明：10、安装底座；20、轴承座；30、转动齿轮；31、齿轮本体；32、安装轴；40、旋转主轴；50、上安装板；60、管状工件；70、安装夹具；71、卡接孔；80、绝缘连接块；90、滑动轴承。
[0014]本技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。
具体实施方式
[0015]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0016]需要说明，本技术实施例中所有方向性指示(诸如上、下、左、右、前、后
……
)仅用于解释在某一特定姿态(如附图所示)下各部件之间的相对位置关系、运动情况等，如果该特定姿态发生改变时，则该方向性指示也相应地随之改变。
[0017]另外，在本技术中如涉及“第一”、“第二”等的描述仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示其相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本技术的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。
[0018]并且，本技术各个实施例之间的技术方案可以相互结合，但是必须是以本领域普通技术人员能够实现为基础，当技术方案的结合出现相互矛盾或无法实现时应当认为这种技术方案的结合不存在，也不在本技术要求的保护范围之内。
[0019]本技术提供一种可调节可加偏压工件架。
[0020]如图1所示，本技术实施例提供的可调节可加偏压工件架包括安装底座10、设置在所述安装底座10上的轴承座20、转动齿轮30、旋转主轴40、以及上安装座，所述转动齿轮30包括齿轮本体31以及安装轴32，所述安装轴32一端伸入至所述转动齿轮30的轴心处，所述安装轴32的另一端与所述齿轮本体31连接，所述旋转主轴40两端分别设置在所述齿轮本体31远离所述安装轴32一侧的轴心处和所述上安装座的轴心处，所述齿轮本体31的圆周方向上设置有多个用于管状工件60以及多个支撑杆，相邻两所述支撑杆之间具有至少五个所述管状工件60；所述管状工件60的顶部设有安装夹具70，所述安装夹具70与所述管状工件60卡接连接，所述安装夹具70连接有偏压加载系统。
[0021]在本实施例中，所述旋转主轴40连接有用于驱动旋转主轴40饶其自身轴线转动的
第二驱动电机，通过设置安装夹具70来固定管状工件60，从而可以直接通过偏压加载引入偏压，同时带动工件自转，从而保证工件镀膜时加偏压的稳定性。并且，不仅旋转主轴40可以带动整个工件架进行公转，所述可调节可加偏压工件架还包括多个第一驱动电机，所述第一驱动电机与所述安装夹具70连接，以驱动所述管状工件60饶其自身轴线转动，从而实现管状工件60自转的目的，以调节管状工件60的镀膜状态。
[0022]在该实施例中，在上安装板50和旋转主轴40的上端之间同样设置有相同结构的轴承座20、转动齿轮30等结构，在此不再赘述。
[0023]其中，所述安装夹具70的下端开设有卡接孔71，所述管状工件60的端部卡接在所述卡接孔71内。在本实施例中，可以将管状工件60的两端对应插入至安装夹具70的卡接孔71内，就可以直接引入偏压，以提高加偏压时的稳定性。在该实施例中，偏压加载系统可以为真空镀膜偏压电源等。
[0024]另外，所述可调节可加偏压工件架还包括绝缘连接块80，所述绝缘连接块80设置在所述安装夹具70和所述安装底座10之间。在本实施例中，通过设置绝缘连接块80能够降低打火现象发生的概率本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种可调节可加偏压工件架，其特征在于，所述可调节可加偏压工件架包括安装底座、设置在所述安装底座上的轴承座、转动齿轮、旋转主轴、以及上安装座，所述转动齿轮包括齿轮本体以及安装轴，所述安装轴一端伸入至所述转动齿轮的轴心处，所述安装轴的另一端与所述齿轮本体连接，所述旋转主轴两端分别设置在所述齿轮本体远离所述安装轴一侧的轴心处和所述上安装座的轴心处，所述齿轮本体的圆周方向上设置有多个用于管状工件以及多个支撑杆，相邻两所述支撑杆之间具有至少五个所述管状工件；所述管状工件的顶部设有安装夹具，所述安装夹具与所述管状工件卡接连接，所述安装夹具连接有偏压加载系统。2.根据权利要求1所述的可调节可加偏压工件架，其特征在于，所述安装夹具的下端开设有卡接孔，所述管状工件的端部卡接...

【专利技术属性】
技术研发人员：祝海生，左莉，唐洪波，孙桂红，黄乐，潘继峰，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：